公开(公告)号：EP2898318B1

公开(公告)日：2020-07-22

申请号：EP13762520.8

申请日：2013-09-17

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： RUELLAN, Jérémie ,  DURAFFOURG, Laurent ,  ARCAMONE, Julien ,  ANDREUCCI, Philippe ,  COLINET, Eric

IPC分类号： G01N27/18 ,  G01N30/66 ,  G01L21/12 ,  G01N33/00

公开(公告)号：EP2898318A1

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：EP13762520.8

申请日：2013-09-17

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： RUELLAN, Jérémie ,  DURAFFOURG, Laurent ,  ARCAMONE, Julien ,  ANDREUCCI, Philippe ,  COLINET, Eric

IPC分类号： G01N27/18 ,  G01N30/66

摘要： A thermal flow sensor comprising at least one first suspended element (2) suspended relative to a support, said first suspended element (2) being made from an electrically conductive material, first polarisation means (6) of said suspended element (2) and first measuring means (8) for measuring the variation in electrical voltage at the terminals of the suspended element (2), said first suspended element (2) being formed by a nanowire and said first polarisation means (6) being formed from an alternating current source of which the intensity heats the first suspended element (2) by Joule effect. Said sensor can be in the form of a plurality of suspended nanowires and can be used as a gas sensor based on the principle of the thermal conductivity measurement of said gas.

摘要翻译： 热式流量传感器，其包括至少一个第一元件（2）悬浮相对于一个支撑件，所述第一悬挂元件（2）是导电材料的，第一装置（6），用于偏置所述悬浮元件（2）和第一装置 （8），用于测量所述电电压的变化在悬浮元件的端子（2），所述第一悬挂元件（2）由纳米线形成，所述第一偏压装置（6）通过在交流电源所形成的 哪个的强度由焦耳效应提供所述第一悬挂元件（2）的加热。

公开(公告)号：EP2741331A2

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：EP13195885.2

申请日：2013-12-05

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： OLLIER, Eric ,  ARCAMONE, Julien ,  SAVOYE, Mylène

IPC分类号： H01L27/06 ,  B81C1/00 ,  H01L27/12

CPC分类号： B81C1/00246 ,  B81C1/0019 ,  B81C2203/0728 ,  B81C2203/0771 ,  H01L27/0617 ,  H01L27/1203

摘要： L'invention concerne un procédé de réalisation d'un dispositif microélectronique comprenant, sur un même substrat, au moins un composant électro-mécanique (C) doté d'une structure suspendue et au moins un transistor (T), le procédé comprenant une étape de libération de la structure suspendue du composant électromécanique après avoir formé des niveaux métalliques d'interconnexions de composants.

摘要翻译： 该方法涉及在形成半导电层，其中，所述块被布置在半导电块（110）的侧面上形成机电组分（C）的悬挂结构的第一区域牺牲块。 的晶体管（T）是从第二区域形成。 互连层形成在上绝缘层，和一个空腔的绝缘层中形成，以便部分地显示出半导电和牺牲块。 周围的半导电块牺牲块和牺牲层被从腔中取出以释放半导电块。

公开(公告)号：EP2441170A1

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：EP10724796.7

申请日：2010-06-07

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： HENTZ, Sébastien ,  ARCAMONE, Julien

IPC分类号： H03H9/02 ,  H03H9/24 ,  G01C19/56

CPC分类号： H03H9/02338 ,  H03H3/0072 ,  H03H9/2436 ,  H03H2009/02385 ,  H03H2009/0244 ,  H03H2009/02503 ,  H03H2009/02527 ,  H03H2009/2442

摘要： The invention relates to an electromagnetic resonator made on a substrate (1), including: a suspended structure (2) at least partially made from the substrate, intended for being vibrated such as to resonate at least at one resonant frequency specific to the suspended structure; an anchor structure (4) for anchoring the suspended structure, by at least one area of the periphery thereof, to the rest of the substrate, the anchor structure being sized such as to resonate at said resonant frequency; a means for exciting the suspended structure in order to make said structure vibrate at said resonant frequency; a means for detecting the vibration frequency of the suspended structure. The invention also relates to a method for manufacturing such an oscillator.

公开(公告)号：EP2441170B1

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：EP10724796.7

申请日：2010-06-07

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： HENTZ, Sébastien ,  ARCAMONE, Julien

IPC分类号： H03H9/02 ,  H03H9/24 ,  H03H3/007 ,  G01C19/56

CPC分类号： H03H9/02338 ,  H03H3/0072 ,  H03H9/2436 ,  H03H2009/02385 ,  H03H2009/0244 ,  H03H2009/02503 ,  H03H2009/02527 ,  H03H2009/2442

公开(公告)号：EP2620751A1

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：EP13152386.2

申请日：2013-01-23

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： COLINET, Eric ,  ARCAMONE, Julien ,  ARNDT, Grégory

IPC分类号： G01D3/036 ,  G01L9/00

CPC分类号： G01H13/00 ,  G01D3/0365

摘要： Dispositif de mesure (100) d'au moins une variable physique, comportant au moins :
- un premier et un deuxième capteurs résonants (102a, 102b), l'un des deux capteurs résonants (102b) étant sensible à une variation de la variable physique à mesurer et l'autre des deux capteurs résonants (102a) n'étant pas sensible à une variation de la variable physique à mesurer,
- des moyens (104) aptes à imposer au premier et au deuxième capteurs résonants une même fréquence de résonance,
- des moyens (108) de mesure d'un déphasage entre des signaux de sortie du premier et du deuxième capteurs résonants.

摘要翻译： 装置（100）具有周期性信号发生器（104），其包括具有连接到谐振传感器（102a）的输出的非反相输入的差分放大器，连接到另一谐振传感器（102b）的输出的反相输入端， 连接到前一个传感器的输入端的反相输出端和连接到后一个传感器输入端的非反相输出端。 发生器包括两个放大器，其输入端连接到传感器的输出端。 相位比较器（108）测量输出到两个放大器的输出端的信号之间的相移。 传感器是纳米机电系统（NEMS）或微机电系统（MEMS）型传感器。 还包括用于测量物理变量的变化的方法的独立权利要求。