摘要:
Disclosed is a process for forming conductor lines on a semiconductor product by dry-etching a stack of an upper layer of a dielectric hardmask material, a medium layer of a conducting material containing tungsten and a lower layer of minor conductivity than the medium layer by etching both the upper layer and the medium layer with a first reactive etching component containing fluorine, overetching the tungsten containing layer selectively to the lower layer with a second reactive etching component containing C 2 F 6 and etching the lower layer with a third reactive etching component containing another halogene than fluorine. Hexafluoric ethane is used to etch the tungsten containing layer highly selectively to a lower layer material like polysilicon. Furthermore, fluorine based etching components form polymers containing CF 2 -chains on the tungsten containing layer, protecting it from polysilicon etching chemistry. Thereby undercuts of the polysilicon layer and undue pre-etching of the polysilicon layer during tungsten layer over-etching are avoided. As a consequence, conductor lines with precisely shaped vertical sidewalls are etched.
摘要:
In the present invention, an edge-triggered D-Flip-Flop circuit with a master/slave configuration is disclosed. The master circuit (MA) comprises only one master switch (T1) controlled by a clock signal ( C ¯ ) and followed by a first inverter (I1). The slave circuit (SL) comprises a slave switch (T2) followed by a second inverter (I2) and a regenerative feedback-loop (I3, T3). Master and slave switches (T1, T2) can easily be realised using pass-transistors thus achieving small chip area. The Flip-Flop can easily be amended by set and reset means (T4, T5) and is preferably suitable for mass applications like memory and microprocessor chips.
摘要:
The invention concerns a data-transmission circuit with a station (1) and a response circuit (2), the station comprising a primary coil (4) with a signal generator (3) for generating a magnetic alternating field at a carrier frequency, and an amplitude demodulator (6). The response circuit (2) comprises a secondary coil (7) and an amplitude modulator (13) for influencing the load on the secondary coil. The amplitude modulator (13) is designed such that the magnetic alternating field can be modulated by a data signal.
摘要:
Es ist eine Sende- und Empfangseinheit angegeben, welche sowohl das Frequenzduplex-Verfahren FDD, als auch das Zeitduplex-Verfahren TDD sowie den Betrieb mit Frequenzduplex FDD mit variabler Duplexfrequenz ermöglicht. Einer Frequenzweiche (DUP), welche an eine Antenne (ANT) angeschlossen werden kann, ist hierzu ein Umschalter (SW) nachgeschaltet. Dabei ist die Anzahl der Filter sowie der Hochfrequenz-Schalter gering. Durch Auftrennen der Empfangspfade für FDD und TDD sind die Empfänger bezüglich Rauschen und Verzerrungen verbessert. Die beschriebene Anordnung kann beispielsweise in UMTS-Transceivern eingesetzt werden und ermöglicht eine asymmetrische Datenübertragung, bei der zwei Sendekanäle mit einem Empfangskanal kombiniert werden können. Die Sende- und Empfangseinheit ist bei geringem Flächenbedarf in einfacher Weise hochintegrierbar.
摘要:
Es ist eine Sende- und Empfangseinheit zur Anwendung in UMTS-Systemen angegeben, welche empfängerseitig eine Zwischenfrequenz in einem Bereich von 0 bis 0,5 Megahertz und sendeseitig eine Zwischenfrequenz von 190 Megahertz aufweist. Die beschriebene Anordnung ermöglicht den Betrieb mit FDD, TDD und FDD-variabler Duplexfrequenz. Wenn einem Netzbetreiber lediglich eine geringe Bandbreite zur Verfügung steht, kann die beschriebene Anordnung dadurch besonders energiesparend betrieben werden, daß lediglich ein Lokaloszillator (LO1) für ersten und zweiten Mischer (M1, M2) benötigt wird. In diesem Fall kann die sendeseitige Zwischenfrequenz von 190 Megahertz um +/- 5 oder +/- 10 Megahertz verstellt werden. Die beschriebene Anordnung ist in einfacher Weise hochintegrierbar.
摘要:
Zu einem Schwingkreis (1) ist ein Leiternetzwerk (12) parallel geschaltet, das Abgleichkondensatoren (18) enthält. Die Abgleichkondensatoren können über PIN-Dioden (17) parallel zu den Kapazitätsdioden (3) im Schwingkreis 1 zugeschaltet werden. Dadurch ist ein Abgleich des Schwingkreises (1) möglich.
摘要:
A fiber optic fan-out cable having optical sub-units. The optical sub-units are disposed about a central member, at least some of the optical sub-units each respectively comprising a sub-unit jacket, strength fibers, and at least one respective optical fiber ribbon therein. The optical fiber ribbon including a plurality of optical fibers, the strength fibers generally surrounding and contacting the optical fiber ribbon within the sub-unit jacket. A cable jacket surrounds the central member and defines an annular space wherein the optical fiber sub-units are disposed about the central member. The annular space including essentially no strength fibers therein outside of the sub-unit jackets, the strength fibers being essentially located within the optical sub-unit jacket with the respective optical fiber ribbons. Sub-units are generally helically stranded about the central member.
摘要:
Ein Halbleiterchip (10) ist mittels Flip-Chip-Montage mit dem Substrat (5) zugewandten Anschlusskontakten auf dem Substrat befestigt. Ein weiterer Halbleiterchip (11) ist mit seiner nicht mit einem Bauelement versehenen Rückseite dauerhaft mit der ebenfalls nicht mit einem Bauelement versehenen Rückseite des ersten Halbleiterchips mittels einer Kleberschicht (2) verbunden. Die Anschlusskontakte der in dem zweiten Halbleiterchip vorhandenen Bauelemente auf der von dem Substrat abgewandten Seite sind mittels Bonddrähten (6) mit dafür vorgesehenen Kontaktflächen des Substrates elektrisch leitend verbunden.