摘要:
Bei einem Verfahren zur Funktionsüberwachung eines Sensorbausteins (1), der einen Sensor (2) aufweist, wird mittels des Sensors (2) ein Messsignal für eine zu erfassende physikalische Größe erzeugt und in unveränderter Form oder - nach Durchführung mindestens eines linearen Signalverarbeitungsschrüts und/oder wenigstens eines nichtlinearen Signalverarbeitungsschritts - in verarbeiteter Form an einen Ausgangsanschluss (9) angelegt. Außerdem wird ein Testsignal erzeugt, dessen Spektrum im Wesentlichen außerhalb des Spektrums des Messsignals liegt. Das Testsignal wird an einer Stelle in den Sensor (2) eingespeist, von der aus es nur bei funktionsfähigem Sensor (2) in unveränderter Form oder - nach Durchführung des mindestens einen linearen Signalverarbeitungsschritts - in verarbeiteter Form zum Ausgangsanschluss (9) gelangt. Ein am Ausgangsanschluss (9) anliegendes Ausgangssignal wird mit dem Testsignal verglichen und es wird ein Diagnosesignal erzeugt, das anzeigt, ob das Testsignal am Ausgangsanschluss (9) anliegt. Das Testsignal wird aus dem Ausgangssignal herausgefiltert und das verbleibende Signal wird als Messsignal an einen Messsignalausgang (17) des Sensorbausteins (1) angelegt.
摘要:
In a method for generating pulse edges (11, 11') that are synchronously associated with the movement of a mechanical part, a magnetic field is generated. At least two test signals (9, 10) that are out of phase relative to each other are detected for the magnetic field. The magnetic field is modified in accordance with the movement of the mechanical part in such a way that the test signals (9, 10) are modulated. A first test signal (9) is compared with at least one first reference value. A second test signal (10) is compared with at least one second reference value, and/or the magnitude of the first test signal (9) is compared with the magnitude of the second test signal (10). A pulse edge (11, 11') is generated when at least one of said comparisons shows a match or when the signs of the result are inverted.
摘要:
Ein Drucksensor (1) weist ein an einer Halterung (2) bewegbar gelagertes Verdrängungselement auf, das durch Druckbeaufschlagung entgegen einer Rückstellkraft auslenkbar ist. An der Halterung (2) ist ein ferromagnetisches Fluid (7) angeordnet, das mit dem Verdrängungselement derart gekoppelt ist, dass die Lage des Fluids (7) von dem auf das Verdrängungselement einwirkenden Druck abhängig ist. Das Fluid (7) ist permanentmagnetisch magnetisiert ist und/oder der Drucksensor (1) weist zum Erzeugen eines das Fluid (7) durchsetzenden Magnetfelds einen Magnetfelderzeuger auf. Zum Erfassen der Lage des Fluids (7) ist ein Magnetfeldsensor (9) an der Halterung (2) angeordnet.
摘要:
Die Erfindung bezieht sich auf eine Monolithische Sensoranordnung mit einem Gehäuse (G), einem im Gehäuse (G) integrierten Sensor (S) und zwei oder drei Anschlusskontakten (C0, C1, C2) am Gehäuse zum Kontaktieren des Sensors (S), wobei in dem Gehäuse (G) ein frei programmierbarer digitaler Prozessor (CPU), ein Programmspeicher (MP) und ein Datenspeicher (MD) zum Steuern und/oder Verarbeiten von Funktionalitäten und/oder Messdaten des Sensors (S) integriert sind bzw. auf ein Verfahren zum Ansteuern einer solchen monolithischen Sensoranordnung.
摘要:
Die Erfindung bezieht sich auf eine Schaltungsanordnung mit einem CC-FET-Gassensor (30 - 33) zum Detektieren eines Gases in einem Luftspalt (33) und mit einer Steuereinrichtung (C) zum Nachführen des CC-FET-Gassensors (30 - 33) als einer kapazitiven Größe (C1 + C3) und mit zwei Regelkreisen, wobei der erste Regelkreis ausgebildet oder gesteuert ist, eine Wellspannung (Vwell) oder eine Spannung (Vguard) über einen Guardring (34) zu regeln, und wobei der zweite Regelkreis ausgebildet oder gesteuert ist, eine sich ändernde Gasspannung (Vgas) zu regeln. Die beiden Regelkreise sind dabei derart eigenständig aber gekoppelt betriebenen ausgestaltet und/oder gesteuert, dass im Luftspalt (33) und in einem Bereich zwischen dem Luftspalt und einer Gateelektrode (35) des CC-FET-Gassensors Potentialfreiheit herrscht.
摘要:
Eine Vorrichtung (1) zur Detektion eines Gases oder Gasgemischs hat einen ersten und einem zweiten Gassensor. Der erste Gassensor ist ein MOSFET, der eine erste Source (9), eine erste Drain (8), einen zwischen diesen befindlichen ersten Kanalbereich (10) und eine kapazitiv an den ersten Kanalbereich (10) gekoppelte erste gassensitive Schicht (11) aufweist, die Palladium enthält und mit einer Änderung ihrer Austrittsarbeit auf eine Änderung der Konzentration des zu detektierenden Gases reagiert. Der zweite Gassensor hat in einem Halbleitersubstrat (13, 13') eine zweite Source (16, 16'), eine zweite Drain (15, 15') und zwischen diesen einen zweiten Kanalbereich (17, 17') hat, der über einen Luftspalt (19, 19') kapazitiv an ein Suspended Gate gekoppelt ist. Dieses weist eine zweite gassensitive Schicht (12) auf, die mit einer Änderung ihrer Austrittsarbeit auf eine Änderung der Konzentration des zu detektierenden Gases reagiert. Die zweite gassensitive Schicht (12) ist an einer Trägerschicht angeordnet und dem Luftspalt (19, 19') zugewandt. Die Trägerschicht ist durch ein weiteres Halbleitersubstrat (6) gebildet und der erste Gassensor ist in die dem Luftspalt (19, 19') abgewandte Vorderseite des zweiten Halbleitersubstrats (13, 13') integriert.
摘要:
Ein Halbleiterbauelement (1) weist auf einem Halbleiterchip (2) mindestens ein Sensorelement (3) zum Messen einer physikalischen Größe und eine Auswerteeinrichtung (4) auf Das Halbleiterbauelement (1) ist zwischen einer ersten und einer zweiten Betriebsart umschaltbar. In der ersten Betriebsart ist das Sensorelement (3) für die zu messende physikalische Größe empfindlich und ein Messsignalausgang des Sensorelements (3) ist mit einem Eingangsanschluss (11) der Auswerteeinrichtung (4) verbunden. In der zweiten Betriebsart ist das Sensorelement (3) für die zu messende physikalische Größe unempfindlich und/oder der Signalpfad zwischen dem Messsignalausgang und dem Eingangsanschluss (11) ist unterbrochen. Auf dem Halbleiterchip (2) ist eine Testsignalquelle (8) zur Erzeugung eines das Messsignal des Sensorelements (3) simulierendes Testsignals angeordnet. Die Testsignalquelle (8) ist in der zweiten Betriebsart mit dem Eingangsanschluss (11) der Auswerteeinrichtung (4) verbunden oder verbindbar.