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    PHOSPHORUS EFFUSION CELL ARRANGEMENT AND METHOD FOR PRODUCING MOLECULAR PHOSPHORUS
    42.
    发明公开
    PHOSPHORUS EFFUSION CELL ARRANGEMENT AND METHOD FOR PRODUCING MOLECULAR PHOSPHORUS 有权
    磷的浓缩细胞排列及生产分子磷的方法

    公开(公告)号：EP1769106A1

    公开(公告)日：2007-04-04

    申请号：EP04742148.2

    申请日：2004-06-30

    申请人： DCA-Instruments OY

    发明人： SALMINEN, Lasse ,  SUPPONEN, Esa ,  VANHATALO, Jari

    IPC分类号： C30B23/06 ,  C23C14/24

    CPC分类号： C30B23/066

    摘要： The phosphorus effusion cell arrangement according to the present invention comprises a first vacuum container for red phosphorus, a second vacuum container for white phosphorus, said first and second vacuum containers being interconnected, means for providing vacuum, a thermal cracker in connection with said second vacuum container, as well as a control valve between said second vacuum container and said thermal cracker. The present invention is characterized in that it further comprises a separating valve between said first and second vacuum containers, provided that there is no direct connection between said first vacuum container and said thermal cracker. The invention also relates to a method for producing molecular phosphorus P2.

    摘要翻译： 根据本发明的磷喷射室装置包括用于红磷的第一真空容器，用于白磷的第二真空容器，所述第一和第二真空容器相互连接，用于提供真空的装置，与所述第二真空相关的热裂解器 容器，以及在所述第二真空容器和所述热裂化器之间的控制阀。 本发明的特征在于，它还包括位于所述第一和第二真空容器之间的分离阀，只要所述第一真空容器和所述热分解器之间没有直接连接。 本发明还涉及生产分子磷P2的方法。

    Effusionszelle mit verbesserter Temperaturkontrolle des Tiegels
    44.
    发明公开
    Effusionszelle mit verbesserter Temperaturkontrolle des Tiegels 审中-公开

    公开(公告)号：EP1466998A1

    公开(公告)日：2004-10-13

    申请号：EP04007889.1

    申请日：2004-04-01

    申请人： Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH

    发明人： Schuler, Heiko ,  Eberl, Karl ,  Huber, Frank

    IPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/26 ,  C30B23/00

    CPC分类号： C30B23/066 ,  C23C14/243 ,  C23C14/26 ,  C30B23/002 ,  C30B23/02 ,  C30B29/02

    摘要： Die Temperaturankopplung des Tiegels (4) einer Effusionszelle an ein den Tiegel (4) umgebendes, als heizbares Kühlreservoir dienendes Aufnahmeteil (1) wird dadurch verbessert, indem in den Zwischenraum (2) zwischen dem Tiegel (4) und der Wand einer Ausnehmung (1A) des Aufnahmeteils (1) ein Übertragungsmedium mit hoher Wärmeleitfähigkeit und niedrigem Dampfdruck (bsp. Ga, In, Hg oder weicher Feststoff) eingebracht wird. Durch die verbesserte thermische Ankopplung des Tiegels (4) folgt die Temperatur des Tiegels (4) schneller der des heizbaren Kühlreservoirs, so dass Materialien mit hohem Dampfdruck mit relativ niedrigen Verdampfungstemperaturen kontrollierter abgeschieden werden können.

    摘要翻译： 流出池包括用于待蒸发的物质（7）的坩埚（4）和形成为具有用于坩埚的凹部（1A）的可加热冷却储存器的接收器部分（1）。 在凹部和坩埚之间的中间室（2）部分地填充有作为传热介质的气体，液体或可塑性变形的固体。 对于使用渗出池的汽化方法也包括独立权利要求。

    A PHOSPHORUS EFFUSION CELL FOR PRODUCING MOLECULAR BEAMS TO BE DEPOSITED ON A SUBSTRATE
    46.
    发明公开
    A PHOSPHORUS EFFUSION CELL FOR PRODUCING MOLECULAR BEAMS TO BE DEPOSITED ON A SUBSTRATE 失效
    PRODUCING分子束PHOSPHOREFFUSIONSZELLE在基底上加入

    公开(公告)号：EP1002140A1

    公开(公告)日：2000-05-24

    申请号：EP98905069.5

    申请日：1998-02-17

    申请人： Chorus Corporation

    发明人： COLOMBO, Paul, E. ,  PRIDDY, Scott

    IPC分类号： C23C14/24 ,  C30B23/06

    CPC分类号： C23C14/243 ,  C30B23/066

    摘要： This invention is a sublimating and cracking apparatus for producing a beam of molecules to be deposited on a substrate, and an apparatus which is particularly useful with phosphorus as the source material. In the phosphorus effusion cell of this invention, a vacuum jacket (10) encloses and supports a red phosphorus crucible (12), a condensing crucible for white phosphorus (14) and a connecting tube (16) within a vacuum space (19). In use, red phosphorus is first transformed and deposited as white phosphorus in the condensing chamber. The white phosphorus is then directed to a cracker section (20) where it is cracked and subsequently directed to the substrate.

    MOLECULAR BEAM EPITAXY EFFUSION CELL
    47.
    发明公开
    MOLECULAR BEAM EPITAXY EFFUSION CELL 失效
    积液用于分子束外延

    公开(公告)号：EP1007770A4

    公开(公告)日：1999-04-22

    申请号：EP98925296

    申请日：1998-06-05

    申请人： UNIV TEXAS

    发明人： MATTORD TERRY J

    IPC分类号： C30B23/06 ,  C30B19/00

    CPC分类号： C30B23/066

    摘要： A molecular beam epitaxy effusion cell for growing epitaxial layers upon a semiconductor substrate by control of a collimated beam of molecules generated from a source material in a high vacuum environment in order to control the hyper abrupt stoichiometry of the effusion flux. A heated control assembly is used to control the size of the exit openings of the effusion cell. The control assembly comprises a boroelectric heating member such as a grating having a plurality of holes and a perforated cover which are adjustable relative to one another. The grating includes an internal heating element.

    Crucible of pyrolytic boron nitride for molecular beam epitaxy
    48.
    发明公开
    Crucible of pyrolytic boron nitride for molecular beam epitaxy 失效
    Tiegel aus pyrolytischem Bornitrid zur Verwendung in der Molekularstrahlepitaxie

    公开(公告)号：EP0851042A3

    公开(公告)日：1999-03-24

    申请号：EP97403168.4

    申请日：1997-12-26

    申请人： SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.

    发明人： Kimura, Noboru ,  Hagiwara, Koji

    IPC分类号： C30B23/02 ,  C30B23/06 ,  C23C14/24

    CPC分类号： C23C16/342 ,  C23C14/243 ,  C23C16/01 ,  C30B23/066 ,  Y10T428/13 ,  Y10T428/131

    摘要： Disclosed is a crucible of pyrolytic boron nitride (PBN) for molecular beam epitaxy for melting of the source material, with which the troubles due to adhering of the molten source material in the form of drops caused on the quality of the epitaxial layer can be greatly decreased. Namely, the inner surface of the crucible is free from pits or other irregularities responsible to the adhering of the melt when the growth plane, which can be exposed by stripping of the surface layer of 0.50 mm thickness by cleavage, has a surface roughness Ra not exceeding 2.0 µm and Rmax not exceeding 18 µm. Such a PBN crucible can be prepared by the CVD method to deposit PBN on the surface of a graphite core of which the surface roughness Ra does not exceed 2 µm.

    摘要翻译： 公开了用于分子束外延的热解氮化硼（PBN）的坩埚，用于熔化源材料，由于熔融源材料以外延层的质量形式的液滴形式的粘附所引起的故障可以大大地 降低。 也就是说，当可以通过剥离0.50mm厚度的表面层剥离的生长面可以使坩埚的内表面没有凹陷或其他不规则的情况时，表面粗糙度Ra不能 超过2.0亩，Rmax不超过18亩。 这种PBN坩埚可以通过CVD法制备，以便将PBN沉积在表面粗糙度Ra不超过2μm的石墨芯的表面上。