SPLIT AXES STAGE DESIGN FOR SEMICONDUCTOR APPLICATIONS
    41.
    发明公开
    SPLIT AXES STAGE DESIGN FOR SEMICONDUCTOR APPLICATIONS 有权
    GAP AXIS舞台设计半导体应用

    公开(公告)号:EP2132600A1

    公开(公告)日:2009-12-16

    申请号:EP08719741.4

    申请日:2008-03-17

    IPC分类号: G03F7/20 B23Q1/62 H01L21/687

    摘要: A stage assembly (8) includes a first stage (10) having at least one degree of freedom, i.e. at least one long stroke motion capability, and being movably mounted in a first stage base frame (12), the first stage base frame permitting motion in a first direction. A second stage (20) has at least one degree of freedom, i.e. at least one long stroke motion capability, and being movably mounted in a second stage base frame (22). The second stage base frame permitting motion in a second direction which is different from the first direction. The first stage and the second stage are located one over the other in a third direction which is orthogonal the first and second directions and a motion. An isolated reference metrology frame (18) is configured to provide a point of reference for the first and second stages in one or more degrees of freedom. Other degrees of freedom may be measured more directly from one stage relative to the other.

    Vorrichtung zum Bearbeiten, insbesondere Erodieren und Schleifen, von mit Schneiden versehenen Rotationswerkstücken
    43.
    发明公开
    Vorrichtung zum Bearbeiten, insbesondere Erodieren und Schleifen, von mit Schneiden versehenen Rotationswerkstücken 有权
    设备用于加工,特别是侵蚀和研磨,其中设置有切割旋转的工件

    公开(公告)号:EP2080589A1

    公开(公告)日:2009-07-22

    申请号:EP08020093.4

    申请日:2008-11-18

    摘要: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (10) zum Bearbeiten, insbesondere Erodieren und Schleifen, von mit Schneiden versehenen Rotationswerkstücken (44), mit einer Maschinenbasis (12), einer relativ zu der Maschinenbasis (12) verlagerbaren Bearbeitungseinrichtung (14), und einer relativ zur Maschinenbasis (12) verlagerbaren Werkstückpositioniereinrichtung (18), wobei die Bearbeitungseinrichtung (14) wenigstens ein auf einer zur Maschinenbasis (12) verlagerbaren Schlittenanordnung (20) drehantreibbar angebrachtes Bearbeitungswerkzeug (30) zur Bearbeitung eines zu bearbeitenden Funktionsabschnitts des Rotationswerkstücks (44) aufweist und wobei die Werkstückpositioniereinrichtung (18) eine relativ zur Maschinenbasis (12) verlagerbare Werkstückaufnahmeeinrichtung (46) aufweist, die einen Aufnahmeabschnitt des Rotationswerkstücks (44) unmittelbar oder über einen Aufnahmeadapter zum Anbringen des Rotationswerkstücks (44) an der Werkstückpositioniereinrichtung (18) aufnimmt. Bei dieser Vorrichtung ist vorgesehen, dass die Werkstückaufnahmeeinrichtung (46) derart relativ zur Maschinenbasis (12) ausgerichtet ist und den Aufnahmeabschnitt des Rotationswerkstücks (44) derart aufnimmt, dass das Rotationswerkstück (44) zum Bearbeiten mit seinem Funktionsabschnitt im wesentlichen in vertikaler Richtung hängend angeordnet ist.

    摘要翻译: 的装置(10)具有机械底座(12)和切割单元(14)相对换挡到机械基部。 工件接收单元(46)相对于所述机械底座对齐并接收旋转工件(44)的接收部。 旋转工件被布置用于以悬挂的方式与它的功能部的切割在垂直方向上。

    MACHINE TOOL
    46.
    发明公开
    MACHINE TOOL 审中-公开
    WERKZEUGMASCHINE

    公开(公告)号:EP1862253A4

    公开(公告)日:2008-10-29

    申请号:EP06728696

    申请日:2006-03-07

    申请人: HORKOS CORP

    发明人: KAI HISAHIRO

    IPC分类号: B23Q1/00 B23Q1/62 B23Q11/00

    摘要: A machine tool, wherein the front face (1c) of a base (100) is formed in a single plane orthogonal to the longitudinal direction Y of the machine tool and a jig (28) for fixing a work (W) worked with a tool (T) is installed in the state of being forwardly extended from a vertical intermediate position of the single plane. The lateral intermediate front part (100B) of the base forming an area between the pair of right and left lateral end front parts (100A) of the base having the vertical overall length portions or the vertical roughly overall length portions at right and left end parts of the front face (1c) formed in the single plane is formed detachably from the other portions of the base (100). The jig (28) for fixing the work (W) worked with the tool (T) may be installed in the state of being extended from the vertical intermediate position of the front face (1c) in a forward direction Y1.

    摘要翻译: 一种机床,其中,基座(100)的前表面(1c)形成在与机床的纵向方向Y正交的单个平面中,并且夹具(28)用于固定与工具一起工作的工件(W) (T)以从单平面的垂直中间位置向前延伸的状态安装。 底座的横向中间前部(100B)形成基部的左右一对左右两端部前部(100A)之间的区域,该区域具有纵向全长部或左右端部的纵向大致整体长度部 形成在单一平面中的前表面(1c)形成为与基座(100)的其他部分可分离地形成。 用于固定与工具(T)一起工作的工件(W)的夹具(28)可以以从前表面(1c)的垂直中间位置沿前向方向Y1延伸的状态安装。

    Linearer Stelltrieb
    49.
    发明公开
    Linearer Stelltrieb 有权
    Niederhalter mit einem linearem Stelltrieb

    公开(公告)号:EP1886761A1

    公开(公告)日:2008-02-13

    申请号:EP07014875.4

    申请日:2007-07-30

    发明人:

    IPC分类号: B23Q1/62 B29C65/20

    摘要: Die Erfindung bezieht sich auf einen linearen Stelltrieb mit einer Linearführung, die einen Schlitten führt, wobei der Schlitten mittels eines Linearantriebs verfahrbar ist. Zwischen Linearantrieb und Schlitten ist ein Wegrichtungswandler in Wirkverbindung zu diesen eingebaut.

    摘要翻译: 在塑料窗框的制造中,通过具有滑动件(3)导向件(2)的线性驱动器(1)推进型材。 滑块由通过重定向块部分(5)的线性驱动器(4)前进。