公开(公告)号：EP2706553A2

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：EP13183357.6

申请日：2013-09-06

申请人： Carl Zeiss Microscopy GmbH

发明人： Albiez, Michael

IPC分类号： H01J37/141

CPC分类号： G01N23/225 ,  H01J37/10 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0475 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2449 ,  H01J2237/2538

摘要： The invention relates to a particle beam device (1) and to a method for operating the particle beam device (1), in particular an electron beam device, having a beam generator (2) for generating a primary particle beam, having an objective lens (8) for focusing the primary particle beam onto an object (15), and having a detector (17) for detecting particles emitted by the object (15). The objective lens (8) has at least one magnetic unit (11, 12), with the magnetic unit (11, 12) generating at least one first crossover (C1, C1') and at least one second crossover (C2). The first crossover (C1, C1') is arranged in the objective lens (8) or in a region between the objective lens (8) and the object (15). The second crossover (C2) is arranged at the object (15). The invention permits the examination of the object (15) using particles which have a low energy, with good imaging properties.

摘要翻译： 本发明涉及一种粒子束装置（1）和用于操作粒子束装置（1）的方法，特别是一种具有用于产生一次粒子束的束发生器（2）的电子束装置，其具有物镜 （8），用于将一次粒子束聚焦到物体（15）上，并具有用于检测物体（15）发射的粒子的检测器（17）。 物镜（8）具有至少一个磁性单元（11,12），磁性单元（11,12）产生至少一个第一交叉（C1，C1'）和至少一个第二交叉（C2）。 第一分频器（C1，C1'）布置在物镜（8）中或物镜（8）和物体（15）之间的区域中。 第二交叉（C2）布置在物体（15）处。 本发明允许使用具有良好成像性能的具有低能量的粒子来检查物体（15）。

公开(公告)号：EP2696231A1

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：EP13179938.9

申请日：2013-08-09

申请人： Carl Zeiss AG

发明人： Dodoc, Aurelian

IPC分类号： G02B15/177

CPC分类号： G02B15/14 ,  G02B5/005 ,  G02B9/60 ,  G02B13/0015 ,  G02B13/002 ,  G02B13/0045 ,  G02B13/006 ,  G02B13/009 ,  G02B13/04 ,  G02B13/18 ,  G02B15/177 ,  G02B15/20 ,  G02B15/22

摘要： Die Erfindung betrifft ein optisches System (100) zur Abbildung eines Objekts (O) auf eine Bilderfassungseinheit (BE). Beispielsweise ist das optische System (100) als Objektiv ausgebildet. Das optische System (100) weist eine veränderbare Brennweite auf. Ferner weist das optische System (100) von einem Objekt (O) in Richtung einer Bilderfassungseinheit (BE) gesehen mindestens eine erste Linseneinheit (LE1), mindestens eine zweite Linseneinheit (LE2), mindestens eine dritte Linseneinheit (LE3) und mindestens eine vierte Linseneinheit (LE4) auf. Die erste Linseneinheit (LE1) weist mindestens eine Linsengruppe mit negativer Brechkraft auf. Die zweite Linseneinheit (LE2) weist mindestens eine Linsengruppe mit positiver Brechkraft auf und die dritte Linseneinheit (LE3) weist mindestens eine Linsengruppe mit negativer Brechkraft auf. Die zweite Linseneinheit (LE2) und die dritte Linseneinheit (LE3) weisen insgesamt mindestens drei Linsengruppen (LG21, LG31, LG32) auf, wobei von der ersten Linseneinheit (LE1) in Richtung einer Bilderfassungseinheit (BE) zunächst die erste Linsengruppe (LG21), dann die zweite Linsengruppe (LG31) und dann die dritte Linsengruppe (LG32) ange-ordnet sind. Die drei Linsengruppen (LG21, LG31, LG32) sind zur Veränderung der Brennweite des optischen Systems (100) beweglich ausgebildet.

摘要翻译： 光学系统具有从对象（O）的图像获取单元（BE）的方向看到的多个透镜单元（LE1-LE4）。 透镜单元（LE2，LE3）中的透镜（L5，L11）具有用于调节光学系统的焦距的可移动设计。 当调整光学系统的焦距时，透镜单元（LE1，LE4）具有不可移动的设计。 透镜单元（LE2，LE3）包括从透镜单元（LE1）有序布置的透镜组（LG21，LG31，LG32），并且具有用于调整光学系统的焦距的可移动设计。 透镜组具有正折射光焦度和负折射光焦度。

公开(公告)号：EP1774560B9

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：EP05769748.4

申请日：2005-07-28

申请人： Carl Zeiss Microscopy GmbH

发明人： ESSERS, Erik ,  BENNER, Gerd ,  DREXEL, Volker

IPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2449

公开(公告)号：EP2535752A1

公开(公告)日：2012-12-19

申请号：EP12171964.5

申请日：2012-06-14

申请人： Carl Zeiss AG

发明人： Dodoc, Aurelian ,  Bannert, Christian ,  Blahnik, Vladan ,  Sehr, Holger

IPC分类号： G02B13/08

CPC分类号： G02B13/08

摘要： Die Erfindung betrifft ein anamorphotisches Objektiv (100) zur Abbildung eines Objekts (O) auf eine Bilderfassungseinheit (BE), wobei das anamorphotische Objektiv (100) mindestens eine erste Symmetrieebene (Y-Z) und mindestens eine zweite Symmetrieebene (X-Z) aufweist, wobei die erste Symmetrieebene (Y-Z) senkrecht zu der zweiten Symmetrieebene (X-Z) orientiert ist, wobei das anamorphotische Objektiv (100) mindestens einen ersten Objektivabschnitt (200) und mindestens einen zweiten Objektivabschnitt (300) aufweist, wobei von einem abzubildenden Objekt (O) in Richtung einer Bilderfassungseinheit (BE) zunächst der erste Objektivabschnitt (200) und anschließend der zweite Objektivabschnitt (300) angeordnet sind, und wobei zwischen dem ersten Objektivabschnitt (200) und dem zweiten Objektivabschnitt (300) eine Blende (B) angeordnet ist. Ferner ist vorgesehen, dass im ersten Objektivabschnitt (200) mindestens ein erstes anamorphotisches optisches Element (L5) angeordnet ist, dass im zweiten Objektivabschnitt (300) mindestens ein zweites anamorphotisches optisches Element (L15) angeordnet ist, und dass das anamorphotische Objektiv (100) die folgenden Bedingungen erfüllt: f ′ T f ′ W = A ⁢ F
sowie s ′ T = s ′ W

摘要翻译： 透镜（100）具有沿图像检测单元（BE）的方向排列的两个物镜部分（200,300），以及布置在透镜部分之间的光阑（B），其中透镜的对称平面垂直 到另一个对称平面。 两个变形透镜（L5，L15）布置在各个透镜部分中，其中透镜满足一个透镜部分和前一个平面中的检测单元之间的距离（S't）等于距离（S 在后一平面中的透镜部分和检测单元之间的“w”。

公开(公告)号：EP2463889A3

公开(公告)日：2012-08-29

申请号：EP12158480.9

申请日：2004-01-07

申请人： Carl Zeiss NTS GmbH

发明人： Steigerwald, Dr. Michael ,  Preikszas, Dirk ,  Drexel, Volker

IPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/244

CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448

摘要： Die Erfindung betrifft ein Elektronenstrahlgerät (7) mit einem Strahlerzeuger (8) zur Erzeugung eines Elektronenstrahls, einer Objektivlinse (13) zur Fokussierung des Elektronenstrahls auf einem Objekt (18) und mindestens einem Detektor (19, 21) zur Detektion von am Objekt (18) gestreuten oder vom Objekt (18) emittierten Elektronen. Des weiteren betrifft die Erfindung eine Detektoranordnung (19, 21) zur Detektion von Elektronen. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Elektronenstrahlgerät mit einer Detektoranordnung anzugeben, mit der eine Selektion insbesondere nach Rückstreu- und Sekundärelektronen einfach möglich ist. Gleichzeitig sollen mittels der Detektoranordnung möglichst viele Elektronen detektiert werden. Hierzu weist das Elektronenstrahlgerät (7) mindestens eine einstellbare Blende (20) auf, die dem Detektor (21) zugeordnet ist. Die erfindungsgemäße Detektoranordnung weist einen Detektor auf, an dem ein Reflektor zur Reflexion von Elektronen auf den Detektor angeordnet ist.

摘要翻译： 本发明涉及一种具有一个束发生器（8），用于聚焦，用于检测所述对象的对象（18）和至少一个检测器（19，21）上的电子束产生电子束，物镜（13）的电子束装置（7）（18 ）由物体（18）散射或发射电子。 此外，本发明涉及用于检测电子的检测器装置（19,21）。 本发明的目的在于提供一种具有检测器阵列的电子束装置，特别是在后向散射之后进行选择，并且二次电子很容易实现。 同时，尽可能多的电子将通过检测器装置来检测。 为此，电子束装置（7）具有至少一个分配给检测器（21）的可调膜片（20）。 根据本发明的检测器装置具有检测器，检测器上布置有用于电子反射的反射器。

公开(公告)号：EP2041771B1

公开(公告)日：2012-02-01

申请号：EP07726124.6

申请日：2007-06-22

申请人： Carl Zeiss NTS GmbH

发明人： SELLMAIR, Josef

IPC分类号： H01J37/26

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/073 ,  H01J37/244 ,  H01J37/265 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/3045 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/2826 ,  H01J2237/30455

摘要： The invention relates to a method and to a device (1) for producing an image of an object (5) by means of a particle beam. According to the method and in the device (1), the particle beam is scanned by the object (5). The aim of the invention is to provide a method and a device for producing an image of an object (5) by means of a particle beam that can be used with a cold field emitter (2) in such a manner that a good image quality is constantly ensured. Said aim is achieved by virtue of the fact that, according to the invention, when a radiation parameter is altered, the object (5) is rescanned preferably with the corrected parameter. The inventive device (1) comprises the corresponding means (4, 6, 7) therefor.

公开(公告)号：EP1421318B1

公开(公告)日：2011-10-19

申请号：EP02753413.0

申请日：2002-07-26

申请人： ZIPPO MANUFACTURING COMPANY

发明人： DIJKSTRA, Tjeerd

IPC分类号： F23Q2/16 ,  F23Q7/12 ,  F23Q2/167 ,  F23Q2/42

CPC分类号： F23Q2/164 ,  F23Q2/167 ,  F23Q2/287 ,  F23Q2/42

摘要： A utility lighter comprises a housing (12), a nozzle (14) having a nozzle tip, a lighter fluid reservoir (20), a conduit (23), an igniter assembly (24), a valve actuator (27), and a locking device (60). The conduit delivers the lighter fluid from the reservoir to the nozzle. The igniter assembly generates a spark near the nozzle tip to ignite the lighter fluid, and has a piezoelectric component. The valve actuator is associated with the lighter fluid for selectively releasing the lighter fluid from the reservoir, and the igniter assembly. A compressor (26) is connected to the valve actuator for compressing the piezoelectric component. The locking device diminishes the undesirable movement of the valve actuator.

公开(公告)号：EP2355127A1

公开(公告)日：2011-08-10

申请号：EP11152379.1

申请日：2011-01-27

申请人： Carl Zeiss NTS GmbH

发明人： Laue, Alexander ,  Glasmachers, Albrecht ,  Hendrich, Christian ,  Preikszas, Dirk ,  Aliman, Michel ,  Mantz, Hubert ,  Zeile, Ulrike ,  Dömer, Holger

IPC分类号： H01J49/06 ,  H01J49/42 ,  H01J49/14

CPC分类号： H01J49/065 ,  H01J49/067 ,  H01J49/068 ,  H01J49/14 ,  H01J49/4225 ,  H01J49/4235

摘要： The invention relates to an apparatus (1301) for focusing and for storage of ions and to an apparatus for separation of a first pressure area from a second pressure area, in particular for an analysis apparatus (1400) for ions. The invention also relates to a particle beam device having at least one of the abovementioned apparatuses. The invention has a container (1201) for holding ions. Furthermore, at least one multipole unit (1301) is provided. The multipole unit (1301) has a through-opening (1302) with a longitudinal axis (1307) as well as a multiplicity of electrodes, wherein a first set of the electrodes is at a first radial distance from the longitudinal axis (1307), and wherein a second set of the electrodes is in each case at a second radial distance from the longitudinal axis (1307). The first radial distance is less than the second radial distance. Alternatively or additionally, the apparatus may have an elongated opening (1321) with a radial extent. The opening (1321) has a longitudinal extent which is greater than the radial extent.

摘要翻译： 本发明涉及在设备（1301）用于聚焦和用于离子的存储和以用于从第二压力区域的第一压力区的分离装置，特别是用于在离子分析装置（1400）。 因此，本发明涉及具有上述装置中的至少一种的粒子射线装置。 本发明具有用于保持离子的容器（1201）。 进一步，至少一个多极单元（1301）被设置。 多极单元（1301）具有与纵向轴线（1307）以及电极的多个的通孔（1302），worin的第一组电极中的处于与纵向轴线的第一径向距离处（1307） 和worin的第二组电极的是在每种情况下从所述纵向轴线（1307）的第二径向距离。 第一径向距离小于所述第二径向距离。 或者或另外，该装置可具有以细长开口（1321）具有的径向长度。 所述开口（1321）具有一个纵向延伸的所有比所述径向范围更大。

公开(公告)号：EP2343726A2

公开(公告)日：2011-07-13

申请号：EP10196658.8

申请日：2010-12-22

申请人： Carl Zeiss NTS GmbH

发明人： Biberger, Josef ,  Pulwey, Ralph ,  Draszba, Ernst ,  Hegele, Klaus ,  Niebel, Harald ,  Adolf, Andreas ,  Arnold, Rainer

IPC分类号： H01J37/153 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/222 ,  H01J2237/1536 ,  H01J2237/223

摘要： The invention relates to a method for producing a representation of an object by means of a particle beam. The invention also relates to a particle beam device for carrying out the method. The invention is based on the object of specifying the method and the particle beam device for producing a representation of an object such that images which are produced, in particular including FFT images, are as free as possible of artifacts which are not caused by the object to be examined. This is achieved in particular in that pixel lives, line flyback times and pixel pause times are varied in raster patterns.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于通过粒子束来生产的物体的表示的方法。 因此本发明涉及一种用于实施该方法的粒子射线装置。 本发明是基于指定的方法和用于生产目标搜索的表示并包括FFT图像产生的影像，尤其是粒子射线装置的物体上，尽可能伪像的作为游离未由对象引起的 要检查。 这在像素particulare取得并现场表演，回扫时间和像素休息时间在网格图案的变化。

公开(公告)号：EP2317536A2

公开(公告)日：2011-05-04

申请号：EP10189439.2

申请日：2010-10-29

申请人： Carl Zeiss NTS GmbH

发明人： Thomas, Christian ,  Stefan, Lucian

IPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/20

CPC分类号： H01J37/244 ,  G01N23/2254 ,  G01N2223/612 ,  H01J37/20 ,  H01J37/226 ,  H01J37/228 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/2808

摘要： The invention relates to a detection device (22) and a particle beam device (1) having a detection device (22). The detection device (22) and the particle beam device (1) ensure a good efficiency in detecting interaction particles and electro-magnetic radiation. The detection device (22) has a detector (14) for detecting electromagnetic radiation and/or interaction particles and a filter element (13) through which the electromagnetic radiation is transmitted and which is designed for preventing the interaction particles from striking the detector (14) wherein the filter element (13) is situated to move between a first position (A) and a second position (B), the filter element (13) in the first position (A) being situated in relation to the detector (14) in such a way that the filter element (13) prevents the interaction particles from striking the detector (14), and wherein the filter element (13) in the second position (B) is situated in relation to the detector (14) in such a way that the filter element (13) allows the interaction particles to strike the detector (14). As an alternative, the filter element (13) may be designed as an object holder.

摘要翻译： 本发明涉及具有检测装置（22）的检测装置（22）和粒子束装置（1）。 检测装置（22）和粒子束装置（1）确保了检测相互作用颗粒和电磁辐射的良好效率。 检测装置（22）具有用于检测电磁辐射和/或相互作用颗粒的检测器（14）和电磁辐射透过的滤光元件（13），其被设计用于防止相互作用的颗粒撞击检测器（14） ），其中所述过滤元件（13）位于在第一位置（A）和第二位置（B）之间移动，所述第一位置（A）中的所述过滤元件（13）相对于所述检测器（14）定位， 以使得过滤元件（13）防止相互作用颗粒撞击检测器（14），并且其中处于第二位置（B）的过滤元件（13）相对于检测器（14）位于这样的位置 过滤元件（13）允许相互作用颗粒撞击检测器（14）的方式。 作为替代，过滤元件（13）可以被设计为物体保持器。