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    Frequenzangeregter Gaslaser für die Materialbearbeitung
    75.
    发明公开
    Frequenzangeregter Gaslaser für die Materialbearbeitung 审中-公开
    物料清单

    公开(公告)号：EP1087476A1

    公开(公告)日：2001-03-28

    申请号：EP99114798.4

    申请日：1999-07-28

    申请人： TRUMPF LASERTECHNIK GmbH

    发明人： von Borstel, Michael Dr. ,  Schlüter, Holger Dr. ,  Viöl, Wolfgang Prof. Dr.

    IPC分类号： H01S3/0975 ,  H01S3/041

    CPC分类号： H01S3/0975 ,  H01S3/041

    摘要： An einem frequenzangeregten Gaslaser (1) für die Materialbearbeitung liegt ein im wesentlichen außengekühlter Entladungsraum (7) zwischen zwei Anregungselektroden zur Energieeinkoppelung in Form zylindrischer Elektrodenrohre (2, 3), die mit einer Quelle (23) für elektrische Anregungsenergie über Halbleiterschaltelemente (22) zur Erzeugung der Anregungsfrequenz in Verbindung stehen und von denen wenigstens eines an seiner dem Entladungsraum (7) zugewandten Seite ein Dielektrikum (5, 6) aufweist.

    摘要翻译： 气体激光器包括以管（2,3）形式的两个激励电极之间的外部冷却的放电空间（7），其通过用于产生激发频率的半导体开关元件（22）连接到电能源（23）。 这些电极中的至少一个在面向放电空间（7）的一侧设置有电介质材料。

    EP0852835A4 -
    76.
    发明公开
    EP0852835A4 - 失效
    EP0852835A4 - Google专利

    公开(公告)号：EP0852835A4

    公开(公告)日：1998-07-29

    申请号：EP96939440

    申请日：1996-09-26

    IPC分类号： H01S3/0977 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/0979

    CPC分类号： H01S3/0975 ,  H01S3/0979 ,  Y10S372/701

    摘要： Disclosed is a gas laser utilizing radio frequency discharge excitation in the area of sonic or supersonic/subsonic transfer gas flow. The laser uses various types of gases and mixtures of gases as the active medium and provides for RF or UV pre-ionization of the gaseous medium before using radio frequency discharge excitation. The gas is supplied into a receiver (3a), and has downstream therefrom a supersonic nozzle (1) for acceleration of the active gaseous flow to high subsonic or supersonic speeds in order to provide intensive dynamic cooling of the active gas medium. The gas is excited using radio frequency discharge excitation in the critical area (1b) of the supersonic nozzle or downstream therefrom. The radio frequency discharge and excitation can also occur within the optical resonator region (23) which is located within the supersonic area of the nozzle. The present invention provides compact, efficient and super-powerful continuous, quasi-continuous and pulse laser systems with wavelengths from 2.03 mkm to 10.6 mkm with a high quality output beam. The present laser device may be utilized in scientific, commercial, aerospace and free space applications.

    摘要翻译： 本发明公开了一种在声波或超音速/亚音速传送气流区域中利用射频放电激励的气体激光器。 激光器使用各种类型的气体和气体混合物作为活性介质，并在使用射频放电激励之前提供气体介质的RF或UV预电离。 气体被供应到接收器（3a）中，并且在其下游具有用于将活性气流加速到高亚音速或超音速的超音速喷嘴（1），以提供活性气体介质的强烈动态冷却。 气体在超音速喷嘴的关键区域（1b）或其下游使用射频放电激发来激发。 射频放电和激发也可以发生在位于喷嘴的超声波区域内的光学谐振器区域（23）内。 本发明提供了具有高质量输出光束的从2.03mkm至10.6mkm的波长的紧凑，高效和超强大的连续，准连续和脉冲激光系统。 本激光装置可用于科学，商业，航空和自由空间应用。

    Excimer laser oscillation apparatus and method, excimer laser exposure apparatus, and laser tube
    77.
    发明公开
    Excimer laser oscillation apparatus and method, excimer laser exposure apparatus, and laser tube 失效
    准分子激光振荡装置和方法，准分子激光曝光装置和激光管

    公开(公告)号：EP0820132A2

    公开(公告)日：1998-01-21

    申请号：EP97305404.2

    申请日：1997-07-18

    申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA ,  Ohmi, Tadahiro

    发明人： Ohmi, Tadahiro ,  Tanaka, Nobuyoshi, c/o Canon Kabushiki Kaisha ,  Hirayama, Masaki

    IPC分类号： H01S3/0975 ,  H01S3/225 ,  H01S3/08

    CPC分类号： H01S3/0975 ,  H01S3/08 ,  H01S3/225

    摘要： This invention relates to an excimer laser oscillation apparatus which has a laser chamber (20) which stores a laser gas containing a gas mixture of at least one inert gas selected from the group consisting of Kr, Ar, and Ne, and F 2 gas, and in which an inner surface thereof has a reflection-free surface (3) with respect to light of a desired wavelength of 248 nm, 193 nm, or 157 nm, and the uppermost surface of the inner surface consists of a fluoride, an optical resonator which is made up of a pair of reflection mirrors (5,6) arranged to sandwich the laser chamber (20) therebetween, and in which the reflectance of the reflection mirror (6) on the output side is 90% or more and microwave introduction means (300,303,302), arranged on the laser chamber (20), for continuously exciting the laser gas in the laser chamber (20).

    摘要翻译： 准分子激光振荡装置本发明涉及一种准分子激光振荡装置，其具有存储包含选自Kr，Ar和Ne以及F 2气体中的至少一种惰性气体的气体混合物的激光气体的激光室（20），以及 其中内表面相对于所需波长为248nm，193nm或157nm的光具有无反射表面（3），并且内表面的最上表面由氟化物，光学谐振器 其由一对反射镜（5,6）构成，该反射镜（5,6）布置成将激光室（20）夹在其间，并且其中输出侧上的反射镜（6）的反射率为90％或更高，并且引入微波 装置（300,303,302）布置在激光室（20）上，用于连续激励激光室（20）中的激光气体。

    Multi-channel, rf-excited gas discharge laser
    78.
    发明公开
    Multi-channel, rf-excited gas discharge laser 失效
    Multikanal，RF-angeregter Gasentladungslaser

    公开(公告)号：EP0802593A1

    公开(公告)日：1997-10-22

    申请号：EP97302394.8

    申请日：1997-04-08

    申请人： DOMINO PRINTING SCIENCES PLC

    发明人： Sutter, Leroy Vernon

    IPC分类号： H01S3/0975

    CPC分类号： H01S3/0975

    摘要： The invention relates to a multi-channel RF-excited gas laser device which has an elongate tubular dielectric housing 1. The housing has a common elongate ground electrode 2 therewithin and a plurality of laser channels 4 defined within and extending along the ground electrode 2 adjacent to an interior surface 3 of the dielectric housing. A laser gas is provided within the dielectric housing and a plurality of RF electrodes 7 are disposed adjacent to and extending along an external surface 8 of the dielectric housing 1. Each RF electrode 7 is disposed in registration with one of the laser channels 4.

    摘要翻译： 本发明涉及一种具有细长管状电介质外壳1的多通道RF激发气体激光装置。外壳在其中具有共同的细长接地电极2和限定在邻近的接地电极2内并沿接地电极2延伸的多个激光通道4 到介电壳体的内表面3。 激光气体设置在电介质外壳内，并且多个RF电极7被布置成与电介质外壳1的外表面8相邻并延伸。每个RF电极7设置成与激光通道4之一对准。 IMAGE>

    Rectangular discharge gas laser
    79.
    发明公开
    Rectangular discharge gas laser 失效
    Gaslaser mit rechteckiger Entladung

    公开(公告)号：EP0776073A1

    公开(公告)日：1997-05-28

    申请号：EP96118839.8

    申请日：1996-11-25

    申请人： QSource, Inc.

    发明人： Chenausky, Peter

    IPC分类号： H01S3/03 ,  H01S3/0975

    CPC分类号： H01S3/0975 ,  H01S3/0315 ,  H01S3/08081

    摘要： A transverse RF pumped gas laser has a large area discharge which is of generally rectangular shape in all plan views. In cross-section the geometry of the discharge has a longer and a shorter dimension, the longer dimension being between the electrodes (12,30,32) to which RF power is supplied and the shorter dimension, suitable for guiding intracavity laser light, being defined by ceramic side walls (16,18).

    摘要翻译： 横向射频泵浦气体激光器在所有平面图中具有大的矩形形状的大面积放电。 在横截面中，放电的几何形状具有更长和更短的尺寸，更长的尺寸位于供应RF功率的电极（12,30,32）之间，较短的尺寸适于引导腔内激光， 由陶瓷侧壁（16,18）限定。