公开(公告)号：EP3659172A1

公开(公告)日：2020-06-03

申请号：EP18740812.5

申请日：2018-07-12

申请人： ASML Netherlands B.V.

发明人： REN, Weiming ,  LIU, Xuedong ,  HU, Xuerang ,  LUO, Xinan ,  CHEN, Zhongwei

IPC分类号： H01J37/05 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28 ,  H01J37/244

公开(公告)号：EP4165675A1

公开(公告)日：2023-04-19

申请号：EP21729576.5

申请日：2021-06-03

申请人： ASML Netherlands B.V.

发明人： OTTEN, Christiaan ,  CRANS, Peter-Paul ,  SMITS, Marc ,  DEL TIN, Laura ,  TEUNISSEN, Christan ,  HUANG, Yang-Shan ,  STEENBRINK, Stijn, Wilem, Herman, Karel ,  HU, Xuerang ,  XI, Qingpo ,  LUO, Xinan ,  LIU, Xuedong

IPC分类号： H01J37/02 ,  H01J37/18

公开(公告)号：EP3971938A1

公开(公告)日：2022-03-23

申请号：EP20197510.9

申请日：2020-09-22

申请人： ASML Netherlands B.V.

发明人： OTTEN, Christiaan ,  CRANS, Peter-Paul ,  SMITS, Marc ,  DEL TIN, Laura ,  TEUNISSEN, Christan ,  HUANG, Yang-Shan ,  STEENBRINK, Stijn, Wilem, Herman, Karel ,  HU, Xuerang ,  XI, Qingpo ,  LUO, Xinan ,  LIU, Xuedong

IPC分类号： H01J37/02 ,  H01J37/18

摘要： Disclosed herein is a module for supporting a device configured to manipulate charged particle paths in a charged particle apparatus, the module comprising: a support arrangement configured to support the device, wherein the device is configured to manipulate a charged particle path within the charged particle apparatus; and a support positioning system configured to move the support arrangement within the module; wherein the module is arranged to be field replaceable in the charged particle apparatus.

公开(公告)号：EP3867942A1

公开(公告)日：2021-08-25

申请号：EP19773417.1

申请日：2019-09-20

申请人： ASML Netherlands B.V.

发明人： HU, Xuerang ,  LUO, Xinan ,  XI, Qingpo ,  LIU, Xuedong ,  REN, Weiming

IPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/317