公开(公告)号：EP1955349A2

公开(公告)日：2008-08-13

申请号：EP06837698.7

申请日：2006-11-15

申请人： Alis Corporation

发明人： WARD, Billy, W. ,  NOTTE IV, John A. ,  FARKAS III, Louis, S. ,  PERCIVAL, Randall G. ,  HILL, Raymond ,  MANTZ, Ulrich ,  STEIGERWALD, Michael

IPC分类号： H01J9/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H01J37/252 ,  H01J37/305 ,  H01J37/317 ,  B81B1/00 ,  G01N23/225 ,  G12B21/02 ,  H01J27/26

CPC分类号： H01J9/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/20 ,  H01J37/252 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3056 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/20264 ,  H01J2237/2566 ,  H01J2237/2623 ,  H01J2237/2812 ,  H01J2237/30438 ,  H01J2237/30477 ,  H01J2237/31737 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31755

摘要： The present invention refers to a method that comprises the following steps: Providing an electrically conductive tip with a terminal shelf which has between three and twenty atoms, generating a first ion beam by interacting a gas with the electrically conductive tip, providing an ion optical system, eliminating by the ion optical system some of the ions in the first ion beam to generate a second ion beam comprising ions 70% or more of which are generated via interaction of the gas with one atom of the terminal shelf of the electrically conductive tip, and interacting the second ion beam with an activating gas to promote a chemical reaction at a surface of a sample. The figure shows a gas field ion microscope system (100).

摘要翻译： 本发明涉及一种方法，其包括以下步骤：提供具有三至二十个原子的端子架的导电尖端，通过使气体与导电尖端相互作用而产生第一离子束，提供离子光学系统 通过离子光学系统消除第一离子束中的一些离子以产生第二离子束，所述第二离子束包括70％或更多的离子，其经由气体与导电尖端的端子架的一个原子的相互作用而产生， 以及使第二离子束与活化气体相互作用以促进样品表面的化学反应。 该图显示了气体场离子显微镜系统（100）。