公开(公告)号：EP4377993A1

公开(公告)日：2024-06-05

申请号：EP22850077.3

申请日：2022-07-12

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： CEN, Xi ,  TAEWOONG, Yun ,  PETHE, Shirish A. ,  WU, Kai ,  SASAKI, Nobuyuki ,  LEI, Wei

IPC分类号： H01L21/768 ,  H01L21/285 ,  H01L23/532

CPC分类号： H01L23/53266 ,  H01L21/76846 ,  H01L21/76876 ,  H01L21/76816

公开(公告)号：EP4420158A1

公开(公告)日：2024-08-28

申请号：EP22884219.1

申请日：2022-08-01

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： HUANG, Zubin ,  MOHANA, Srinivas Tokur ,  YADAMANE, Sandesh ,  WU, Kai ,  RAVI, Jallepally ,  YU, Xiaozhou ,  WANG, Peiqi

IPC分类号： H01L21/687 ,  H01L21/67 ,  C23C16/458 ,  C23C16/46

CPC分类号： H01L21/67103 ,  H01L21/68785 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/68757 ,  C23C16/4585 ,  H01L21/68742 ,  C23C16/46

公开(公告)号：EP4364192A1

公开(公告)日：2024-05-08

申请号：EP22833851.3

申请日：2022-04-19

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： HUANG, Zubin ,  RAVI, Jallepally ,  WU, Kai ,  YUAN, Xiaoxiong

IPC分类号： H01L21/687 ,  C23C16/458 ,  C23C16/455 ,  H01J37/32 ,  H01L21/768 ,  H01L21/285

CPC分类号： H01J37/32715 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/68735 ,  H01L21/67103 ,  C23C16/4585 ,  C23C16/452 ,  C23C16/14 ,  C23C16/0272 ,  C23C16/045 ,  C23C16/45525