CAPTEUR D'HUMIDITE AMELIORE
    6.
    发明公开
    CAPTEUR D'HUMIDITE AMELIORE 有权
    VERBESSERTER FEUCHTIGKEITS传感器

    公开(公告)号:EP3037810A1

    公开(公告)日:2016-06-29

    申请号:EP15198576.9

    申请日:2015-12-09

    IPC分类号: G01N27/22

    CPC分类号: G01N27/223

    摘要: La présente invention concerne un capteur d'humidité (1) comprenant une plaque de base (10) en silicium sur laquelle au moins une pluralité de couches diélectriques (16), chacune munie d'une zone métallique (18), et une couche métallique (20) sont agencées, ladite couche métallique étant gravée pour former deux électrodes (22) comprenant chacune une armature munie d'une multitude de bras, ces armatures étant montées de sorte que les bras de chaque armatures soient entrelacés pour avoir des bras placés en regard les uns des autres et séparés par des interstices (22a).

    摘要翻译: 湿度传感器技术领域本发明涉及一种湿度传感器,其包括硅基板,在其上布置有至少多个电介质层,每个设有金属区域和金属层,所述金属层被蚀刻以形成两个电极,每个电极 包括设置有多个臂的一个电枢,这些电枢被安装成使得每个电枢的臂交错以便使彼此相对放置并且由间隙隔开的臂。