公开(公告)号：EP3120382A4

公开(公告)日：2017-10-25

申请号：EP15765881

申请日：2015-03-13

申请人： KLA-TENCOR CORP

发明人： CHUANG YUNG-HO ALEX ,  ZHANG JINGJING ,  FIELDEN JOHN

IPC分类号： H01L27/146 ,  G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  H01L21/66 ,  H01L27/148 ,  H01L31/107

CPC分类号： H01L27/14632 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/0638 ,  G01N2201/12 ,  H01L27/14609 ,  H01L27/1461 ,  H01L27/14612 ,  H01L27/1462 ,  H01L27/1464 ,  H01L27/14643 ,  H01L27/14645 ,  H01L27/14647 ,  H01L27/14681 ,  H01L27/14685 ,  H01L27/14687 ,  H01L27/14689 ,  H01L27/14698 ,  H01L27/14825 ,  H01L27/14831 ,  H01L27/14856 ,  H01L31/028 ,  H01L31/107 ,  H01L31/1804

公开(公告)号：EP2758990A4

公开(公告)日：2015-10-14

申请号：EP12833283

申请日：2012-09-20

申请人： KLA TENCOR CORP

发明人： LIU XUEFENG ,  CHUANG YUNG-HO ALEX ,  FIELDEN JOHN ,  TSAI BIN-MING BENJAMIN ,  ZHANG JINGJING

IPC分类号： H01L21/66 ,  G03F7/20

CPC分类号： G06F17/5018 ,  G03F7/70625 ,  G06F17/10 ,  G06F17/5081 ,  G06F19/00 ,  G06F2217/12 ,  G06F2217/14 ,  G06F2217/16 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20

摘要： Systems and methods for process aware metrology are provided.

摘要翻译： 提供了流程感知度量的系统和方法。