公开(公告)号：EP3161434A1

公开(公告)日：2017-05-03

申请号：EP15812618.5

申请日：2015-06-17

Applicant: Spectral Engines OY

Inventor： ANTILA, Jarkko

IPC: G01J3/12 ,  G01J3/02 ,  G01J3/28 ,  G02F1/21 ,  G02B26/00 ,  G02B5/20

CPC classification number: G01J3/26 ,  G01J3/0227 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/28 ,  G01J3/45 ,  G01J9/0246 ,  G01J2003/2879 ,  G02B5/20 ,  G02F1/21

Abstract: A method for determining spectral calibration data (λcal(Sd), Sd,cal(λ)) of a Fabry-Perot interferometer (100) comprises: forming a spectral notch (NC2) by filtering input light (LB1) with a notch filter (60) such that the spectral notch (NC2) corresponds to a transmittance notch (NC1) of the notch filter (60), measuring a spectral intensity distribution (M(Sd)) of the spectral notch (NC2) by varying the mirror gap (dFP) of the Fabry-Perot interferometer (100), and by providing a control signal (Sd) indicative of the mirror gap (dFP), and determining the spectral calibration data (λcal(Sd), Sd,cal(λ)) by matching the measured spectral intensity distribution (M(Sd)) with the spectral transmittance (TN(λ)) of the notch filter (60).

Abstract translation: 一种用于确定法布里 - 珀罗干涉仪（100）的光谱校准数据（λcal（Sd），Sd，cal（λ））的方法包括：通过用陷波滤波器（LB1）滤波输入光（LB1） （NC2）对应于所述陷波滤波器（60）的透射率陷波（NC1），通过改变所述光谱陷波（NC2）的光谱间隙（NC2）来测量所述光谱陷波（NC2）的光谱强度分布（M（Sd） 通过提供指示镜面间隙（dFP）的控制信号（Sd），并且通过以下方式来确定光谱校准数据（λcal（Sd），Sd，cal（λ））： - 通过法布里 - 珀罗干涉仪 使测量的光谱强度分布（M（Sd））与陷波滤波器（60）的光谱透射率（TN（λ））相匹配。

公开(公告)号：EP3215816A1

公开(公告)日：2017-09-13

申请号：EP15801885.3

申请日：2015-11-05

Applicant: Spectral Engines OY

Inventor： ANTILA, Jarkko ,  KANTOJÄRVI, Uula ,  MÄKYNEN, Jussi

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/26

CPC classification number: G01J3/26 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0286

Abstract: The present invention concerns an optical measurement system comprising an electrically tunable Peltier element, a detector for detecting radiation from a radiation source in a measurement area, the detector being in thermal connection with the Peltier element, an electrically tunable Fabry-Perot interferometer placed in the path of the radiation prior to the detector, the Fabry-Perot interferometer being in thermal connection with the Peltier element, and control electronics circuitry configured to control the Peltier element, the interferometer, and the detector. The present invention further concerns a method for analyzing the spectrum of an object.

Abstract translation: 本发明涉及包括电可调珀耳帖元件（11），用于检测来自测量区域（26）中的辐射源（25）的辐射的检测器（23）的光学测量系统（1），检测器（23） 在与珀耳帖元件（11）热连接的情况下，在检测器（23）之前放置在辐射（16）的路径中的电可调法布里珀罗干涉仪（10），法布里珀罗干涉仪（10）处于热 与珀耳帖元件（11）的连接以及配置成控制珀耳帖元件（11），干涉仪（10）和检测器（23）的控制电子电路。 本发明还涉及用于分析对象的光谱的方法。

公开(公告)号：EP3444578A1

公开(公告)日：2019-02-20

申请号：EP17186378.0

申请日：2017-08-16

Applicant: Spectral Engines OY

Inventor： ANTILA, Jarkko ,  KANTOJÄRVI, Uula

IPC: G01J3/26 ,  G01N21/3563 ,  G01N21/359 ,  G02B5/28 ,  G02B26/00 ,  G01N21/25 ,  G01N21/17 ,  G01N21/31 ,  G02F1/21

Abstract: According to an example aspect of the present invention, there is provided a method for analysing a chemical composition of a target (5), the method comprising placing an electrically tunable Fabry-Perot interferometer (4) in a path of radiation emitted by a radiation source (2), and detecting the radiation (3), which has passed the Fabry-Perot interferometer (4) and which has passed or was reflected by the target (5), by means of a detector (6), and wherein detection is made such that multiple pass bands are allowed to be detected simultaneously.

公开(公告)号：EP3215817A1

公开(公告)日：2017-09-13

申请号：EP15857959.9

申请日：2015-11-04

Applicant: Spectral Engines OY

Inventor： ANTILA, Jarkko ,  KANTOJÄRVI, Uula ,  MÄKYNEN, Jussi

IPC: G01J3/06 ,  G01J3/26 ,  G01J3/32 ,  G01N21/25 ,  G02B5/28 ,  G02F1/21

CPC classification number: G01J3/45 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/26 ,  G01J3/32 ,  G02B5/28

Abstract: The present invention concerns a method for an optical measurement method including the following steps: illuminating an object by light, receiving light from the illuminated object to a tunable Fabry-Perot interferometer, changing mirror gap of the Fabry-Perot interferometer, and detecting the signal passed through the mirror gap of the Fabry-Perot interferometer at different gap lengths. In accordance with the invention the detection is performed at different lengths of times at different gap lengths.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于光学测量方法的方法，其包括以下步骤：通过光照射物体（OBJ1），从被照明物体（OBJ1）接收光（LB1）到可调法布里珀罗干涉仪（100），改变镜子 法布里 - 珀罗干涉仪（100）的间隙（dFP），并以不同间隙长度（dFP）检测通过法布里 - 珀罗干涉仪的镜面间隙（dFP）的信号（LB3）。 根据本发明，在不同的间隙长度（dFP）下以不同的时间长度进行检测。

公开(公告)号：EP3161436A1

公开(公告)日：2017-05-03

申请号：EP15811041.1

申请日：2015-06-29

Applicant: Spectral Engines OY

Inventor： ANTILA, Jarkko ,  KANTOJÄRVI, Uula ,  AKUJÄRVI, Altti ,  TUOHINIEMI, Mikko ,  MÄKYNEN, Jussi

IPC: G01J3/26 ,  G02B26/00 ,  G02B5/28 ,  G01J3/28 ,  G02F1/21

CPC classification number: G01J3/0297 ,  G01J3/0227 ,  G01J3/0264 ,  G01J3/027 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/26 ,  G01J3/28 ,  G01J3/45 ,  G01J2003/2879 ,  G02B26/001

Abstract: A method for determining spectral calibration data (λcal(Sd), Sd,cal(λ)) of a Fabry-Perot interferometer (100) comprises: - forming a plurality of filtered spectral peaks (P'1, P'2) by filtering input light (LB1) with a Fabry-Perot etalon (50) such that a first filtered peak (Ρ'1) corresponds to a first transmittance peak (P1) of the etalon (50), and such that a second filtered peak (P'2) corresponds to a second transmittance peak (P2) of the etalon (50), - using the Fabry-Perot interferometer (100) for measuring a spectral intensity distribution (M(Sd)) of the filtered spectral peaks (Ρ'1, P'2), wherein the spectral intensity distribution (M(Sd)) is measured by varying the mirror gap (dFP) of the Fabry-Perot interferometer (100), and by providing a control signal (Sd) indicative of the mirror gap (dFP), and - determining the spectral calibration data (λcal(Sd), Sd,cal(λ)) by matching the measured spectral intensity distribution (M(Sd)) with the spectral transmittance (ΤΕ(λ)) of the etalon (50).

Abstract translation: 一种用于确定性采矿光谱校准数据的方法（λcal（SD），SD，CAL（λ））法布里 - 珀罗干涉仪（100）的步骤包括： - 通过过滤形成过滤谱峰的多个（P'1，P'2） 输入光（LB1）配有一个法布里 - 珀罗标准具（50）检测做了第一滤波峰（Ρ'1）对应于标准具（50）的第一透射率峰（P1），并且这样做了第二经滤波的峰值（P “2）对应于第二峰的透射率（标准具的P2）（50）， - 使用用于测量的光谱强度分布（M（SD法布里 - 珀罗干涉仪（100））的滤波谱峰）（Ρ'1 ，P'2）worin光谱强度分布（M（SD））通过改变法布里 - 珀罗干涉仪（100）的镜间隙（DFP）测量，并且通过提供控制信号（SD）表示反射镜的 间隙（DFP），以及 - 确定性采矿光谱校正数据（λcal（SD），SD，CAL（λ））通过匹配所测量的光谱强度分布（M（SD））与光谱透射率（ΤΕ（λ）） 的标准具（50）。