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    VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES HOHLGLASPRODUKTS AUS EINEM GLASROHR-HALBZEUG MIT MARKIERUNGEN, SOWIE VERWENDUNGEN HIERVON
    7.
    发明公开
    VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES HOHLGLASPRODUKTS AUS EINEM GLASROHR-HALBZEUG MIT MARKIERUNGEN, SOWIE VERWENDUNGEN HIERVON 审中-公开

    公开(公告)号：EP3336066A3

    公开(公告)日：2018-09-12

    申请号：EP17206188.9

    申请日：2017-12-08

    申请人： SCHOTT AG

    发明人： Witzmann, Dr. André ,  Trinks, Dr. Ulla ,  Männl, Reinhard

    IPC分类号： C03B23/04 ,  B41M5/26 ,  C03C23/00 ,  G06K9/00 ,  G06K19/06 ,  B65C3/02 ,  B41M7/00

    CPC分类号： C03C23/0025 ,  B41M5/262 ,  B41M7/009 ,  C03B23/04 ,  C03C23/007 ,  G06K9/00577 ,  G06K19/06046

    摘要： Ein Glasrohr-Halbzeug oder ein Hohlglasprodukt, das aus einem Glasrohr-Halbzeug hergestellt ist, ist mit einer ersten Markierung mit Information zur Herkunft und/oder zu rohrspezifischen Produktionsdaten des Glasrohr-Halbzeugs (1) versehen, die auf dem hergestellten Hohlglasprodukt (20) nach dessen Herstellung auslesbar ist, um eine Entscheidung zur Herkunft und/oder zu den rohrspezifischen Produktionsdaten des Glasrohr-Halbzeugs (1) zu ermöglichen.
    Durch Auslesen der Markierung lässt sich erfindungsgemäß eindeutig feststellen, aus welchem Glasrohr-Halbzeug das Hohlglasprodukt hergestellt ist. Ferner lassen sich auch rohrspezifische Produktionsdaten dieses Glasrohr-Halbzeugs unmittelbar ermitteln und rückverfolgen. Somit lässt sich für das Hohlglasprodukt die gesamte Lieferkette vom Lieferanten des ursprünglich verwendeten Glasrohr-Halbzeugs bis hin zum Endprodukt eindeutig ermitteln.
    Erfindungsgemäß werden zur Erzeugung der ersten Markierung die physikalischen und chemischen Eigenschaften des Glasrohr-Halbzeugs nicht verändert, was durch Aufbringen einer Markierung mittels eines Druckers, beispielsweise eines Tintenstrahldruckers, oder mittels eines Lasers in einfacher Weise realisiert werden kann.

    Rohling aus Titan-dotiertem Kieselglas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie und Verfahren für seine Herstellung
    9.
    发明公开
    Rohling aus Titan-dotiertem Kieselglas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie und Verfahren für seine Herstellung 审中-公开
    坯件制成掺钛二氧化硅玻璃的用于其制备在EUV光刻中使用的镜基板，以及方法

    公开(公告)号：EP2960219A1

    公开(公告)日：2015-12-30

    申请号：EP14174699.0

    申请日：2014-06-27

    申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG

    发明人： Becker, Klaus ,  Ochs, Stefan ,  Thomas, Stephan

    IPC分类号： C03C3/06 ,  C03B19/14 ,  G03F1/24

    CPC分类号： C03B23/04 ,  C03B19/066 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1469 ,  C03B2201/06 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/10 ,  C03C2203/50 ,  G03F1/24 ,  G03F7/70316 ,  G03F7/7095

    摘要： Bei Rohlingen aus Titan-dotiertem Kieselglas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie ist üblicherweise eine optisch genutzte Fläche CA definiert. Innerhalb von CA zeigt der thermische Ausdehnungskoeffizient CTE ein über die Rohling-Dicke gemitteltes, zweidimensionales dCTE-Verteilungsprofil, bei dem die maximale Inhomogenität dCTE max , definiert als Differenz zwischen einem Inhomogenitäts-Maximalwert und einem Inhomogenitäts-Minimalwert, weniger als 5 ppb/K beträgt. Es ist bekannt, hohe CTE-Inhomogenitätswerte durch individuell angepasste, ortsabhängige Einstellung der Titandioxid-Konzentration zu vermeiden. Vergleichsweise hohe absolute CTE-Inhomogenitätswerte sind nur akzeptabel, sofern die im Einsatz auftretenden Bestrahlungsprofile Kreissymmetrie haben. Um hiervon ausgehend einen Rohling aus Titan-dotiertem Kieselglas bereitzustellen, der auch ohne individuell angepasste, ortsabhängige Einstellung der Titandioxid-Konzentration für den Einsatz mit nicht-kreisrundem Bestrahlungsprofil ausgelegt und geeignet ist, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass dCTE max mindestens 0,5 ppb/K beträgt, und dass CA eine nicht-kreisrunde Fläche mit einem Flächenschwerpunkt bildet, wobei das dCTE-Verteilungsprofil nicht rotationssymmetrisch und über CA derart definiert ist, dass gerade und auf eine Einheitslänge normierte Profilschnitte durch den Flächenschwerpunkt eine dCTE-Kurvenschar ergeben, die ein Kurvenband mit einer Bandbreite von weniger als 0,5 x dCTE max bilden.

    摘要翻译： 在掺杂钛的石英玻璃用于在EUV光刻中使用的镜基板的坯料，其光学使用区域CA通常定义。 内的热膨胀CA系数CTE是在坯料的厚度平均，二维DCTE分布，其中的最大不均匀性DCTE max时，定义为不均匀性最大值和不均匀性最小值小于5ppb的之间的差/ K是轮廓 ， 已知的是通过将二氧化钛浓度的定制的，依赖于位置的设置，避免高CTEInhomogenitätswerte。 相对高的绝对CTEInhomogenitätswerte仅可以接受的是，在利用辐射轮廓发生具有圆形对称。 向该基础提供由掺杂钛的石英玻璃，其也被设计成没有二氧化钛的浓度为具有非圆形照射轮廓和合适的使用的定制的，依赖于位置的设置的空白，它是根据本发明提出，DCTE最大值至少为0.5 ppb的/ K是，且该CA形成具有质心，其中所述DCTE分布轮廓定义为不旋转对称的和CA以便得到DCTE曲线直的，并且在通过重力的区域中心，弯曲带，一个单元长度归一化的轮廓截面的非圆形表面 具有小于0.5×DCTE最大的带宽形成。

    Method of making ferrule connectors for optical fibers
    10.
    发明公开
    Method of making ferrule connectors for optical fibers 审中-公开
    Herstellungsverfahrenfürfaseroptische Steckerstifte

    公开(公告)号：EP0978488A1

    公开(公告)日：2000-02-09

    申请号：EP99305937.7

    申请日：1999-07-26

    申请人： LUCENT TECHNOLOGIES INC.

    发明人： Ahrens, Robert George ,  Presby, Herman Melvin

    IPC分类号： C03B23/04 ,  C03B23/047 ,  G02B6/38

    CPC分类号： G02B6/3833 ,  C03B23/04 ,  C03B23/0476

    摘要： A method for controlling a bore diameter (120) of an optical fiber ferrule (110) is disclosed. The diameter of the bore is controlled by collapsing the ferrule around a rod (100) inserted in an over-sized bore formed therein. The diameter of the rod is selected to match the diameter of the optical fiber to be supported by the ferrule. Thus, after the rod is subsequently removed from the ferrule, the ferrule has a bore diameter which is defined by the diameter of the rod. Suitable materials for the ferrule and the rod include glass and metal, respectively.
    The ferrule (110) is heated using conventional methods such as a laser (190). Using focusing optics (195), laser (190) focuses a laser beam (200) at a point in the ferrule that is less than about 200µm away from the over-sized bore (130). Focusing the laser beam (200) at a point in the ferrule (110) that is less than about 200µm away from the over-sized bore (not shown), heats the ferrule (110) so it collapses around the rod (100) without affecting the outer diameter of the ferrule.

    摘要翻译： 公开了一种用于控制光纤套圈（110）的孔径（120）的方法。 孔的直径通过将套圈围绕插入其中形成的超大尺寸的孔中的杆（100）塌缩来控制。 选择棒的直径以匹配由套圈支撑的光纤的直径。 因此，在随后从套圈中取出杆之后，套圈具有由杆的直径限定的孔直径。 用于套管和棒的合适材料分别包括玻璃和金属。 使用诸如激光（190）的常规方法来加热套圈（110）。 使用聚焦光学器件（195），激光器（190）将激光束（200）聚焦在比过大尺寸的孔（130）小于约200μm的套圈中的点处。 将激光束（200）聚焦在比过大尺寸的孔（未示出）小于约200μm的套圈（110）中的点处，加热套圈（110），使其围绕杆（100）塌缩 ）而不影响套圈的外径。