公开(公告)号：EP2865002A4

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：EP13809283

申请日：2013-06-18

申请人： RAYTHEON CO

发明人： DIEP BUU ,  BLACK STEPHEN H

IPC分类号： H01L21/56 ,  G01J5/02

CPC分类号： G01J5/0235 ,  G01J5/024 ,  G01J5/045 ,  G01J5/20 ,  G01J2005/202 ,  H01L31/0203 ,  H01L31/09 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/0001

摘要： A method of forming a window cap wafer (WCW) structure for semiconductor devices includes machining a plurality of cavities into a front side of a first substrate; bonding the first substrate to a second substrate, at the front side of the first substrate; removing a back side of the first substrate so as to expose the plurality of cavities, thereby defining the WCW structure comprising the second substrate and a plurality of vertical supports comprised of material of the first substrate.

公开(公告)号：EP2690416A1

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：EP12763552.2

申请日：2012-03-09

申请人： Hamamatsu Photonics K.K.

发明人： WARASHINA, Yoshihisa ,  SUZUKI, Jun

IPC分类号： G01J1/42 ,  G01J1/44

CPC分类号： H04N5/33 ,  G01J1/44 ,  G01J5/00 ,  G01J5/10 ,  G01J5/22 ,  G01J5/24 ,  G01J2001/444 ,  G01J2005/0048 ,  G01J2005/0077 ,  G01J2005/066 ,  G01J2005/202 ,  H04N5/217 ,  H04N5/357

摘要： Provided is an infrared image sensor for detecting infrared rays. The infrared image sensor includes a light-receiving unit including a pixel region in which a plurality of pixels are arranged and at least one reference pixel; a difference circuit for acquiring a first differential signal that is a differential signal between a signal of one pixel contained in the pixel region and a signal of the reference pixel and a second differential signal that is a differential signal between signals of two predetermined pixels out of the pixels contained in the pixel region; and a pixel signal calculating unit that calculates a signal of each of the pixels on the basis of the first differential signal and the second differential signal.

摘要翻译： 提供了一种用于检测红外线的红外图像传感器。 红外图像传感器包括：光接收单元，包括其中布置多个像素的像素区域和至少一个参考像素; 差分电路，用于获取作为像素区域中包含的一个像素的信号与参考像素的信号之间的差分信号的第一差分信号和作为两个预定像素的信号之间的差分信号的第二差分信号 包含在像素区域中的像素; 以及像素信号计算单元，其基于第一差分信号和第二差分信号来计算每个像素的信号。

公开(公告)号：EP0645054B1

公开(公告)日：1996-11-13

申请号：EP92914216.4

申请日：1992-06-11

申请人： HONEYWELL INC.

发明人： HIGASHI, Robert, E. ,  JOHNSON, Robert, G. ,  HOLMEN, James, O.

IPC分类号： H01L31/08 ,  G01J5/20

CPC分类号： G01J5/20 ,  G01J2005/202 ,  H01L27/16

摘要： A two-level IR detector imaging array of high fill-factor design. The upper microbridge detector level is spaced above and overlies the integrated circuit and bus lines on the substrate surface below.

公开(公告)号：EP0378459A1

公开(公告)日：1990-07-18

申请号：EP90400035.3

申请日：1990-01-05

申请人： THOMSON-CSF

发明人： Hartemann, Pierre

IPC分类号： G01J5/20 ,  H01L39/10

CPC分类号： H01L39/10 ,  G01J5/20 ,  G01J2005/202 ,  Y10S505/848 ,  Y10S505/849

摘要： L'invention concerne un détecteur de rayonnement comprenant un élément en matériau supraconducteur (1) alimenté par un générateur électrique (2) ainsi que des moyens pour mesurer la résistance de l'élément (1).
Par exemple, le générateur est une source de tension constante. Les moyens de mesure sont une résistance (3) placée en série avec l'élément supraconducteur (1) et un appareil de mesure de tension (4) connecté aux bornes de la résistance (3).
Un rayonnement F a pour effet de faire varier la résistance de l'élément supraconducteur (1). Par suite, de la valeur de la résistance de l'élément supraconducteur (1) on déduit l'intensité du rayonnement reçu.
APPLICATIONS : Détection des rayonnements situés entre les ondes visibles et les ondes millimétriques.

摘要翻译： 本发明涉及一种辐射探测器，其包括由发电机（2）馈送的超导材料元件（1）和用于测量元件（1）的电阻的装置。 例如，发生器是恒定电压源。 测量装置是与超导元件（1）串联放置的电阻器（3）和连接在电阻器（3）两端的电压测量装置（4）。 辐射F具有改变超导元件（1）的电阻的作用。 作为超导元件（1）的电阻值的结果，推导出接收到的辐射的强度。 应用：检测可见波和毫米波之间的辐射。

公开(公告)号：EP3408630A1

公开(公告)日：2018-12-05

申请号：EP17701921.3

申请日：2017-01-24

申请人： AMS Sensors UK Limited

发明人： UDREA, Florin ,  ALI, Syed Zeeshan ,  HOPPER, Richard Henry ,  GARDNER, Julian ,  DE LUCA, Andrea

IPC分类号： G01J5/12 ,  G01J5/02 ,  G01J5/20

CPC分类号： H01L27/14669 ,  G01J5/024 ,  G01J5/12 ,  G01J5/20 ,  G01J2005/123 ,  G01J2005/202 ,  H01L27/14603 ,  H01L27/14609 ,  H01L27/14612 ,  H01L27/14618 ,  H01L27/1462 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/14629 ,  H01L27/1463 ,  H01L27/14649 ,  H01L27/14683 ,  H01L27/16 ,  H01L31/024 ,  H01L31/028 ,  H01L31/09 ,  H01L31/103 ,  H01L31/112 ,  H01L31/12 ,  H01L37/025

摘要： We disclose herein a thermal IR detector array device comprising a dielectric membrane, supported by a substrate, the membrane having an array of IR detectors, where the array size is at least 3 by 3 or larger, and there are tracks embedded within the membrane layers to separate each element of the array, the tracks also acting as heatsinks and/or cold junction regions.

公开(公告)号：EP3011371B1

公开(公告)日：2018-03-07

申请号：EP14731258.1

申请日：2014-06-17

申请人： Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S.) ,  Office National d'Etudes et de Recherches Aérospatiales

发明人： SAKAT, Emilie ,  HAÏDAR, Riad ,  PELOUARD, Jean-Luc ,  BOUCHON, Patrick ,  VINCENT, Grégory

IPC分类号： G02B5/00 ,  G02B5/18 ,  G02B5/20

CPC分类号： G02B5/208 ,  G01J1/0492 ,  G01J5/20 ,  G01J2005/202 ,  G02B5/008 ,  G02B5/1809 ,  G02B5/201 ,  G02B5/203 ,  G02B5/22 ,  G02B5/26 ,  G02B5/281 ,  G02B5/288

公开(公告)号：EP3002570A1

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：EP15186326.3

申请日：2015-09-22

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： PALANCHOKE, Ujwol ,  BOUTAMI, Salim ,  POCAS, Stéphane ,  RABAUD, Wilfried

IPC分类号： G01J5/20 ,  G01J5/08

CPC分类号： G01J5/22 ,  G01J5/0853 ,  G01J5/20 ,  G01J2005/202

摘要： Détecteur bolométrique (100) de longueurs d'ondes LWIR, comportant :
- un substrat (102) ;
- une membrane (104) suspendue au-dessus du substrat par des éléments de support (108) ;
- un élément absorbeur comprenant plusieurs structures MIM chacune formée d'un élément métallique inférieur (112), d'un élément métallique supérieur (114) propre à chaque structure MIM et d'un élément diélectrique (110, 118) disposé entre les éléments métalliques inférieur et supérieur ;
- un élément thermomètre comprenant un matériau thermométrique ;
dans lequel :
- la membrane comporte l'élément métallique supérieur, le matériau thermométrique et une partie de l'élément diélectrique de chaque structure MIM,
- les éléments métalliques supérieurs d'au moins deux structures MIM ont des dimensions différentes dans un plan principal de la membrane, et
- l'élément diélectrique de chacune des structures MIM comporte l'un des matériaux suivants présentant des modes vibrationnels dans la gamme LWIR : Al 2 O 3 , AIN, TiO 2 .

摘要翻译： LWIR波长的辐射测量检测器，包括：基板; 通过支撑元件悬浮在基底上的膜; 吸收元件包括多个MIM结构，每个MIM结构均形成有下部金属元件，特定于每个MIM结构的上部金属元件和位于下部和上部金属元件之间的介电元件; 包括至少一种测温材料的测温元件; 其中：所述膜包括所述上金属元件，所述测温材料和每个MIM结构的所述电介质元件的一部分，所述至少两个MIM结构的上金属元件在所述膜的主平面中相对于彼此具有不同的尺寸， 并且每个MIM结构的电介质元件包括在LWIR范围内具有振动模式的以下材料中的至少一种：Al 2 O 3，AlN，TiO 2。

公开(公告)号：EP2865002A1

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：EP13809283.8

申请日：2013-06-18

申请人： Raytheon Company

发明人： DIEP, Buu ,  BLACK, Stephen H.

IPC分类号： H01L21/56

CPC分类号： G01J5/0235 ,  G01J5/024 ,  G01J5/045 ,  G01J5/20 ,  G01J2005/202 ,  H01L31/0203 ,  H01L31/09 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/0001

摘要： A method of forming a window cap wafer (WCW) structure for semiconductor devices includes machining a plurality of cavities into a front side of a first substrate; bonding the first substrate to a second substrate, at the front side of the first substrate; removing a back side of the first substrate so as to expose the plurality of cavities, thereby defining the WCW structure comprising the second substrate and a plurality of vertical supports comprised of material of the first substrate.

摘要翻译： 一种形成用于半导体器件的窗口帽晶片（WCW）结构的方法包括：将多个空腔加工到第一衬底的正面; 在第一基板的正面将第一基板粘合到第二基板; 去除所述第一基板的背面以露出所述多个空腔，由此限定包括所述第二基板和由所述第一基板的材料构成的多个垂直支撑件的WCW结构。

公开(公告)号：EP1965184A1

公开(公告)日：2008-09-03

申请号：EP08151201.4

申请日：2008-02-08

申请人： Valtion teknillinen tutkimuskeskus

发明人： Seppä, Heikki ,  Helistö, Panu ,  Luukanen, Arttu

IPC分类号： G01J5/20 ,  G01J5/24

CPC分类号： G01J5/20 ,  G01J5/08 ,  G01J5/0837 ,  G01J5/24 ,  G01J2005/202 ,  G01J2005/208

摘要： The invention relates to a bolometer element, a bolometer cell, a bolometer camera, and a method for reading a bolometer cell. The bolometer cell comprises several bolometer elements, which comprises several bolometer elements located in a matrix, as well as conductors for detecting electrically from each bolometer element the radiation power acting on the bolometer elements, in which case each bolometer element comprises a first bolometer (601) having a first heating resistance (611) for sensing radiation power acting on the element. According to the invention, each bolometer element additionally comprises a second bolometer (602), having a second heating resistance (612), in which case in each bolometer element the first (601) and second (602) bolometers are electrically connected to each other in such a way that the heating resistance (611) of the first bolometer (601) can be biased with the aid of a voltage through the heating resistance (612) of the second bolometer (602) in order to amplify the radiation power detected with the aid of the connection. With the aid of the invention, it is possible to implement an extremely sensitive bolometer camera.

摘要翻译： 本发明涉及测辐射热计元件，测辐射热计单元，测辐射热量计摄像机和读取测辐射热计单元的方法。 测辐射热计单元包括几个辐射热量计元件，其包括位于矩阵中的几个辐射热量计元件，以及用于从每个测辐射热元件电学检测作用在测辐射热计元件上的辐射功率的导体，在这种情况下，每个测辐射热计元件包括第一测辐射热计（601 ）具有用于感测作用在所述元件上的辐射功率的第一加热电阻（611）。 根据本发明，每个辐射热量计元件还包括具有第二耐热性（612）的第二测辐射热计（602），在这种情况下，在每个测辐射热计元件中，第一（601）和第二（602）测辐射热计彼此电连接 以使第一测辐射热计（601）的加热电阻（611）借助于通过第二测辐射热计（602）的加热电阻（612）的电压来偏置，以放大由 联系的帮助。 借助于本发明，可以实现极其敏感的测辐射热量计相机。

公开(公告)号：EP1890485A1

公开(公告)日：2008-02-20

申请号：EP07356097.1

申请日：2007-07-23

申请人： ULIS

发明人： Tissot, Jean-Luc

IPC分类号： H04N5/33 ,  H04N7/18

CPC分类号： G01S3/784 ,  G01J1/4228 ,  G01J2005/202 ,  G08G1/165 ,  G08G1/166 ,  H04N5/33

摘要： Ce détecteur comprend un ensemble de capteurs élémentaires aptes à détecter ledit rayonnement. Cet ensemble comporte au moins deux zones de détection distinctes, une première zone de détection composée de capteurs élémentaires présentant une première constante de temps thermique, et une seconde zone de détection composée de capteurs élémentaires présentant une seconde constante de temps thermique différente de ladite première constante de temps thermique.

摘要翻译： 所述检测器具有一组两个辐射热传感器的红外辐射，其中该组是矩形矩阵的形式并检测。 该组包括一个中心区，外侧，左，右区，以及上部和下部周边区域，其中中心区域由具有的热时间常数的辐射热传感器（50）的。 横向，左侧和右侧的区域，以及上部和下部周边区由具有的热时间常数的其他辐射热传感器，所有这些是小于，所述传感器（50）组成。 因此独立claimsoft包括用于车辆驾驶辅助装置在电连接到显示红外摄像机用红外辐射检测器，其包括并再现场景的所有这是由检测器观察。