公开(公告)号：EP2966680B1

公开(公告)日：2024-08-28

申请号：EP13877188.6

申请日：2013-03-07

IPC分类号： H01L25/065 ,  H01L23/498 ,  H01L23/14 ,  H01L23/544 ,  H01L21/60 ,  H01L21/98

CPC分类号： H01L23/147 ,  H01L23/49816 ,  H01L23/49827 ,  H01L23/544 ,  H01L25/0657 ,  H01L25/0655 ,  H01L25/50 ,  H01L2223/544220130101 ,  H01L2223/5442620130101 ,  H01L2223/5447320130101 ,  H01L2223/5448620130101 ,  H01L2924/1519220130101 ,  H01L2225/0651320130101 ,  H01L2225/0659320130101 ,  H01L2924/0132220130101 ,  H01L2224/3222520130101 ,  H01L2224/7320420130101 ,  H01L24/13 ,  H01L24/81 ,  H01L2224/034620130101 ,  H01L2224/034720130101 ,  H01L2224/0564420130101 ,  H01L2224/1013520130101 ,  H01L2224/1016520130101 ,  H01L2224/1144420130101 ,  H01L2224/114720130101 ,  H01L2224/1301720130101 ,  H01L2224/1302320130101 ,  H01L2224/1314420130101 ,  H01L2224/140320130101 ,  H01L2224/1614820130101 ,  H01L2224/8100720130101 ,  H01L2224/8114320130101 ,  H01L2224/8119120130101 ,  H01L2224/8120320130101 ,  H01L2224/8198620130101 ,  H01L2224/810920130101 ,  H01L2224/0556820130101 ,  H01L2224/8114120130101 ,  H01L2224/040120130101 ,  H01L2224/113420130101 ,  H01L2224/1751720130101 ,  H01L24/06 ,  H01L24/17 ,  H01L2224/0212620130101 ,  H01L2224/021520130101 ,  H01L2224/0515520130101 ,  H01L2224/0558220130101 ,  H01L2224/060320130101 ,  H01L2224/0605120130101 ,  H01L2224/1301320130101 ,  H01L2224/1301420130101 ,  H01L2224/1623820130101 ,  H01L2224/8100220130101 ,  H01L2224/811420130101 ,  H01L2224/9514620130101 ,  H01L2224/9720130101 ,  H01L2224/1705120130101 ,  H01L24/11 ,  H01L24/14