公开(公告)号：EP4125119B1

公开(公告)日：2024-04-17

申请号：EP22187481.1

申请日：2022-07-28

IPC分类号： H01L23/00 ,  H01L25/065 ,  H01L21/56 ,  H01L21/48 ,  H01L21/60 ,  C23C14/04 ,  C23C14/28 ,  H01L21/02 ,  H01L21/285 ,  H01L23/495 ,  H01L23/31 ,  H01L23/29 ,  H01L25/00 ,  H01L25/16 ,  H01L25/07

CPC分类号： H01L2224/2424620130101 ,  H01L2224/2424520130101 ,  H01L2224/2413720130101 ,  H01L2224/2410120130101 ,  H01L2224/2410520130101 ,  H01L2224/240220130101 ,  H01L2224/24520130101 ,  H01L2224/2510520130101 ,  H01L2224/2517120130101 ,  H01L2224/8203920130101 ,  H01L2224/8210520130101 ,  H01L2224/8221420130101 ,  H01L2224/3224520130101 ,  H01L2224/7326720130101 ,  H01L2224/9224420130101 ,  H01L24/82 ,  H01L24/24 ,  H01L24/25 ,  H01L2924/0001420130101 ,  H01L24/83 ,  H01L24/32 ,  H01L25/50 ,  H01L25/0655 ,  H01L25/072 ,  H01L25/16 ,  H01L21/56 ,  H01L21/4825 ,  H01L23/49575 ,  H01L23/295 ,  H01L23/3107 ,  H01L23/49517 ,  C23C14/28 ,  C23C14/048