Polysiloxane, method of manufacturing same, silicon-containing alicyclic compound, and radiation-sensitive resin compounds
    2.
    发明公开
    Polysiloxane, method of manufacturing same, silicon-containing alicyclic compound, and radiation-sensitive resin compounds 有权
    聚硅氧烷,制造,含硅脂环族化合物,和对辐射敏感的树脂的化合物的方法

    公开(公告)号:EP1142928A1

    公开(公告)日:2001-10-10

    申请号:EP01108625.3

    申请日:2001-04-05

    申请人: JSR Corporation

    摘要: A novel polysiloxane having the following structural units (I) and/or (II) and the structural unit (III),
    wherein A 1 and A 2 are an acid-dissociable monovalent organic group, R 1 is hydrogen, monovalent (halogenated) hydrocarbon, halogen, or amino, R 2 is monovalent (halogenated) hydrocarbon group, or halogen. A method of preparing such a polysiloxane, a silicon-containing alicyclic compound providing this polysiloxane, and a radiation-sensitive resin composition comprising this polysiloxane are also provided. The polysiloxane is useful as a resin component for a resist material, effectively senses radiation with a short wavelength, exhibits high transparency to radiation and superior dry etching properties, and excels in basic resist properties required for resist materials such as high sensitivity, resolution, developability, etc.

    摘要翻译: 一种新颖的聚硅氧烷具有下述结构单元(I)和/或(II)和结构单元(III) worin A <1>和A <2>是上酸解离性的一价有机基团,R <1 >是氢,一价(卤代)烃,卤素,或氨基,R <2>是单价的(卤代)烃基,或卤素。 寻求制备的聚硅氧烷的方法,因此,提供一个含有硅的脂环化合物提供这种聚硅氧烷,和一种辐射敏感性树脂组合物含有该聚硅氧烷。 的聚硅氧烷是作为抗蚀剂材料的树脂成分是有用的,有效感测辐射具有短波长,显示出高的透明度,以辐射和优异的干蚀刻性能,并在抗蚀剂材料所要求的基本的抗蚀剂性能优异:诸如高灵敏度,分辨率,可显影 等等。

    Process for producing an oligomer
    5.
    发明公开
    Process for producing an oligomer 失效
    韦尔法罕zur Herstellung eines Oligomeren。

    公开(公告)号:EP0578242A1

    公开(公告)日:1994-01-12

    申请号:EP93110945.8

    申请日:1993-07-08

    IPC分类号: C07C13/39 C07C13/44 C07C2/04

    摘要: There are disclosed a process for producing an oligomer by oligomerizing a raw material comprising an unsaturated bicyclo heptane derivative and/or an unsaturated bicyclo octane derivative, which comprises the step of restricting the contents of dienes contained in the raw material to at most 1% by weight; and a process wherein the raw material is subjected to solid acid treatment simultaneously with or prior to distillation and then to oligomerization. The above process can efficiently produce the oligomer well suited for use in a traction drive fluid having a low viscosity and exhibiting excellent performance over a wide temperature range.

    摘要翻译: 公开了通过使包含不饱和双环庚烷衍生物和/或不饱和双环辛烷衍生物的原料低聚制造低聚物的方法,其包括将原料中所含的二烯含量限制为至多1%的步骤,通过 重量; 以及其中原料在蒸馏同时或在蒸馏之前进行固体酸处理然后进行低聚的方法。 上述方法可以有效地生产出适用于具有低粘度且在较宽温度范围内表现出优异性能的牵引驱动流体的低聚物。

    Process for the preparation of deuterated organic compounds
    8.
    发明公开
    Process for the preparation of deuterated organic compounds 失效
    制备有机有机化合物的方法

    公开(公告)号:EP0276675A3

    公开(公告)日:1988-08-17

    申请号:EP88100282

    申请日:1988-01-12

    IPC分类号: C07B59/00 C07C13/39

    CPC分类号: C07B59/00

    摘要: Das bisher bekannte Verfahren zur Herstellung deuterierter Acrylsäure- bzw. Methacrylsäure durch direktem Austausch von Wasserstoff durch Deuterium aus D₂O in Gegenwart eines Katalysators ist zeitaufwendig und benötigt einen großen Überschuß an D₂O. Durch Verwendung von Hydrier- oder (De)hydratisierungskatalysatoren auf Basis Palladium, Nickel und Kupfer und und hohe Reaktionstemperatur erhält man bei geringem Aufwand an D₂O in sehr kurzer Reaktionszeit deuterierte Verbindungen in guter Ausbeute Das neue Verfahren ist auch für leicht polymerisierende Monomere anwendbar, ohne daß ein Polymerisationsinhibitor zugegen sein muß.

    Verfahren zur Herstellung von deuterierten organischen Verbindungen
    9.
    发明公开
    Verfahren zur Herstellung von deuterierten organischen Verbindungen 失效
    Verfahren zur Herstellung von deuterierten organischen Verbindungen。

    公开(公告)号:EP0276675A2

    公开(公告)日:1988-08-03

    申请号:EP88100282.8

    申请日:1988-01-12

    IPC分类号: C07B59/00 C07C13/39

    CPC分类号: C07B59/00

    摘要: Das bisher bekannte Verfahren zur Herstellung deuterierter Acrylsäure- bzw. Methacrylsäure durch direktem Austausch von Wasserstoff durch Deuterium aus D₂O in Gegenwart eines Katalysators ist zeitaufwendig und benötigt einen großen Überschuß an D₂O. Durch Verwendung von Hydrier- oder (De)hydratisierungskatalysatoren auf Basis Palladium, Nickel und Kupfer und und hohe Reaktionstemperatur erhält man bei geringem Aufwand an D₂O in sehr kurzer Reaktionszeit deuterierte Verbindungen in guter Ausbeute Das neue Verfahren ist auch für leicht polymerisierende Monomere anwendbar, ohne daß ein Polymerisationsinhibitor zugegen sein muß.

    摘要翻译: 在迄今为止已知的催化剂存在下,通过氘从氘直接氘转化氘代丙烯酸或甲基丙烯酸的方法是耗时的并且需要大量过量的D 2 O。 通过使用基于钯,镍和铜的氢化或(de)水合催化剂和高反应温度,在非常短的反应时间内,通过少量D 2 O,以良好的产率获得氘代化合物。 该新方法也可用于易聚合单体,而不需要存在聚合抑制剂。