感放射線性樹脂組成物
    171.
    发明专利

    公开(公告)号:JPWO2005087841A1

    公开(公告)日:2008-01-24

    申请号:JP2006511063

    申请日:2005-03-17

    CPC classification number: G03F7/0757 C08G77/14 C08G77/24 G03F7/0046 G03F7/0392

    Abstract: 193nm以下の波長において透明性が高く、特に、LSIの製造に有用な感放射線性樹脂組成物における樹脂成分として極めて好適なシロキサン樹脂、および焦点深度(DOF)に優れ、現像欠陥が著しく低減された化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。シロキサン樹脂は、下記式(I)で表される構造単位(I)と下記式(II)で表される構造単位(II)とを同一分子内に有し、構造単位(I)および構造単位(II)の含有率がそれぞれ0モル%を超え70モル%以下の樹脂からなる。【化1】(AおよびBは直鎖状、分岐状もしくは環状の2価の炭化水素基を示し、R1は1価の酸解離性基を示し、R2は直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示す。)感放射線性樹脂組成物は、(イ)前記シロキサン樹脂および(ロ)感放射線性酸発生剤を含有する。

    固体撮像装置
    176.
    发明专利
    固体撮像装置 审中-公开

    公开(公告)号:JPWO2016088644A1

    公开(公告)日:2017-11-02

    申请号:JP2016562404

    申请日:2015-11-26

    CPC classification number: G02B5/22 H01L27/14 H04N5/33 H04N5/369

    Abstract: 製造コストを抑えつつ検出精度の高い固体撮像装置を提供することを課題とする。固体撮像装置は、可視光及び近赤外光の少なくとも一部を透過する第1光学層と、近赤外光の少なくとも一部を吸収する第2光学層と、前記第1、第2光学層を透過した前記可視光を検出する第1受光素子、並びに、前記第1光学層を透過した前記近赤外光を検出する第2受光素子を含む画素アレイと、を備え、前記第2光学層は、前記第2受光素子に対応する部分に開口部を有し、前記第1光学層における前記近赤外光の中の所定範囲の波長における透過率が垂直方向から測定した場合に30%以上となる最も短い波長(X1)から当該透過率が30%以下となる最も長い波長(X2)までの波長帯域をXとするとき、前記第1光学層の前記波長帯域(X)における垂直方向の平均透過率と前記第2光学層の前記波長帯域(X)における垂直方向の平均透過率との積が70%以下である。

    ラインパターン、光制御部材および光学結像部材の製造方法

    公开(公告)号:JP2017116657A

    公开(公告)日:2017-06-29

    申请号:JP2015250074

    申请日:2015-12-22

    Abstract: 【課題】互いに平行配置された、断面形状が略矩形の複数の線状部材からなるラインパターンの製造方法において、現像残渣を低減でき、ラインパターンの解像性に優れた方法を提供する。【解決手段】互いに平行配置された複数の線状部材からなり、前記線状部材の断面形状が略矩形であるラインパターンと、前記線状部材の側面に形成された光反射面とを有する光制御部材における前記ラインパターンの製造方法であり、(a)感放射線性組成物を用いて膜を形成する工程と、(b)前記膜に放射線をラインパターン状に照射する工程と、(c)放射線照射後の前記膜を現像してパターンを形成する工程と、(d)前記パターンに気流を当てる工程とを有することを特徴とするラインパターンの製造方法。【選択図】なし

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