公开(公告)号：JP2011159625A

公开(公告)日：2011-08-18

申请号：JP2011015823

申请日：2011-01-27

Applicant: Carl Zeiss Nts Gmbh ,  カール・ツァイス・エヌティーエス・ゲーエムベーハーCarl Zeiss NTS GmbH

Inventor： GLASMACHERS ALBRECHT ,  LAUE ALEXANDER ,  ALIMAN MICHEL ,  MANTZ HUBERT ,  ZEILE ULRIKE ,  DOEMER HOLGER

IPC: H01J49/06 ,  G01N27/62 ,  H01J49/10

CPC classification number: H01J37/265 ,  H01J3/26 ,  H01J37/244 ,  H01J37/256 ,  H01J37/28 ,  H01J49/063 ,  H01J49/065 ,  H01J49/10 ,  H01J2237/05 ,  H01J2237/2449 ,  H01J2237/2527

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device which is simple in design and easy in connection of respective elements in the device for transferring energy of ions to at least one gas particle and/or the device for transporting ions. SOLUTION: In the energy transfer and/or ion transportation devices 1200, 1300 for transferring energy of at least one ion to at least one gas particle in a gas, a container 1201 internally containing a gas is prepared, and the container 1201 has a transportation axis. Furthermore, at least one first multipole unit and at least one second multipole unit are arranged, and the first multipole unit and the second multipole unit are arranged along the transportation axis. The first multipole unit and the second multipole unit are formed by a printed circuit board. Furthermore, an electronic circuit is arranged to generate a potential gradient by applying potential to each multipole unit, and especially, the potential gradient is generated along the transportation axis. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种设备简单且容易连接设备中用于将能量离子转移至至少一个气体颗粒的装置和/或用于输送离子的装置的装置。 解决方案：在用于将至少一种离子的能量转移到气体中的至少一种气体粒子的能量转移和/或离子输送装置1200,1300中，制备内部容纳气体的容器1201，容器1201 有运输轴。 此外，布置至少一个第一多极单元和至少一个第二多极单元，并且第一多极单元和第二多极单元沿着输送轴线布置。 第一多极单元和第二多极单元由印刷电路板形成。 此外，电子电路被布置为通过向每个多极单元施加电位来产生电位梯度，并且特别地，沿着输送轴产生电位梯度。 版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP6166910B2

公开(公告)日：2017-07-19

申请号：JP2013036257

申请日：2013-02-26

Applicant: 株式会社ニューフレアテクノロジー

Inventor： 宮本 房雄

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01J37/305 ,  H01J37/06 ,  H01J37/04

CPC classification number: H01J37/304 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J3/26 ,  H01J37/06 ,  H01J37/07 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/0653 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/30461

公开(公告)号：JP2014022297A

公开(公告)日：2014-02-03

申请号：JP2012162258

申请日：2012-07-23

Applicant: Hitachi High-Technologies Corp ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： DOI HIDETO ,  IKEGAMI AKIRA ,  KAZUMI HIDEYUKI

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J3/26 ,  H01J3/14 ,  H01J37/1478 ,  H01J37/153 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/1508

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a charged particle beam device which, in a relatively simple configuration, corrects off-axis chromatic aberration and deflection coma aberration at the same time.SOLUTION: The present invention is a charged particle beam device provided with a tilting purpose deflector 08 disposed between a charged particle source 01 and an objective lens 09 and used to tilt a charged particle beam, the charged particle beam device having a first optical element 07 including an electromagnetic quadrupole which generates dispersion to suppress the dispersion caused by deflection by the tilting purpose deflector 08 and provided with a second optical element comprising the deflector 06 for deflecting the charged particle beam incident upon the first optical element 07 or an electromagnetic quadrupole which causes dispersion different from the dispersion generated by the first optical element to occur in the charged particle beam.

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种带电粒子束装置，其以相对简单的构造同时校正离轴色差和偏转彗形像差。解决方案：本发明是一种带电粒子束装置，其具有倾斜 设置在带电粒子源01和物镜09之间并用于倾斜带电粒子束的目的偏转器08，带电粒子束装置具有包括电磁四极杆的第一光学元件07，其产生色散以抑制由偏转引起的色散 倾斜目的偏转器08并且设置有第二光学元件，该第二光学元件包括用于偏转入射在第一光学元件07上的带电粒子束的偏转器06或电磁四极杆，其导致与由第一光学元件产生的色散不同的色散发生在 带电粒子束。

公开(公告)号：JPWO2012023205A1

公开(公告)日：2013-10-28

申请号：JP2010543241

申请日：2010-08-20

Applicant: 三菱電機株式会社

Inventor： 雅 片寄 ,  雅 片寄

IPC: A61N5/10

CPC classification number: A61N5/1077 ,  A61N5/1043 ,  A61N2005/1087 ,  G21K5/02 ,  H01J3/26

Abstract: 照射野及び照射位置精度の組み合わせ等の粒子線照射における複数のパラメータの組み合わせを可変にし、多様な照射バリエーションの照射を行うことができる粒子線照射装置を得ることを目的とする。加速器(54)により加速された荷電粒子ビーム(3)を照射対象(11)に照射する粒子線照射装置(58)であって、荷電粒子ビーム(3)を走査する走査電磁石(1、2)と、荷電粒子ビーム(3)のビーム軸方向における走査電磁石(1、2)と照射対象(11)との距離を変更するように走査電磁石(1、2)を移動する走査電磁石移動装置(4)とを備えた。

公开(公告)号：JP2013118060A

公开(公告)日：2013-06-13

申请号：JP2011264124

申请日：2011-12-01

Applicant: Canon Inc ,  キヤノン株式会社

Inventor： ARITA KEIICHI ,  SHINOHARA MASAHITO

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/305

CPC classification number: H01J37/30 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G21K5/10 ,  H01J3/26 ,  H01J29/70 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/24542 ,  H01J2237/30433 ,  H01J2237/3175

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique advantageous in reducing a measurement error due to a positional shift of a knife edge.SOLUTION: A charged particle beam device including an irradiation unit for irradiating a subject with a plurality of charged particles beams includes: a measuring instrument for measuring characteristics of the plurality of charged particle beams; and a control unit. The measuring instrument includes: a plate which has a plurality of knife edges; and a sensor which detects charged particle beams entering through the plate. The control unit scans one charged particle beams selected from the plurality of charged particle beams relative to the measuring instrument so that the one charged particle beam crosses at least two knife edges among the plurality of knife edges, and generates correction information for correcting a measurement error of the measuring instrument due to deformation of the plate based upon output of the sensor during the scanning.

Abstract translation: 要解决的问题：提供有利于减少由于刀刃的位置偏移引起的测量误差的技术。 解决方案：包括用于用多个带电粒子束照射对象的照射单元的带电粒子束装置包括：用于测量多个带电粒子束的特性的测量仪器; 和控制单元。 测量仪器包括：具有多个刀刃的板; 以及检测通过板进入的带电粒子束的传感器。 控制单元相对于测量仪器扫描从多个带电粒子束中选出的一个带电粒子束，使得一个带电粒子束与多个刀刃之间的至少两个刀刃交叉，并产生用于校正测量误差的校正信息 由于在扫描期间基于传感器的输出而导致板的变形而导致的测量仪器。 版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP5096644B1

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：JP2012530274

申请日：2010-09-24

Applicant: イオンビーム アプリケーションズ, エス.エー.

Inventor： ヨンゲン、イブ

IPC: A61N5/10

CPC classification number: H01J3/26 ,  A61N5/01 ,  A61N5/10 ,  A61N5/1077 ,  A61N5/1081 ,  A61N2005/1087 ,  G21K1/093

Abstract: 本発明は、放射線治療に使用する粒子線治療装置、詳細には、粒子ビームをガントリの回転軸に直交して供給する小型アイソセントリックガントリに関する。 このガントリは、３個の双極磁石を含み、最終双極磁石の角度を９０度未満とし、この最終双極磁石の最も好適な偏向角度を６０度とする。
【選択図】図２

公开(公告)号：JPWO2010143268A1

公开(公告)日：2012-11-22

申请号：JP2009548256

申请日：2009-06-09

Applicant: 三菱電機株式会社

Inventor： 原田　久 ,  久 原田 ,  高明 岩田 ,  高明 岩田

IPC: A61N5/10 ,  G21K1/093 ,  G21K5/04

CPC classification number: H01J3/22 ,  A61N5/1042 ,  A61N5/1043 ,  A61N5/1077 ,  A61N5/1078 ,  A61N2005/1087 ,  H01J3/26

Abstract: 照射自由度が高く、正常組織への照射量を低減できる粒子線治療装置を得ることを目的とする。供給された荷電粒子ビームBecを治療計画に基づく3次元の照射形状に整形するよう走査出力する走査電磁石2と、走査電磁石2から走査出力された荷電粒子ビームBecが走査電磁石2からアイソセンタCまでに設定された複数の軌道7a,7b,7cのうち、選択されたひとつの軌道を経てアイソセンタCに到達するように荷電粒子ビームBecの軌道を切り替える偏向電磁石4、5と、を備え、走査電磁石からアイソセンタまでの距離を長くとるようにした。

公开(公告)号：JP2012079700A

公开(公告)日：2012-04-19

申请号：JP2011219560

申请日：2011-10-03

Applicant: Carl Zeiss Nts Gmbh ,  カール・ツァイス・エヌティーエス・ゲーエムベーハーCarl Zeiss NTS GmbH

Inventor： BIBERGER JOSEF ,  PULWEY RALPH ,  ANDREAS ADOLF

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J3/26 ,  H01J3/14 ,  H01J37/1477 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/303 ,  H01J2237/31749

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To enable an ion beam in an ion beam system having a scanning deflector to be deflected with high accuracy at a high deflection frequency (high speed) and without expanding the dynamic range of a deflection voltage in both high energy and low energy operation modes.SOLUTION: A deflector 39 is composed of three deflection electrode pairs consisting of first deflection electrodes 51a, 51b and 51c disposed at given intervals in the direction of an optical axis 5 of an ion beam 19 and second deflection electrodes 52a, 52b and 52c opposing the foregoing, and is so designed that different electric potentials can be applied to each deflection electrode from a controller 7 via a switch 61. In a first operation mode (for example, 30 keV ion beam energy), a deflection electric field is generated for all of the deflection electrode pairs, as shown by an arrow 55. In a second operation mode (for example, 1 keV ion beam energy), a deflection electric field is generated for only the deflection electrode pair 51a and 52a.

Abstract translation: 要解决的问题：为了使具有扫描偏转器的离子束系统中的离子束以高偏转频率（高速）的高精度偏转，并且不使两个高的偏转电压的动态范围扩大 能源和低能量运行模式。 解决方案：偏转器39由三个偏转电极对构成，该偏转电极对由沿离子束19的光轴5的方向以一定间隔设置的第一偏转电极51a，51b和51c以及第二偏转电极52a，52b和 52c与上述相反，并且被设计成可以通过开关61从控制器7向每个偏转电极施加不同的电位。在第一操作模式（例如，30keV离子束能量）中，偏转电场为 对于所有偏转电极对产生，如箭头55所示。在第二操作模式（例如，1keV离子束能量）中，仅为偏转电极对51a和52a产生偏转电场。 版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP6037693B2

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：JP2012162258

申请日：2012-07-23

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 土肥 英登 ,  池上 明 ,  数見 秀之

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/28 ,  H01J37/153

CPC classification number: H01J3/26 ,  H01J3/14 ,  H01J37/1478 ,  H01J37/153 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/1508

公开(公告)号：JP2015026431A

公开(公告)日：2015-02-05

申请号：JP2013153367

申请日：2013-07-24

Applicant: 日本電子株式会社 ,  Jeol Ltd

Inventor： SAWADA HIDEAKI ,  JIMBO YU

IPC: H01J37/153

CPC classification number: G02B27/0037 ,  G01N23/20 ,  G02B27/42 ,  G02B27/4205 ,  G21K1/08 ,  H01J3/04 ,  H01J3/12 ,  H01J3/26 ,  H01J37/05 ,  H01J37/147 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/153 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/1534

Abstract: 【課題】像および回折図形の少なくとも一方の真円度のずれの補正と軸上収差の補正とを個別に行うことができる球面収差補正装置を提供する。【解決手段】球面収差補正装置100は、像および回折図形を取得する荷電粒子線装置用の球面収差補正装置であって、多段の六極子場を発生させる六極子場発生部110と、前記多段の六極子場の少なくとも1つに、前記像および前記回折図形の少なくとも一方の真円度のずれを補正する八極子場を重畳する八極子場重畳部120と、荷電粒子線を偏向させる偏向部130と、を含む。【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够单独校正图像和衍射图案和轴向像差中的至少一个中的圆度的偏差的球面像差校正装置。解决方案：提供了一种用于带电粒子束装置的球面像差校正装置100 用于捕获图像和衍射图案，并且包括：用于产生多级六极场的六极场产生部分110; 用于将校正图像和衍射图案中的至少一个的圆形度的偏差的八极场叠加在多级六极场中的至少一个上的八极场叠加部分120; 以及用于偏转带电粒子束的偏转部分130。