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    加速電圧ドリフトの補正方法、荷電粒子ビームのドリフト補正方法、及び荷電粒子ビーム描画装置
    23.
    发明专利
    加速電圧ドリフトの補正方法、荷電粒子ビームのドリフト補正方法、及び荷電粒子ビーム描画装置 审中-公开
    用于加速电压漂移的校正方法，用于充电颗粒束的修正方法和带电粒子束光刻设备

    公开(公告)号：JP2016072497A

    公开(公告)日：2016-05-09

    申请号：JP2014201876

    申请日：2014-09-30

    Applicant: 株式会社ニューフレアテクノロジー

    Inventor： 溝口 裕規

    IPC: G03F7/20 ,  H01J37/305 ,  H01L21/027

    CPC classification number: H01J37/3174 ,  H01J37/21 ,  H01J37/241 ,  H01J37/28 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/3045 ,  H01J2237/30461 ,  H01J2237/31776

    Abstract: 【目的】加速電圧のドリフトを補正可能な方法を提供することを目的とする。 【構成】本発明の一態様の加速電圧ドリフトの補正方法は、荷電粒子ビームの焦点位置が第1の調整値によって調整された後、所定の期間経過後に、改めて荷電粒子ビームの焦点位置を調整した場合の第2の調整値を測定する工程と、第1と第2の調整値とのずれ量を演算する工程と、記憶装置に記憶された相関関係を用いて、ずれ量に対応する、荷電粒子ビームを放出するビーム源に印加される加速電圧の補正値を演算する工程と、補正値を用いて、ビーム源に印加される加速電圧を補正する工程と、を備えたことを特徴とする。 【選択図】図1

    Abstract translation: 目的：提供一种能够校正加速电压漂移的方法。结论：加速电压漂移的校正方法包括以下步骤：在电荷粒子束的焦点位置再次调整之后，再次调整带电粒子束的焦点位置的情况下测量第二调整值 从调整具有第一调整值的带电粒子束的焦点位置起经过预定​​时间; 计算第一和第二调整值之间的偏差量; 通过使用存储在存储装置中的相关性来计算与施加到发射带电粒子束的束源的加速电压对应的偏差量的校正值; 并通过使用校正值来校正要施加到光束源的加速电压。选择图：图1

    Sample observation device
    26.
    发明专利
    Sample observation device 有权
    样品观察装置

    公开(公告)号：JP2014157726A

    公开(公告)日：2014-08-28

    申请号：JP2013027894

    申请日：2013-02-15

    Applicant: Hitachi High-Technologies Corp ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： DOI AYUMI ,  FUNAKOSHI TOMOHIRO ,  YAMAMOTO TAKUMA ,  TAMORI TOMOHIRO ,  SAKAI TSUNEHIRO

    IPC: H01J37/22 ,  H01J37/28

    CPC classification number: H01J37/263 ,  H01J37/241 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/225 ,  H01J2237/281

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sample observation device in which there is no variation in human, and measurement conditions can be determined easily.SOLUTION: An image is acquired from a signal obtained by irradiating an observed object including a recess with a charged particle beam, a calculation unit determines the brightness ratio between the recess of an image of the observed object and the periphery of the recess, and then the appropriateness of acceleration voltage of the charged particle beam with which the observed part is irradiated is determined, by using the relation of the brightness ratio between the recess and the periphery thereof for each of a plurality of acceleration voltages in a prestored standard sample, and a value representing the structure of the recess.

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种其中不存在变化的样品观察装置，并且可以容易地确定测量条件。解决方案：从通过用带电粒子照射包括凹部的观察对象获得的信号获取图像 计算单元确定观察对象的图像的凹部与凹部的周边之间的亮度比，然后通过使用观察部分被照射的带电粒子束的加速电压的适当性来确定 预先存储的标准样品中的多个加速电压中的每一个的凹部和周边的亮度比的关系以及表示凹部的结构的值。

    X-ray ct apparatus
    27.
    发明专利
    X-ray ct apparatus 有权
    X射线CT装置

    公开(公告)号：JP2014064756A

    公开(公告)日：2014-04-17

    申请号：JP2012212135

    申请日：2012-09-26

    Applicant: Toshiba Corp ,  株式会社東芝 ,  Toshiba Medical Systems Corp ,  東芝メディカルシステムズ株式会社

    Inventor： OIKAWA DAIZO ,  ISHIYAMA FUMIO

    IPC: A61B6/03

    CPC classification number: H01J35/025 ,  A61B6/032 ,  A61B6/405 ,  A61B6/4241 ,  A61B6/54 ,  A61B6/542 ,  A61B6/58 ,  G05F1/10 ,  G05F1/565 ,  H01J37/241 ,  H01J37/248 ,  H01J37/3023 ,  H01J2237/2487 ,  H05G1/32 ,  H05G1/46

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an X-ray CT apparatus in which a photon energy distribution of emitted X-rays is flattened.SOLUTION: The X-ray CT apparatus includes an X-ray tube, a detector, a data collection part, a tube voltage generation part and a grid control part. The X-ray tube emits X-rays so as to irradiate a subject with the X-rays. The detector has a plurality of detection elements detecting photons which constitute the X-rays. The data collection part counts the number of the detected photons and collects projection data based on the result of the count. The tube voltage generation part applies a tube voltage to the X-ray tube while changing it within a prescribed cycle. The grid control part controls the grid voltage to reduce tube current when the tube voltage is increased, and controls the grid voltage to increase the tube current when the tube voltage is reduced. The X-ray CT apparatus flattens photon energy distribution of X-rays emitted from the X-ray tube.

    Abstract translation: 要解决的问题：提供其中发射的X射线的光子能量分布变平的X射线CT装置。解决方案：X射线CT装置包括X射线管，检测器，数据收集部分， 管电压产生部分和电网控制部分。 X射线管发射X射线，以便用X射线照射被摄体。 检测器具有检测构成X射线的光子的多个检测元件。 数据采集​​部分对检测到的光子的数量进行计数，并根据计数结果收集投影数据。 管电压产生部件在规定的周期内变更时，向X射线管施加管电压。 电网控制部分控制电网电压以减小管电压增加时的管电流，并且当管电压降低时控制电网电压以增加管电流。 X射线CT装置平滑X射线管发射的X射线的光子能量分布。

    Defective image collection method and its device
    30.
    发明专利
    Defective image collection method and its device 审中-公开
    有缺陷的图像采集方法及其设备

    公开(公告)号：JP2005259396A

    公开(公告)日：2005-09-22

    申请号：JP2004066546

    申请日：2004-03-10

    Applicant: Hitachi High-Technologies Corp ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： OBARA KENJI ,  HONDA TOSHIFUMI ,  KUBO TOSHIRO

    IPC: G01N23/225 ,  H01J37/28 ,  H01L21/66

    CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/241 ,  H01J37/263 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/2809 ,  H01J2237/2817

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a defective image even when a defect is present under an optically transparent film, in the case where the defect is observed by using an SEM based on defect position data outputted from a defect inspection device by an optical means.
    SOLUTION: An electronic optical system of an electron microscope is set in a first imaging condition; a defect position of a sample is so set as to be settled in a visual field of the electron microscope set in the first imaging condition by using position data of a defect of a sample obtained by inspecting the sample by using an inspection device; the position of the defect is imaged by the electron microscope set in the first imaging condition to obtain a first image of the defect position; the first image is processed to determine presence of the defect; the electronic optical system is set in a second imaging condition based on the result thereof; and the part imaged in the first condition is imaged by the electron microscope set in the second condition to obtain a second image of the defect position.
    COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

    Abstract translation: 要解决的问题：即使在光学透明膜下存在缺陷的情况下也可以获得缺陷图像，在通过使用基于缺陷检查装置输出的缺陷位置数据的SEM使用SEM观察到缺陷的情况下， 光学手段。 解决方案：将电子显微镜的电子光学系统置于第一成像条件下; 通过使用通过使用检查装置检查样品而获得的样本的缺陷的位置数据，将样品的缺陷位置设定为在第一成像条件下设置的电子显微镜的视野中进行定位; 通过设置在第一成像条件下的电子显微镜对缺陷的位置成像，以获得缺陷位置的第一图像; 处理第一图像以确定缺陷的存在; 基于其结果将电子光学系统设置在第二成像条件中; 并且通过在第二状态下设置的电子显微镜对在第一状态下成像的部分成像，以获得缺陷位置的第二图像。 版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI

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