角速度センサ
    32.
    发明专利

    公开(公告)号:JPWO2012090452A1

    公开(公告)日:2014-06-05

    申请号:JP2012550717

    申请日:2011-12-22

    Abstract: 角速度センサは、XYZ空間で定義される形状を有してかつZ軸の周りの角速度を検出できる検出素子を備える。検出素子は、X軸の方向に延びる支持体と、支持体に接続されたアームと、そのアームに接続された錘とを有する。アームは、支持体に接続された第1の端と、アームに接続された第2の端とを有する。アームは、第1の端からY軸の方向に第1の角部まで延びる第1のアーム部と、第1の角部からX軸の方向に第2の角部まで延びる第2のアーム部と、第2の角部からY軸の方向に第2の端まで延びる第3のアーム部とからなるJ字形状を実質的に有する。アームのX軸の方向の長さは錘のX軸の方向の長さよりも大きい。この角速度センサは、Z軸周りの角速度に対する感度を向上させることができる。

    Spring structure, the resonator, the resonator array and sensor

    公开(公告)号:JP2014510271A

    公开(公告)日:2014-04-24

    申请号:JP2013555913

    申请日:2012-02-27

    CPC classification number: G01C19/574 G01C19/5719

    Abstract: 本発明は、少なくとも2つの質量体(Ma、Mb)の連結点に接続されたばね(Sh1、Sh2)間のループ(L、E)を介して、質量体(Ma、Mb)に接続された前記ばね(Sh1、Sh2)を用いて、逆相振動として第1の方向に連結した質量体(Ma、Mb)を有するばね構造(501)を提示し、ループ(L)の長手方向の運動が、前記第1の方向に垂直に、または実質的に垂直に発生するように構成されるように、ループ(L)の前記連結点から基部のアンカー(A)に斜めのばね(Sl45、Sr45)を連結して、したがって、質量体(Ma、Mb)の逆相振動以外の逆相振動を減衰させる。 本発明はまた、共振器内および/または共振器アレイ内だけでなく、センサまたはセンサを備えるシステム内でのばね構造の用途を提示する。
    【選択図】図5

    Angular velocity sensor
    34.
    发明专利
    Angular velocity sensor 有权
    角速度传感器

    公开(公告)号:JP2013190299A

    公开(公告)日:2013-09-26

    申请号:JP2012056262

    申请日:2012-03-13

    Inventor: KATSUMATA TAKU

    CPC classification number: G01C19/5642 G01C19/574

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an angular velocity sensor in which deterioration in detection accuracy of angular velocity is suppressed.SOLUTION: An angular velocity sensor has: a vibrator 11 which is positioned on an x-y plane defined by an x-direction and a y-direction which are in an orthogonal relation; a substrate 12 which is apart from the vibrator 11 in a z-direction perpendicular to the x-y plane; an anchor 13 extending from the substrate 12 to the x-y plane on which the vibrator 11 is positioned; a connecting beam 14 which connects the anchor 13 with the vibrator 11 and can be twisted about the y-direction; an excitation section 50 which vibrates the vibrator 11 in the z-direction; and a detecting section 70 which detects angular velocity based on a displacement of the vibrator 11 in the x-direction. A connection portion P1 with the connecting beam 14 in the vibrator 11 is a portion which becomes a node when the vibrator 11 vibrates in the z-direction.

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种角速度传感器,其中角速度的检测精度的劣化被抑制。解决方案:角速度传感器具有:振动器11,其位于由x方向和y定义的xy平面上 正交关系的方向; 在垂直于x-y平面的z方向上离开振动器11的基板12; 从衬底12延伸到其上定位有振动器11的x-y平面的锚固件13; 连接梁14,其将锚固件13与振动器11连接并且可以围绕y方向扭转; 励磁部分50,振动器11在z方向上振动; 以及检测部70,其基于振动器11在x方向上的位移检测角速度。 在振动器11中具有连接梁14的连接部分P1是当振动器11在z方向上振动时成为节点的部分。

    Gyro sensor and electronic apparatus
    38.
    发明专利
    Gyro sensor and electronic apparatus 有权
    GYRO传感器和电子设备

    公开(公告)号:JP2012242286A

    公开(公告)日:2012-12-10

    申请号:JP2011113744

    申请日:2011-05-20

    Inventor: KANEMOTO HIROSHI

    CPC classification number: G01C19/574 G01C19/5733

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gyro sensor which is reduced in size.SOLUTION: A gyro sensor 10 includes an outer mass portion 40 equipped with a first detecting portion 42; a second mass portion 20 equipped with a second detecting portion 22; first driving portions 70a and 70b for vibrating the first mass portion 40 in a first axis direction; and a force converting portion 80 fixed by an anchor portion 90. The first mass portion 40 and the second mass portion 20 are connected by the force converting portion 80. The force converting portion 80 displaces about the anchor portion 90 as an axis, and vibrates the second mass portion 20 in a second axis direction intersecting the first axis in a plane view.

    Abstract translation: 要解决的问题:提供减小尺寸的陀螺仪传感器。 解决方案:陀螺传感器10包括配备有第一检测部分42的外部质量部分40; 配备有第二检测部22的第二质量部20; 用于使第一质量部分40在第一轴线方向上振动的第一驱动部分70a和70b; 以及由锚定部分90固定的力转换部分80.第一质量部分40和第二质量部分20通过力转换部分80连接。力转换部分80围绕锚定部分90作为轴移动,并且振动 第二质量部分20在第二轴线方向上在平面图中与第一轴线相交。 版权所有(C)2013,JPO&INPIT

    Detection method and mems sensor of acceleration and the rotation speed

    公开(公告)号:JP2012522228A

    公开(公告)日:2012-09-20

    申请号:JP2012502529

    申请日:2010-02-22

    Abstract: 本発明は、MEMSセンサーおよび3つの互いに直交する空間軸x,yおよびzの少なくとも1、好ましくは2に沿った加速度および回転速度をMEMSセンサー(1)によって測定する方法に関し、少なくとも1の駆動マス(6;6.1,6.2)および少なくとも1のセンサーマス(5)が基板(2)上に移動可能なように配置され、前記少なくとも1の駆動マス(6;6.1,6.2)は、駆動振動数において前記少なくとも1のセンサーマス(5)に対して移動可能であり、前記センサーの外側の加速が起きたとき、駆動マス(6;6.1,6.2)およびセンサーマス(5)は、駆動振動数において傾けられ、前記センサー(1)の外側の回転速度が起きたとき、回転速度振動数において傾けられ、前記加速度振動数と回転速度振動数は異なる。 前記MEMSセンサーにおいて、前記駆動マス(6;6.1,6.2)およびセンサーマス(5)は、前記基板(2)上に配置され、前記少なくとも1のアンカー(3)により静止状態において、バランスされる。 この少なくとも1のアンカー(3)における周期的な振動の時、駆動モードでは、前記駆動マス(6;6.1,6.2)は前記駆動マス(6;6.1,6.2)と前記センサーマス(5)のこの少なくとも1のアンカー(3)に対する不釣合いが生じ、前記センサー要素は、加速度振動数および/または回転速度振動数による、生じたトルクおよびコリオリ力による前記駆動およびセンサーマスの偏向を検出する。

    Driving circuit, physical quantity detector, angular speed detector, integrated circuit device, and electronic apparatus
    40.
    发明专利
    Driving circuit, physical quantity detector, angular speed detector, integrated circuit device, and electronic apparatus 有权
    驱动电路,物理量检测器,角速检测器,集成电路设备和电子设备

    公开(公告)号:JP2012177593A

    公开(公告)日:2012-09-13

    申请号:JP2011040137

    申请日:2011-02-25

    CPC classification number: G01C19/574 G01C19/5726

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a driving circuit, a physical quantity detector, an angular speed detector, an integrated circuit device, and an electronic apparatus, which reduce a time until an oscillator is stably oscillated and also can maintain the stable oscillation.SOLUTION: A comparator 210 (driving signal generating section) generates a driving signal 22 based on such a signal that an oscillation current 24 of an oscillator 100 inputted through a first signal line is converted to a voltage by an I/V conversion circuit 200 (current/voltage converting section), to supply it to the oscillator through a second signal line. An oscillation detecting circuit 270 (oscillation detecting section) detects whether the oscillation current 24 reaches a specified value or not, from the time the oscillator 100 starts the oscillation. A starting oscillation circuit 280 (starting oscillation section) assists the oscillating operation of the oscillator 100 until the oscillation current 24 reaches the specified value. A switch 218 separates off a capacitor 216 from the second signal line until the oscillation current 24 reaches the specified value, and connects the capacitor 216 to the second signal line after the oscillation current 24 reaches the specified value.

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种驱动电路,物理量检测器,角速度检测器,集成电路器件和电子设备,其减少振荡器稳定振荡之前的时间,并且还可以保持稳定 振荡。 解决方案:比较器210(驱动信号产生部分)基于这样的信号产生驱动信号22,使得通过第一信号线输入的振荡器100的振荡电流24通过I / V转换被转换成电压 电路200(电流/电压转换部分),通过第二信号线将其提供给振荡器。 从振荡器100开始振荡的时刻起,振荡检测电路270(振荡检测部)检测振荡电流24是否达到规定值。 启动振荡电路280(启动振荡部分)有助于振荡器100的振荡操作,直到振荡电流24达到指定值。 开关218将电容器216与第二信号线分离,直到振荡电流24达到指定值,并且在振荡电流24达到指定值之后将电容器216连接到第二信号线。 版权所有(C)2012,JPO&INPIT

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