ハイパースペクトルイメージング計量システム及び方法

    公开(公告)号:JP2019504325A

    公开(公告)日:2019-02-14

    申请号:JP2018540384

    申请日:2017-01-27

    Abstract: 計量システムであり、照明ビームを生成するよう構成された照明源と、その照明ビームをサンプルに差し向けるよう構成された1個又は複数個の照明光学系と、そのサンプルに発する照明を集光するよう構成された1個又は複数個の集光光学系と、検出器と、ハイパースペクトルイメージングサブシステムとを有する。そのハイパースペクトルイメージングサブシステムが、上記一組の集光光学系の瞳面に配置されており集光された照明をスペクトル分散させるよう構成されている分散素子と、集束素子のアレイを有するレンズアレイと、1個又は複数個のイメージング光学系とを有する。その1個又は複数個のイメージング光学系が、集光されスペクトル分散された照明を結合させることでレンズアレイ上に瞳面の像を形成させる。レンズアレイを構成する集束素子が、集光された照明を検出器上にアレイ状パターンの態で分布させる。

    単一センサのハイパースペクトル撮像デバイス

    公开(公告)号:JP2019023646A

    公开(公告)日:2019-02-14

    申请号:JP2018171634

    申请日:2018-09-13

    Abstract: 【課題】それぞれの出力を提供する複数の光センサを含む光センサアレイを備えるハイパースペクトル撮像デバイスを提供する。 【解決手段】複数のフィルタ素子を有するスペクトルフィルタアレイ、光センサ出力の複数のサブセットを選択するインターフェースモジュール、複数の画像を生成することによって、光センサ出力のサブセットからハイパースペクトルデータキューブを生成する制御モジュールを備える。各フィルタ素子が光センサのそれぞれの1つ以上によって受光された光をフィルタリングするように配列される。各フィルタ素子は、複数のフィルタ型のうちの1つである。各フィルタ型は、固有のスペクトル通過帯域を特徴とする。各サブセットは、単一のそれぞれのフィルタ型と関連付けられる。各画像は、複数の光センサ出力のうちの単一の対応する光センサ出力のサブセットから生成され、複数のフィルタ型のうちの対応するフィルタ型と関連付けられる。 【選択図】図4

    波長選択装置及び分光測定装置
    35.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2018084460A

    公开(公告)日:2018-05-31

    申请号:JP2016226802

    申请日:2016-11-22

    Inventor: 北澤 正吾

    Abstract: 【課題】フィルタの正確な波長選択特性を得ることが可能な波長選択装置及び分光測定装置を提供する。 【解決手段】光学距離をおいて互いに対向する一対の反射膜を有する第1のフィルタと、互いに選択波長が異なる複数のフィルタ領域を有する第2のフィルタと、所定の選択波長を有する第3のフィルタと、第1のフィルタと第1及び第2のフィルタと第1及び第3のフィルタとのそれぞれを通過した光の光強度を検出する第1、第2及び第3の検出領域を有する検出部と、第2及び第3の検出領域が検出した光強度に基づいて第1のフィルタの選択波長を算出する算出部と、を有する。 【選択図】図2

    分光器、及び分光器の製造方法

    公开(公告)号:JP2018040811A

    公开(公告)日:2018-03-15

    申请号:JP2017225826

    申请日:2017-11-24

    Abstract: 【課題】検出精度の低下を抑制しつつ小型化を図ることができる分光器、及びその製造方法を提供する。 【解決手段】分光器は、光通過部及び光検出部が設けられた光検出ユニットと、空間が形成されるように光検出ユニットに固定された支持体と、支持体に設けられた配線と、支持体に設けられ、空間において、光通過部を通過した光を反射する第1反射部と、光検出ユニットに設けられ、空間において、第1反射部で反射された光を分光すると共に反射する分光部と、支持体に設けられ、空間において、分光部で分光されると共に反射された光を光検出部に対して反射する第2反射部と、を備える。光検出ユニットと配線とは、電気的に接続されている。光検出部は、光検出ユニットが有する基板における空間側の表面に設けられ、半導体材料からなる基板に作り込まれている。分光部は、基板における空間側の表面に設けられている。 【選択図】図1

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