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公开(公告)号：JP5835425B2
公开(公告)日：2015-12-24
申请号：JP2014142245
申请日：2014-07-10
Applicant: JSR株式会社
IPC: H01L21/027 , H01L21/3205 , H01L21/768 , G03F7/40
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公开(公告)号：JP2015079142A
公开(公告)日：2015-04-23
申请号：JP2013216408
申请日：2013-10-17
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/039 , H01L21/027 , G03F7/004
Abstract: 【課題】EUV等の露光において、感度に優れ、LWR性能及び解像性にも優れる感放射線性樹脂組成物を提供する。 【解決手段】酸解離性基を有する重合体、1個の放射線粒子の作用により、化学構造の変化を伴って2個以上の電子を放出する有機化合物、及び放射線の作用により酸を発生する酸発生体を含有する感放射線性樹脂組成物。 【選択図】なし
Abstract translation: 要解决的问题：提供灵敏度以及在暴露于EUV等的LWR（线宽粗糙度）性能和分辨率方面优异的辐射敏感性树脂组合物。解决方案：辐射敏感性树脂组合物包含：具有 酸解离组; 通过单个辐射颗粒的作用发射伴随化学结构变化的两个或更多个电子的有机化合物; 以及通过辐射作用产生酸的酸发生剂。
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公开(公告)号：JP6743618B2
公开(公告)日：2020-08-19
申请号：JP2016184902
申请日：2016-09-21
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/038 , G03F7/20 , C07C381/12 , C07C309/19 , C09K3/00 , G03F7/004
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：JP6492515B2
公开(公告)日：2019-04-03
申请号：JP2014209355
申请日：2014-10-10
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/038 , C08F224/00 , C07D307/33 , C07D307/93 , C07D327/04 , C07D317/40 , C07D307/20 , C07D407/12 , C07C69/675 , C07C235/06 , C07C69/732 , C07C255/20 , C07C67/14 , C07C231/12 , C07C253/30 , G03F7/039
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公开(公告)号：JP6458455B2
公开(公告)日：2019-01-30
申请号：JP2014226524
申请日：2014-11-06
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/038 , C08F220/26 , C08F224/00 , C08F246/00 , G03F7/039
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公开(公告)号：JP2019008300A
公开(公告)日：2019-01-17
申请号：JP2018142814
申请日：2018-07-30
Applicant: JSR株式会社
Inventor： 生井 準人
IPC: G03F7/039 , G03F7/038 , G03F7/20 , C07C309/12 , C07C381/12 , C07C327/04 , C07C69/757 , C07C53/23 , C07C69/36 , C07D307/00 , C07D307/33 , C07D309/30 , G03F7/004
Abstract: 【課題】優れたMEEF性能、焦点深度及び露光余裕度を発揮すると共に、優れたLWR性能、CD均一性、解像性、断面形状の矩形性を有するレジストパターンを形成する感放射線性樹脂組成物の提供を目的とする。 【解決手段】本発明は、酸解離性基を含む構造単位を有する重合体、放射線分解性を有するオニウムカチオンとカウンターアニオンとからなる化合物、及び溶媒を含有し、上記カウンターアニオンが、カルボニル基を2以上有し、上記カルボニル基同士が、単結合又は炭素数1〜10の置換又は非置換のアルカンジイル基を介して結合する感放射線性樹脂組成物である。 【選択図】なし
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