エッチング液組成物及びエッチング方法

    公开(公告)号:JP2017084873A

    公开(公告)日:2017-05-18

    申请号:JP2015209028

    申请日:2015-10-23

    CPC classification number: C23F1/18 H01L21/306 H01L21/308 H05K3/06

    Abstract: 【課題】安定性が高く、沈殿物が発生し難いと共に、所望の寸法精度を有する配線パターンを形成することが可能なエッチング液組成物及びエッチング方法を提供する。【解決手段】本発明のエッチング液組成物は、銅系層を含む被膜のエッチングに用いられる。このエッチング液組成物は、(A)第二鉄イオン及び第二銅イオンから選ばれる少なくとも1種の酸化剤0.1〜30質量%;(B)塩化水素0.1〜20質量%;及び(C)1,3−ジヒドロキシベンゼン0.01〜25質量%を含む水溶液からなる。また、本発明のエッチング方法は、このエッチング液組成物を用いて、基体上に形成された銅系層を含む被膜をエッチングする。【選択図】なし

    担持体及び光電変換素子
    9.
    发明专利

    公开(公告)号:JPWO2015118986A1

    公开(公告)日:2017-03-23

    申请号:JP2015560932

    申请日:2015-01-26

    Abstract: 本発明の担持体は、色素(A)と下記一般式(1)で表される共吸着剤(B)を担持してなる。(式中、環Aは5又は6員環の複素環を表し、さらに縮環していてもよく、環A中の水素原子は、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、−OR2基、−SR2基又は置換基を有していてもよい炭化水素基で置換されていてもよく、Zは、−O−等で0〜3回中断されている2価の脂肪族炭化水素基を表し、Z1は、2価の芳香族基を表し、R1は、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基又はホスホン酸基を表し、R2及びR3は、水素原子又は置換基を有していてもよい炭化水素基を表し、Anm-はm価のアニオンを表し、mは1又は2の整数を表し、pは電荷を中性に保つ係数を表す。)

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