公开(公告)号：JP4544898B2

公开(公告)日：2010-09-15

申请号：JP2004114160

申请日：2004-04-08

Applicant: エア・ウォーター株式会社 ,  スタンレー電気株式会社

Inventor： 道宏 佐野 ,  直史 堀尾 ,  和馬 山本 ,  敬志 横山 ,  孝洋 白幡 ,  徹 稲垣

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  H01L33/28

公开(公告)号：JP4133911B2

公开(公告)日：2008-08-13

申请号：JP2004114159

申请日：2004-04-08

Applicant: エア・ウォーター株式会社 ,  スタンレー電気株式会社

Inventor： 道宏 佐野 ,  直史 堀尾 ,  和馬 山本 ,  敬志 横山 ,  孝洋 白幡 ,  徹 稲垣

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/455

公开(公告)号：JP3597990B2

公开(公告)日：2004-12-08

申请号：JP14133698

申请日：1998-05-22

Applicant: エア・ウォーター株式会社 ,  三菱電機株式会社

Inventor： 匠 中畑 ,  泰助 古川 ,  和馬 山本 ,  高一 斧 ,  洋実 木山 ,  徹 稲垣

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/455

公开(公告)号：JP4860295B2

公开(公告)日：2012-01-25

申请号：JP2006041132

申请日：2006-02-17

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 茂樹 伊藤 ,  憲三 北野 ,  晋二 合田 ,  和馬 山本

IPC: B08B7/00 ,  G02F1/1343

公开(公告)号：JP3841694B2

公开(公告)日：2006-11-01

申请号：JP2002028467

申请日：2002-02-05

Applicant: エア・ウォーター株式会社 ,  関東港業株式会社

Inventor： 隆夫 吉田 ,  和夫 山内 ,  和馬 山本 ,  仁 柴田 ,  洋志 清水 ,  寛徳 若松

IPC: A01M13/00 ,  A01M17/00 ,  A01N25/18 ,  A01N43/20

CPC classification number: A01M13/00

公开(公告)号：JP3869778B2

公开(公告)日：2007-01-17

申请号：JP2002265452

申请日：2002-09-11

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 和馬 山本 ,  敬志 横山 ,  孝洋 白幡 ,  徹 稲垣

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44 ,  H01L21/31

CPC classification number: C23C16/45574

公开(公告)号：JP3663400B2

公开(公告)日：2005-06-22

申请号：JP2002320128

申请日：2002-11-01

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 和馬 山本 ,  敬志 横山 ,  孝洋 白幡 ,  徹 稲垣

IPC: C23C16/455 ,  H01L21/31

公开(公告)号：JP3661921B2

公开(公告)日：2005-06-22

申请号：JP8246399

申请日：1999-03-25

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 和馬 山本 ,  洋実 木山 ,  仁 柴田 ,  敬志 横山 ,  奈美子 赤江 ,  邦春 高見

IPC: A01N25/18 ,  A01M13/00 ,  A01N43/20