公开(公告)号：JP4133911B2

公开(公告)日：2008-08-13

申请号：JP2004114159

申请日：2004-04-08

Applicant: エア・ウォーター株式会社 ,  スタンレー電気株式会社

Inventor： 道宏 佐野 ,  直史 堀尾 ,  和馬 山本 ,  敬志 横山 ,  孝洋 白幡 ,  徹 稲垣

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/455

公开(公告)号：JP4544898B2

公开(公告)日：2010-09-15

申请号：JP2004114160

申请日：2004-04-08

Applicant: エア・ウォーター株式会社 ,  スタンレー電気株式会社

Inventor： 道宏 佐野 ,  直史 堀尾 ,  和馬 山本 ,  敬志 横山 ,  孝洋 白幡 ,  徹 稲垣

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  H01L33/28

公开(公告)号：JP4377296B2

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：JP2004222965

申请日：2004-07-30

Applicant: エア・ウォーター株式会社 ,  スタンレー電気株式会社

Inventor： 道宏 佐野 ,  直史 堀尾 ,  敬志 横山 ,  孝洋 白幡 ,  徹 稲垣

IPC: H01L21/365 ,  C23C16/455

公开(公告)号：JP4398817B2

公开(公告)日：2010-01-13

申请号：JP2004239723

申请日：2004-08-19

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 敬志 横山 ,  孝洋 白幡

IPC: H01L21/205

公开(公告)号：JP4565928B2

公开(公告)日：2010-10-20

申请号：JP2004239724

申请日：2004-08-19

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 敬志 横山 ,  孝洋 白幡

IPC: H01L21/336 ,  H01L21/205 ,  H01L21/28 ,  H01L29/417 ,  H01L29/786

公开(公告)号：JP3869778B2

公开(公告)日：2007-01-17

申请号：JP2002265452

申请日：2002-09-11

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 和馬 山本 ,  敬志 横山 ,  孝洋 白幡 ,  徹 稲垣

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44 ,  H01L21/31

CPC classification number: C23C16/45574

公开(公告)号：JP3663400B2

公开(公告)日：2005-06-22

申请号：JP2002320128

申请日：2002-11-01

Applicant: エア・ウォーター株式会社

Inventor： 和馬 山本 ,  敬志 横山 ,  孝洋 白幡 ,  徹 稲垣

IPC: C23C16/455 ,  H01L21/31