公开(公告)号：JP4913521B2

公开(公告)日：2012-04-11

申请号：JP2006266941

申请日：2006-09-29

Applicant: キヤノン株式会社 ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 康成 早田 ,  真希 細田

IPC: H01L21/027 ,  H01J37/141

公开(公告)号：JP4313145B2

公开(公告)日：2009-08-12

申请号：JP2003348354

申请日：2003-10-07

Applicant: キヤノン株式会社 ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 理 上村 ,  義則 中山 ,  晴夫 依田 ,  康成 早田 ,  真希 細田 ,  明佳 谷本

IPC: G21K5/04 ,  H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01J37/04 ,  H01J37/09 ,  H01J37/305 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3177 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/04 ,  H01J37/317

公开(公告)号：JP4907092B2

公开(公告)日：2012-03-28

申请号：JP2005055592

申请日：2005-03-01

Applicant: キヤノン株式会社 ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 義則 中山 ,  洋也 太田 ,  康成 早田 ,  慎 榊原 ,  真希 細田

IPC: H01L21/027 ,  G03F9/00 ,  H01J37/305

CPC classification number: H01J37/3045 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/3045

公开(公告)号：JP4559137B2

公开(公告)日：2010-10-06

申请号：JP2004194772

申请日：2004-06-30

Applicant: キヤノン株式会社 ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 真人 村木 ,  恭宏 染田 ,  真人 根岸 ,  真希 細田 ,  浩一 脇坂 ,  昌和 菅谷

IPC: H01J37/305 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01J37/3007 ,  H01J9/18 ,  H01J37/04 ,  H01J2237/1205 ,  H01J2237/151 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/31774 ,  Y10T403/32713

公开(公告)号：JP4468752B2

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：JP2004194769

申请日：2004-06-30

Applicant: キヤノン株式会社 ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 公明 安藤 ,  真人 村木 ,  真希 細田

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20

公开(公告)号：JP3983772B2

公开(公告)日：2007-09-26

申请号：JP2005105818

申请日：2005-04-01

Applicant: キヤノン株式会社 ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 理 上村 ,  洋也 太田 ,  忠士 彼末 ,  康成 早田 ,  真希 細田

IPC: H01L21/027 ,  H01J37/04 ,  H01J37/09 ,  H01J37/244 ,  H01J37/305

公开(公告)号：JP4421836B2

公开(公告)日：2010-02-24

申请号：JP2003092114

申请日：2003-03-28

Applicant: キヤノン株式会社 ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 晴夫 依田 ,  洋也 太田 ,  真人 村木 ,  真希 細田

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01J37/147 ,  H01J37/317

CPC classification number: B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/30455

公开(公告)号：JP3929459B2

公开(公告)日：2007-06-13

申请号：JP2004327688

申请日：2004-11-11

Applicant: キヤノン株式会社 ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 真希 細田 ,  昌和 菅谷

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01J37/09 ,  H01J37/305

公开(公告)号：JP4745739B2

公开(公告)日：2011-08-10

申请号：JP2005198093

申请日：2005-07-06

Applicant: キヤノン株式会社 ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 真希 細田 ,  明佳 谷本

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01J37/305

公开(公告)号：JP4477436B2

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：JP2004194775

申请日：2004-06-30

Applicant: キヤノン株式会社 ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 理 上村 ,  真人 村木 ,  真希 細田

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01J37/04 ,  H01J37/305

CPC classification number: H01J37/045 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/31774