公开(公告)号：JP4559137B2

公开(公告)日：2010-10-06

申请号：JP2004194772

申请日：2004-06-30

Applicant: キヤノン株式会社 ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 真人 村木 ,  恭宏 染田 ,  真人 根岸 ,  真希 細田 ,  浩一 脇坂 ,  昌和 菅谷

IPC: H01J37/305 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01J37/3007 ,  H01J9/18 ,  H01J37/04 ,  H01J2237/1205 ,  H01J2237/151 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/31774 ,  Y10T403/32713

公开(公告)号：JP3929459B2

公开(公告)日：2007-06-13

申请号：JP2004327688

申请日：2004-11-11

Applicant: キヤノン株式会社 ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 真希 細田 ,  昌和 菅谷

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01J37/09 ,  H01J37/305

公开(公告)号：JP4637684B2

公开(公告)日：2011-02-23

申请号：JP2005243544

申请日：2005-08-25

Applicant: キヤノン株式会社 ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 剛志 堤 ,  康成 早田 ,  恭宏 染田 ,  昌和 菅谷 ,  明佳 谷本 ,  遠山　　博

IPC: H01L21/027 ,  H01J37/305 ,  H01L21/683

CPC classification number: G03F7/2059 ,  H01J2237/0044 ,  H01J2237/3175 ,  H01L21/6833

公开(公告)号：JP6254060B2

公开(公告)日：2017-12-27

申请号：JP2014186022

申请日：2014-09-12

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 悠介 森脇 ,  悠介 森脇 ,  光一 寺田 ,  光一 寺田 ,  菅谷　昌和 ,  昌和 菅谷 ,  博紀 小川 ,  博紀 小川 ,  桃井　康行 ,  康行 桃井 ,  柴田　信雄 ,  信雄 柴田 ,  橘内　浩之 ,  浩之 橘内 ,  清水　利彦 ,  利彦 清水 ,  中川　周一 ,  周一 中川

IPC: H01J37/20