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1.发明专利
公开(公告)号：JP5577684B2
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：JP2009281161
申请日：2009-12-11
申请人： セントラル硝子株式会社
IPC分类号： C08F20/28 , C07C69/54 , G03F7/004 , G03F7/38 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/038 , C08F20/28 , C08F220/18 , C08F220/24 , C08F220/28 , G03F7/004 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041 , Y10T428/24479
摘要： Disclosed is a polymerizable fluoromonomer represented by the following general formula (1). In the formula, R1 represents a hydrogen atom, methyl group, fluorine atom, or trifluoromethyl group. n is an integer of 0 or 1, and m is that of from 1 to (3+n). R2 and R3 each independently represents a hydrogen atom or a protective group. A resist containing a fluoropolymer obtained by polymerizing or copolymerizing the monomer is suitable for use in microfabrication by immersion exposure or by a double patterning process based on immersion exposure.
摘要翻译： 公开了由以下通式（1）表示的可聚合的含氟单体。 在该式中，R 1表示氢原子，甲基，氟原子或三氟甲基。 n为0或1的整数，m为1〜（3 + n）的整数。 R2和R3各自独立地表示氢原子或保护基。 含有通过聚合或共聚单体获得的含氟聚合物的抗蚀剂适用于通过浸渍曝光的微细加工或基于浸渍曝光的双重图案化工艺。
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公开(公告)号：JP4287703B2
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：JP2003166525
申请日：2003-06-11
申请人： セントラル硝子株式会社
IPC分类号： C07C209/52 , C07B53/00 , C07B61/00 , C07C209/62 , C07C211/15 , C07C249/02 , C07C251/08
CPC分类号： C07C209/62 , C07B2200/07 , C07C209/52 , C07C211/15 , C07C249/02 , C07C251/08
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3.发明专利
公开(公告)号：JP4606041B2
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：JP2004062735
申请日：2004-03-05
申请人： セントラル硝子株式会社
IPC分类号： C07C209/26 , C07B61/00 , C07C209/52 , C07C209/60 , C07C209/62 , C07C211/29 , C07C249/02 , C07C251/24
CPC分类号： C07C251/24 , C07C209/52 , C07C209/62 , C07C211/29 , C07C249/02
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公开(公告)号：JP4437648B2
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：JP2003277105
申请日：2003-07-18
申请人： セントラル硝子株式会社
IPC分类号： C07C209/16 , C07B57/00 , C07C209/88 , C07C211/29 , C07C303/28 , C07C309/66
CPC分类号： C07C303/28 , C07B2200/07 , C07C211/29 , C07C309/66
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公开(公告)号：JP4111756B2
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：JP2002179554
申请日：2002-06-20
申请人： セントラル硝子株式会社
IPC分类号： C07C29/159 , C07C51/093 , C07C29/147 , C07C31/38 , C07C51/295 , C07C51/353 , C07C51/367 , C07C59/115
CPC分类号： C07C51/295 , C07C59/115
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公开(公告)号：JP5556160B2
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：JP2009281162
申请日：2009-12-11
申请人： セントラル硝子株式会社
IPC分类号： G03F7/11 , G03F7/38 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/11 , C08F220/24 , C08F220/28 , G03F7/0046 , G03F7/2041
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公开(公告)号：JP4940790B2
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：JP2006182235
申请日：2006-06-30
申请人： セントラル硝子株式会社
IPC分类号： C07B39/00 , C07C17/16 , C07C19/08 , C07C67/307 , C07C69/63 , C07D207/16 , C07D209/48 , C07H19/073
CPC分类号： C07B39/00 , C07B55/00 , C07B2200/07 , C07C17/16 , C07C67/307 , C07D207/16 , C07D209/48 , C07D405/04 , C07H19/09 , C07C19/08 , C07C69/63
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公开(公告)号：JP4752285B2
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：JP2005049484
申请日：2005-02-24
申请人： セントラル硝子株式会社
IPC分类号： C07C51/50 , C07B57/00 , C07C59/115
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公开(公告)号：JP4079727B2
公开(公告)日：2008-04-23
申请号：JP2002261148
申请日：2002-09-06
申请人： セントラル硝子株式会社
IPC分类号： C07C209/62 , A61K31/137 , C07B61/00 , C07C209/52 , C07C211/29 , C07C213/08 , C07C217/58
CPC分类号： C07C209/62 , C07B2200/07 , C07C211/29 , C07C217/58 , C07C249/02 , C07C251/24
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公开(公告)号：JP5186722B2
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：JP2005379257
申请日：2005-12-28
申请人： セントラル硝子株式会社
IPC分类号： C07B39/00 , C07B53/00 , C07B61/00 , C07C17/16 , C07C19/08 , C07C67/307 , C07C69/63 , C07D207/16 , C07H19/073
CPC分类号： C07D209/48 , C07B39/00 , C07B2200/07 , C07C17/16 , C07C67/307 , C07D207/16 , C07H19/073 , C07C19/08 , C07C69/63
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