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    含フッ素シクロプロパンカルボン酸類の製造方法
    3.
    发明专利
    含フッ素シクロプロパンカルボン酸類の製造方法 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2017002712A1

    公开(公告)日：2018-04-19

    申请号：JP2017526315

    申请日：2016-06-24

    申请人： セントラル硝子株式会社

    发明人： 柏葉 崇 ,  山崎 たか子 ,  石井 祥子 ,  三村 俊介 ,  伏見 将徳 ,  岡本 隆一 ,  小林 春樹 ,  安本 学

    IPC分类号： C07D327/10 ,  C07C67/343 ,  C07C69/74 ,  C07C211/27

    CPC分类号： C07C67/313 ,  C07B57/00 ,  C07C67/343 ,  C07C67/52 ,  C07C69/74 ,  C07D327/10

    摘要： 本発明は、医農薬中間体として有用な含フッ素シクロプロパンカルボン酸類の工業的に実施可能な製造方法を提供する。含フッ素ジオール化合物とフッ化スルフリルを用いて含フッ素環状硫酸エステルを製造し(環状硫酸エステル化工程)、得られた含フッ素環状硫酸エステルとマロン酸ジエステルを反応させて含フッ素シクロプロパンジエステルを得(シクロプロパン化工程)、得られた含フッ素シクロプロパンジエステルを加水分解することで(加水分解工程)、含フッ素シクロプロパンモノエステルを得る。更に、得られた含フッ素シクロプロパンモノエステルとアミンを混合して含フッ素シクロプロパンモノエステルとアミンとの塩を形成し、再結晶精製を行う(再結晶工程)ことで、高い化学純度と光学純度を有する含フッ素シクロプロパンモノエステルまたはその塩等の含フッ素シクロプロパンカルボン酸類を製造できる。

    ドライエッチング剤、ドライエッチング方法及び半導体装置の製造方法
    6.
    发明专利
    ドライエッチング剤、ドライエッチング方法及び半導体装置の製造方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018141146A

    公开(公告)日：2018-09-13

    申请号：JP2018029381

    申请日：2018-02-22

    申请人： セントラル硝子株式会社

    发明人： 大森 啓之 ,  八尾 章史 ,  柏葉 崇

    IPC分类号： H01L21/3065 ,  C09K13/08

    CPC分类号： C09K13/08 ,  H01L21/3065

    摘要： 【課題】本発明は、地球環境負荷が小さく、かつ、特殊な装置を使用することなく異方性エッチングが可能で、良好な加工形状が得られるドライエッチング剤、及びそれを用いたドライエッチング方法を提供することを目的とする。 【解決手段】本発明は、少なくとも、化学式CF 3 −C x H y F z O(x=2または3、y=1,2,3,4または5、z=2x−1−y)で表され、酸素原子を含む三員環構造を有するハイドロフルオロアルキレンオキサイドを含むドライエッチング剤である。また、このドライエッチング剤をプラズマ化して得られるプラズマガスを用いて、二酸化シリコン、窒化シリコン、多結晶シリコン、アモルファスシリコン、及び炭化シリコンからなる群より選ばれる少なくとも1種のシリコン系材料を選択的にエッチングするドライエッチング方法である。 【選択図】図1

    パーフルオロアルキルパーフルオロアルカンスルホネートの製造方法
    7.
    发明专利
    パーフルオロアルキルパーフルオロアルカンスルホネートの製造方法 审中-公开
    全氟代烷基磺酸亚砜的生产方法

    公开(公告)号：JP2015224218A

    公开(公告)日：2015-12-14

    申请号：JP2014110020

    申请日：2014-05-28

    申请人： セントラル硝子株式会社

    发明人： 柏葉 崇 ,  石井 章央

    IPC分类号： C07C309/65 ,  C07C303/26

    摘要： 【課題】パーフルオロアルキルパーフルオロアルカンスルホネートを高選択率で効率よく提供する。 【解決手段】 反応容器に予めパーフルオロアルカンスルホン酸を導入し、続いて該スルホン酸に対しパーフルオロアルカンスルホン酸無水物を逐次添加することにより、パーフルオロアルキルパーフルオロアルカンスルホネートと二酸化硫黄とを含む混合物を得る工程と、該混合物を反応容器より抜き出す工程とを含み、各工程を連続的に行うことによって、パーフルオロアルキルパーフルオロアルカンスルホネートを製造する。 【選択図】なし

    摘要翻译： 要解决的问题：以高选择性有效地生产全氟烷基全氟烷烃磺酸盐。溶液：全氟烷基全氟烷基磺酸盐的制备方法包括将全氟烷基磺酸预先引入反应容器中并依次向磺酸中加入全氟烷基磺酸酐以获得包含全氟烷基全氟烷烃 磺酸盐和二氧化硫，并且从反应容器中抽出混合物的步骤，连续进行。

    立体選択的な二置換ハロゲン化エポキシドの製造方法
    10.
    发明专利
    立体選択的な二置換ハロゲン化エポキシドの製造方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018131437A

    公开(公告)日：2018-08-23

    申请号：JP2018012147

    申请日：2018-01-29

    申请人： セントラル硝子株式会社

    发明人： 柏葉 崇 ,  安本 学

    IPC分类号： C07D303/08 ,  C07D301/12

    摘要： 【課題】工業的に実施可能な条件で立体選択的に二置換ハロゲン化エポキシドを製造する方法の提供。 【解決手段】一般式 [式中、R f はフッ素原子をひとつ以上有する炭素数1〜10の直鎖状又は炭素数3〜10の分岐鎖状のフルオロアルキル基;X 1 はハロゲン原子を表す]で表される二置換ハロゲノオレフィンに、次亜ハロゲン酸又はその塩を反応させることにより、一般式 [式中、R f 及びX 1 は前記R f 及びX 1 と同じ;*は不斉炭素を表す]で表される二置換ハロゲン化エポキシドを製造する。 【選択図】なし