プラズマアニール方法及びその装置

    公开(公告)号:JPWO2012060325A1

    公开(公告)日:2014-05-12

    申请号:JP2012541852

    申请日:2011-10-31

    IPC分类号: H01L21/20 H01L21/324 H05H1/24

    摘要: 【課題】基板上の膜(被膜)を処理して膜の結晶構造を変化させることができ、かつ生産性に優れたプラズマアニール装置を提供する。【解決手段】基板上の膜に大気圧プラズマを照射する工程(A)を含む膜の構成物質の結晶構造を変化させる膜の製造方法。工程(A)が10ヘルツ〜100メガヘルツの周波数と、60ボルト〜100万ボルトの電圧により大気圧でプラズマを生成し、そのプラズマを直接に基板上の膜に照射するものである。(A)工程を含む膜の構成物質の結晶構造を変化させる方法。(A)工程の膜の形成方法に用いられるプラズマ発生装置。(A)工程を経て製造された電子デバイス。【選択図】図1

    非小細胞肺がん細胞(H1975)に結合するDNAアプタマー

    公开(公告)号:JPWO2016129531A1

    公开(公告)日:2017-11-24

    申请号:JP2016574783

    申请日:2016-02-05

    摘要: 肺がんの診断、治療、及び転移予防等に有用な新規DNAアプタマーを提供することを課題とする。配列番号1および2で示される配列から選択される少なくとも1つのヌクレオチド配列を有し、非小細胞肺がん細胞に対して特異的に結合することを特徴とするDNAアプタマー、当該DNAアプタマーを含む肺がん細胞の検出用組成物、当該DNAアプタマーを含む、肺がん細胞の検出用キット、当該DNAアプタマーを用いることを特徴とする、肺がんの検出方法、当該DNAアプタマーを肺細胞、肺組織、血液、血清、血漿、唾液、及び喀痰よりなる群から選択される生体から採取された試料と接触させる工程、及び当該試料とDNAアプタマーとの結合による応答を観測することによって肺がん細胞の存在を検出する工程を含む検出方法、当該DNAアプタマーを含有する、肺がんの転移予防又は治療用医薬組成物、当該DNAアプタマーを含有する、肺がんの転移予防又は治療用ドラッグデリバリーシステム。