公开(公告)号：JP4994238B2

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：JP2007534374

申请日：2006-09-01

Applicant: 旭化成イーマテリアルズ株式会社 ,  株式会社ピーアイ技術研究所

Inventor： 周三 脇 ,  博之 花畑 ,  行洲 金 ,  隆行 金田

IPC: G03F7/023 ,  G03F7/022

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/022 ,  G03F7/40

公开(公告)号：JP5193446B2

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：JP2006236514

申请日：2006-08-31

Applicant: 旭化成イーマテリアルズ株式会社 ,  株式会社ピーアイ技術研究所

Inventor： 隆行 金田 ,  博之 花畑

IPC: G03F7/023 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JPWO2007029614A1

公开(公告)日：2009-03-19

申请号：JP2007534374

申请日：2006-09-01

Applicant: 旭化成エレクトロニクス株式会社 ,  株式会社ピーアイ技術研究所

Inventor： 隆行 金田 ,  隆行 金田 ,  花畑　博之 ,  博之 花畑 ,  金　行洲 ,  行洲 金 ,  周三 脇 ,  周三 脇

IPC: G03F7/023 ,  C08G73/10 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/022 ,  G03F7/40

Abstract: 本発明によれば、1又は2以上のテトラカルボン酸二無水物と、互いにオルト位にあるアミノ基及びフェノール性水酸基を有する1又は2以上の芳香族ジアミンとが、脱水縮合した構造を有する(A)重縮合物100質量部に対して、(B)感光性ジアゾナフトキノン化合物1〜100質量部を含み、(A)重縮合物の重量平均分子量が3000〜70000である、感光性樹脂組成物が提供される。

公开(公告)号：JP5290686B2

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：JP2008248842

申请日：2008-09-26

Applicant: 旭化成イーマテリアルズ株式会社

Inventor： 隆一郎 金谷 ,  博之 花畑

IPC: G03F7/038 ,  G03F7/027 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition capable of forming a surface protection film and an inter-layer insulation film with excellent flatness owing to a high film remaining ratio after a heat treatment. SOLUTION: The photosensitive resin composition contains (a) 100 pts.mass of an alkaline soluble resin having at least one repeating unit selected from the group consisting of formula (1) and a specific polyamide residue having a hydroxy group, (b) 0.01-20 pts.mass of a compound to generate an acid by irradiation with radiation, (c) 0.1-50 pts.mass of a compound having a group crosslinkable by an acid, and (d) 10-500 pts.mass of a compound having a (meth)acryloyl group. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

公开(公告)号：JP4937745B2

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：JP2006529021

申请日：2005-07-11

Applicant: 旭化成イーマテリアルズ株式会社

Inventor： 正志 木村 ,  博之 花畑 ,  隆行 金田

IPC: C08G73/14 ,  C08G69/26 ,  G03F7/027

CPC classification number: G03F7/0757 ,  C08G73/14 ,  G03F7/0387 ,  G03F7/0388

公开(公告)号：JP4646068B2

公开(公告)日：2011-03-09

申请号：JP2005286893

申请日：2005-09-30

Applicant: 国立大学法人東京工業大学 ,  旭化成イーマテリアルズ株式会社

Inventor： 充 上田 ,  章彦 池田 ,  健一 福川 ,  博之 花畑

IPC: G03F7/039