Patent search ap:("株式会社日立ハイテクノロジーズ") AND inv:"敏孝小林" Page 1

1.

发明专利
ステージ装置及びステージ装置におけるステージの位置決め制御方法有权
Title translation: 在工作台装置的阶段和阶段单元的定位控制方法

公开(公告)号：JP5690686B2

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：JP2011185441

申请日：2011-08-29

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 昌宏小山 , 昌宏小山 , 博紀小川 , 博紀小川 , 柴田　信雄 , 信雄柴田 , 松島　勝 , 勝松島 , 敏孝小林 , 敏孝小林 , 中川　周一 , 周一中川

IPC: H01L21/68 , H01J37/20

2.

发明专利
Stage equipment 有权

公开(公告)号：JP5155209B2

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：JP2009025355

申请日：2009-02-05

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 信雄柴田 , 昌宏小山 , 博紀小川 , 芳紹堤 , 敏孝小林 , 勝則小貫 , 真志藤田 , 周一中川 , 悟岡部

IPC: H01J37/20 , H01L21/68

3.

发明专利
Sample stage device 有权

公开(公告)号：JP5520491B2

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：JP2009014875

申请日：2009-01-27

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 真志藤田 , 敏孝小林 , 周一中川 , 芳輝平間

IPC: H01J37/20 , H01L21/027 , H01L21/68

4.

发明专利
Stage positioning control device 有权

公开(公告)号：JP5002513B2

公开(公告)日：2012-08-15

申请号：JP2008089181

申请日：2008-03-31

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 周一中川 , 芳紹堤 , 昌宏小山 , 博紀小川 , 敏孝小林 , 勝則小貫 , 信雄柴田 , 真志藤田

IPC: H01J37/20 , H01L21/027 , H01L21/68

5.

发明专利
Stage equipment 有权

公开(公告)号：JP5178291B2

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：JP2008105677

申请日：2008-04-15

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 信雄柴田 , 昌宏小山 , 博紀小川 , 芳紹堤 , 敏孝小林 , 勝則小貫 , 真志藤田 , 周一中川 , 悟岡部

IPC: H01J37/20

Patent Agency Ranking