公开(公告)号：JP5501161B2

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：JP2010193077

申请日：2010-08-31

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 雄一 安部 ,  博之 新藤

IPC: G01B15/00 ,  G01B15/04 ,  G06T7/00

CPC classification number: G06K9/62 ,  G01B15/04 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/2817

公开(公告)号：JP4951591B2

公开(公告)日：2012-06-13

申请号：JP2008169781

申请日：2008-06-30

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 美道 佐藤 ,  雄一 安部 ,  光二 池田 ,  康隆 豊田

IPC: G06T1/00 ,  G06T7/00

公开(公告)号：JPWO2014208216A1

公开(公告)日：2017-02-23

申请号：JP2015523918

申请日：2014-05-19

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 雄樹 小嶋 ,  茂樹 助川 ,  雄一 安部 ,  敏一 川原 ,  渉 長友 ,  真二 久保

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G06F17/5081 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12

Abstract: 設計データを用いて画像処理用のテンプレートを作成する試料観察装置用のテンプレート作成装置は、複数のプロセス処理に関する情報を定義したプロセス情報を格納する記憶部と、プロセス情報を用いて設計データを加工処理し、画像処理用のテンプレートを作成するテンプレート作成部と、を備える。

Abstract translation: 处理样品观察装置的模板创建装置用于使用所述设计数据，用于存储限定有关的多个工艺处理的信息处理的信息的存储单元，用于图像处理创建模板，通过使用处理信息的设计数据 处理包括创建用于图像处理的模板的模板创建单元，所述。

公开(公告)号：JP5401605B2

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：JP2012513778

申请日：2011-03-17

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 順一 田口 ,  光二 池田 ,  雄一 安部 ,  正弘 北澤 ,  渉 長友

IPC: H01L21/66 ,  G01B15/04 ,  G01N23/225 ,  G06T1/00 ,  G06T7/00

CPC classification number: G06K9/6201 ,  G01B11/00 ,  G01B15/00 ,  G06K9/6202 ,  G06T7/001 ,  G06T7/74 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：JP5364528B2

公开(公告)日：2013-12-11

申请号：JP2009231428

申请日：2009-10-05

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 康隆 豊田 ,  光二 池田 ,  雄一 安部

IPC: G06T7/00 ,  G01N21/956 ,  G06T1/00 ,  G06T7/60

CPC classification number: G01N21/95607 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/30148

Abstract: Disclosed is a pattern matching method whereby a testing point can be searched accurately while simplifying the work of presetting. An image region of a part of a captured image is extracted, and a divided image of the image region is set as a template image. A pattern matching is performed by rotating the template image. Moreover, the pattern matching determines whether a point-symmetric pattern exists inside the image region.

公开(公告)号：JP4909859B2

公开(公告)日：2012-04-04

申请号：JP2007254610

申请日：2007-09-28

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 美道 佐藤 ,  雄一 安部 ,  光二 池田 ,  康隆 豊田

IPC: G06T7/00 ,  G01B11/00 ,  G01B15/00 ,  G06T1/00

CPC classification number: G06K9/6203

公开(公告)号：JP5592414B2

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：JP2012000526

申请日：2012-01-05

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 郭介 牛場 ,  康隆 豊田 ,  雄一 安部

IPC: G01B15/04

公开(公告)号：JPWO2012101717A1

公开(公告)日：2014-06-30

申请号：JP2012554506

申请日：2011-12-07

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 正弘 北澤 ,  正弘 北澤 ,  池田　光二 ,  光二 池田 ,  安部　雄一 ,  雄一 安部 ,  順一 田口 ,  順一 田口 ,  渉 長友 ,  渉 長友

IPC: G06T7/00 ,  G06T1/00

CPC classification number: G06T7/0004 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12

Abstract: 検査画像が繰り返しパターン形状のように特徴の少ない画像や形状が複雑な画像でも位置合わせを良好に、位置合わせの正解と失敗を自動で正しく判断できるオペレータフリーな半導体検査装置を提供することを目的とする。ウェハ上または露光用マスク上の形状を撮像する手段と、該撮像手段により検査画像を格納する手段と、上記撮像手段により撮像しようとするウェハ上または露光用マスク上の位置に対応する半導体回路の設計データを格納する手段と、該設計データを画像化した設計データ画像を格納する手段と、該設計データ画像に含まる形状の相対的粗密関係から求めた関心領域を画像化した設計データROI画像を生成する手段と、該検査画像と該設計データ画像の位置合わせを行う位置合わせ部を有し、該設計データROI画像を用いて該検査画像と該設計データ画像が一致する位置の特定または、一致度を計算するように構成する。

公开(公告)号：JP4891712B2

公开(公告)日：2012-03-07

申请号：JP2006240375

申请日：2006-09-05

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 美道 佐藤 ,  雄一 安部 ,  光二 池田 ,  康隆 豊田

IPC: G06T7/00 ,  G06T1/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/66

CPC classification number: G06K9/6203 ,  G06K2209/19 ,  G06T7/32 ,  G06T2207/10056 ,  G06T2207/30148

Abstract: An inspection apparatus performing template matching of a search image capable of outputting a correct matching position even if a pattern similar to a template exists in the search image is provided. The inspection apparatus includes a template cutout means for cutting out a template from a template selection image, a marginal similarity calculation means for calculating marginal similarity distribution information, which is a similarity distribution of the template selection image to the template, a search image similarity calculation part for calculating search image similarity distribution information, which is a similarity distribution of the search image to the template, a similarity distribution-to-similarity distribution similarity calculation means for calculating similarity distribution-to-similarity distribution similarity information between the marginal similarity distribution information and the search image similarity distribution information, and a matching position determination part for determining a matching position based on the similarity distribution-to-similarity distribution similarity.

Abstract translation: 提供了即使在搜索图像中存在类似于模板的图案，也能够执行能够输出正确的匹配位置的搜索图像的模板匹配的检查装置。 所述检查装置包括用于从模板选择图像切割模板的模板切除装置，用于计算作为模板选择图像与模板的相似度分布的边缘相似度分布信息的边缘相似度计算装置，搜索图像相似度计算 用于计算搜索图像与模板的相似度分布的搜索图像相似度分布信息的部分，用于计算边缘相似度分布信息之间的相似度分布与相似度分布相似度信息的相似度分布相似度分布相似度计算装置 以及搜索图像相似度分布信息，以及匹配位置确定部分，用于基于相似度分布与相似度分布相似度来确定匹配位置。

公开(公告)号：JPWO2016121449A1

公开(公告)日：2017-11-09

申请号：JP2016571896

申请日：2016-01-08

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 美道 佐藤 ,  美道 佐藤 ,  洋一郎 鈴木 ,  洋一郎 鈴木 ,  安部　雄一 ,  雄一 安部

IPC: G01N35/10

CPC classification number: G01N35/00663 ,  G01B11/0608 ,  G01N21/27 ,  G01N21/84 ,  G01N21/95 ,  G01N35/04 ,  G01N35/10 ,  G01N2035/00673 ,  G01N2035/0432 ,  G01N2201/062 ,  H04N7/183 ,  H04N9/045

Abstract: コンタミネーションの発生を抑制することができ、液状物質における気泡等の液面状態の検出具合の正確性を増大させることができる液面検査装置および自動分析装置、液面検査方法を提供する。液状物質1010が収納された容器101および液状物質1010の液面に対して光を照射する光照射部102と、光照射部102が照射した容器101および液状物質1010からの光の色情報と輝度情報を少なくとも有する映像を取得する撮影部103と、撮影部103で撮影した映像の中の色情報と輝度情報を用いて液面の状態を検出する検出部104とを有する。