公开(公告)号：JP2017062181A

公开(公告)日：2017-03-30

申请号：JP2015187622

申请日：2015-09-25

Applicant: 株式会社豊田中央研究所 ,  愛知製鋼株式会社

Inventor： 渡辺 恵一 ,  赤井 淳嗣 ,  石井 靖弘 ,  北山 綱次 ,  澤 清和 ,  出雲 誠二 ,  佐藤 公保 ,  春日井 和義 ,  金井 秀樹

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/892 ,  G01J5/48 ,  G01J5/00 ,  G01N25/72

Abstract: 【課題】被検査材の表面に形成された疵を高い確度で検出する。 【解決手段】被検査材200の表面を加熱する加熱器104と、被検査材200の表面の温度分布を撮像する赤外線カメラ102と、を備え、赤外線カメラ102で撮像された温度画像から当該温度画像の温度ムラを示す背景温度画像を算出する背景温度画像算出手段20と、温度画像と背景温度画像との差分を温度差画像として算出する温度差画像算出手段22と、温度差画像内の温度分布に基づいて被検査材の表面の疵を検出する疵検出手段24と、を備える表面疵検査装置100とする。 【選択図】図1