工作機械の主軸位相割出し装置

    公开(公告)号:JP2017144536A

    公开(公告)日:2017-08-24

    申请号:JP2016030217

    申请日:2016-02-19

    发明人: 佐藤 嘉一

    IPC分类号: B23Q15/26 B23Q16/02 B23Q3/18

    摘要: 【課題】切削工具の切れ刃部を直接接触させず、コスト面でも割安な工作機械の主軸位相割出し装置を提供する。 【解決手段】工作機械12の主軸位相割出し装置56は、テーブル24に取り付け可能な又は固定されたガイドレール58と、ガイドレール58上を走行可能であり第1嵌合部70が設けられた位相割出し用治具60と、第1嵌合部70に嵌合可能な第2嵌合部76が設けられた切削工具16aと、第1嵌合部70と第2嵌合部76とが嵌合した時点での主軸18の位相を記憶する制御装置14とを備える。第1嵌合部70と第2嵌合部76との嵌合時に切削工具16aの回転が拘束されるように、第1嵌合部70と第2嵌合部76が形成されている。 【選択図】図1

    Xy stage device, semiconductor inspection apparatus, and semiconductor aligner
    6.
    发明专利
    Xy stage device, semiconductor inspection apparatus, and semiconductor aligner 有权
    XY阶段装置,半导体检查装置和半导体对准器

    公开(公告)号:JP2010219390A

    公开(公告)日:2010-09-30

    申请号:JP2009065933

    申请日:2009-03-18

    IPC分类号: H01L21/68 B23Q1/62 H01L21/027

    摘要: PROBLEM TO BE SOLVED: To desirably control a yawing angle of a Y-axis mobile unit, and to enhance running precision of an X-axis mobile unit. SOLUTION: An XY stage device 1 includes: an X-axis mobile unit 3 traveling in an X-axis direction on a surface plate 2; a Y-axis mobile unit 4 that travels in a Y-axis direction on the surface plate and guides traveling of the X-axis mobile unit 3 in an X-axis direction; shaft motors 14A, 14B for driving the Y-axis mobile unit 4 in a Y-axis direction; and linear scales 16A, 16B for detecting the yawing angle of the Y-axis mobile unit 4. In the XY stage 1, drive of the shaft motors 14A, 14B is controlled by a controller 17 based on the yawing angle, thus suitably controlling the shaft motors 14A, 14B each according to the yawing angle. Since one end in the direction of X axis of the Y-axis mobile unit 4 is supported by a rolling guide 11 and the other end in the direction of X axis of the Y-axis mobile unit 4 is supported by a lift air pad 12, the Y-axis mobile unit 4 is not restricted completely in the direction of X axis. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

    摘要翻译: 要解决的问题:为了期望控制Y轴移动单元的偏航角度并提高X轴移动单元的运行精度。 解决方案:XY台装置1包括:在表面板2上沿X轴方向行进的X轴移动单元3; Y轴移动单元4,其沿着Y轴方向在表面板上行进,并引导X轴移动单元3沿X轴方向的行进; 用于在Y轴方向上驱动Y轴移动单元4的轴马达14A,14B; 以及用于检测Y轴移动单元4的偏航角的线性标尺16A,16B。在XY平台1中,轴电机14A,14B的驱动由控制器17基于偏航角来控制,从而适当地控制 轴电机14A,14B各自根据偏航角度。 由于Y轴移动单元4的X轴方向的一端被滚动导向件11支撑,并且Y轴移动单元4的X轴方向的另一端由提升用气垫12 Y轴移动单元4在X轴的方向上没有完全限制。 版权所有(C)2010,JPO&INPIT