石英ガラス部品及び石英ガラス部品の製造方法
    7.
    发明专利
    石英ガラス部品及び石英ガラス部品の製造方法 有权
    QUARTZ玻璃组件和制造QUARTZ玻璃组件的方法

    公开(公告)号:JP2015067524A

    公开(公告)日:2015-04-13

    申请号:JP2013205494

    申请日:2013-09-30

    IPC分类号: C03C15/00 C03C23/00 C03C17/04

    摘要: 【課題】薄型化に対応し、かつ遮光性及び耐熱性を向上させた石英ガラス部品及び石英ガラス部品の製造方法を提供することにある。 【解決手段】石英ガラス基材の表面にシリコン粉末をプラズマ溶射することにより皮膜を形成してなる石英ガラス部品において、石英ガラス基材は不透明石英ガラスから成り、シリコン粉末における100μm以上の粒径の比率は3%以下であり、シリコン粉末における100μm以上の粒径の比率は0%であり、シリコン粉末におけるD50%粒径は25〜35μmであり、皮膜20の平均膜厚は40〜60μmであり、石英ガラス基材10の表面粗さRaは2〜4μmであることを特徴とする石英ガラス部品。 【選択図】図1

    摘要翻译: 要解决的问题:提供一种应对变薄并具有改善的遮光性和耐热性的石英玻璃组分,并提供一种石英玻璃组分的制造方法。解决方案:在通过等离子体喷涂获得的石英玻璃组分 硅粉末在石英玻璃基板10的表面上形成膜20,石英玻璃基板10由不透明的石英玻璃制成,粒径为100μm以上的硅粉的比例为3%以下 ,粒径为100μm以上的硅粉的比率为0%,硅粉末的D50%粒径为25〜35μm,膜20的平均膜厚为40〜60μm, 石英玻璃基板10的表面粗糙度Ra为2-4μm。