公开(公告)号：JP6237398B2

公开(公告)日：2017-11-29

申请号：JP2014065627

申请日：2014-03-27

Applicant: 三菱マテリアル株式会社

Inventor： 土井 利浩 ,  桜井 英章 ,  曽山 信幸

IPC: H01L41/318 ,  H01L41/187

CPC classification number: H01L41/1876 ,  C01G25/006 ,  C04B35/491 ,  C04B35/62218 ,  C04B35/624 ,  C04B35/6264 ,  C04B35/63444 ,  C04B35/638 ,  C04B35/64 ,  C09D5/24 ,  H01L41/318 ,  C01P2002/54 ,  C04B2235/3229 ,  C04B2235/3234 ,  C04B2235/3249 ,  C04B2235/3296 ,  C04B2235/48

公开(公告)号：JPWO2015146607A1

公开(公告)日：2017-04-13

申请号：JP2016510226

申请日：2015-03-12

Applicant: 三菱マテリアル株式会社

Inventor： 土井　利浩 ,  利浩 土井 ,  桜井　英章 ,  英章 桜井 ,  曽山　信幸 ,  信幸 曽山

IPC: H01L41/187 ,  H01B3/12 ,  H01L41/113 ,  H01L41/317

CPC classification number: C04B35/491 ,  C01G25/006 ,  C01G45/006 ,  C01P2002/34 ,  C01P2002/50 ,  C01P2006/40 ,  C04B35/493 ,  C04B35/62218 ,  C04B35/624 ,  C04B35/6264 ,  C04B35/632 ,  C04B35/63444 ,  C04B35/64 ,  C04B2235/3234 ,  C04B2235/3249 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3268 ,  C04B2235/3296 ,  C04B2235/441 ,  C04B2235/606 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/96 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/318

Abstract: 本発明は、Mn及びNbドープの複合金属酸化物からなるPZT系圧電体膜の形成に用いられる組成物であり、前記組成物中の金属原子比(Pb:Mn:Nb:Zr:Ti)が(1.00〜1.25):(0.002〜0.056):(0.002〜0.056):(0.40〜0.60):(0.40〜0.60)を満たし、かつ前記Mn及びNbの金属原子比の合計を1としたときの前記Mnの割合が0.20〜0.80、前記Zr及びTiの金属原子比の合計を1としたときの前記Zrの割合が0.40〜0.60、前記Mn、Nb、Zr及びTiの金属原子比の合計を1としたときの前記Zr及びTiの合計割合が0.9300〜0.9902となる割合で、PZT系前駆体を含む。

公开(公告)号：JPWO2014181801A1

公开(公告)日：2017-02-23

申请号：JP2015515881

申请日：2014-05-07

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 恭也 三輪 ,  慎一郎 川田

IPC: H01L41/187 ,  C04B35/00 ,  H01L41/047 ,  H01L41/253 ,  H01L41/314 ,  H01L41/339

CPC classification number: H01L41/187 ,  C01G53/006 ,  C01P2002/34 ,  C01P2002/72 ,  C04B35/472 ,  C04B35/491 ,  C04B35/62218 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3279 ,  C04B2235/3296 ,  C04B2235/6025 ,  C04B2235/605 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/768 ,  C04B2235/787 ,  H01L41/0471 ,  H01L41/0472 ,  H01L41/0986 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/37 ,  H01L41/43

Abstract: 圧電セラミック素体1が、外部電極が形成される対向面3、4を有する直方体等の形状異方性を有する多面体形状からなり、対向面は、互いに平行な第1の辺5a、6aと第2の辺5b、6bとを有し、対向面3、4のうちの一つの面における第1の辺5a及び第2の辺5b間において、面内で第1の辺5a及び第2の辺5bと直交する直交方向の幅寸法L1が、第1及び第2の辺5a、6a、5b、6bの長さ寸法よりも大きくなるように形成され、結晶軸が、第1及び第2の辺5a、6a、5b、6bと平行方向に{100}配向し、ロットゲーリング法による配向度Fが、0.4以上である。これにより圧電セラミック素体を特定方向に結晶配向させることにより、良好な圧電特性を得ることができるようにする。

Abstract translation: 压电陶瓷元件1包括具有长方体或形状各向异性多面体形状的等具有形成其外部电极相对的表面3和4，对置面，第一侧面5a中相互平行，6a和 2个侧面5b和一个6b中，第一侧5a和在相对的表面3和4中，第一侧5a和第二侧的平面的一个表面上的第二侧5b之间 正交至5b宽度L1正交方向上第一和第二侧面5A，6A，图5B，形成为比6b的长度尺寸大，晶轴，第一和第二侧 图5a，图6a，图5B，取向{100}和6b平行的方向，取向华氏度根据Lotgering法为0.4以上。 因此，通过在特定方向上的压电陶瓷体的晶体取向，从而能够获得良好的压电特性。

公开(公告)号：JP2016026993A

公开(公告)日：2016-02-18

申请号：JP2015139295

申请日：2015-07-13

Applicant: エプコス アクチエンゲゼルシャフト ,  EPCOS AG

Inventor： グラズノフ, アレクサンダー ,  フェルツ, アダルベルト

IPC: H01L41/187 ,  H01L41/273 ,  H01L41/083 ,  H01L41/09 ,  H01L41/43 ,  H02N2/00 ,  C04B35/491

CPC classification number: H01L41/43 ,  C04B35/491 ,  C04B35/6262 ,  C04B35/62655 ,  C04B35/62685 ,  C04B35/63456 ,  C04B35/638 ,  H01L41/083 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/273 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3224 ,  C04B2235/3279 ,  C04B2235/3281 ,  C04B2235/442 ,  C04B2235/449 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/6025 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/768

Abstract: 【課題】電子セラミックデバイス用の改善された特性のセラミック材料の提供。 【解決手段】追加的にNdおよびKを含むチタン酸ジルコン酸鉛を備えるセラミック材料であって、下式で表される組成を有し、各パラメータの制限は、0.0001≦x≦0.06,0.0001≦a≦0.03,0.35≦y≦0.60であり、VPbは鉛の空位を示す、セラミック材料。Pb1-(3x/2)-aNdxK2aVPb(x/2)-a(Zr1-yTiy)O3 【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种陶瓷材料，其具有改进的电陶瓷器件的性能。解决方案：本发明提供一种包含另外含有Nd和K的锆钛酸铅的陶瓷材料。该陶瓷材料具有由下式 ：Pb1-（3x / 2）-aNdxK2aVPb（x / 2）-a（Zr1-yTiy）O3，参数为0.0001≤x≤0.06; 0.0001≤a≤0.03; 和0.35≤y≤0.60，其中VPb表示铅空位。选择图：图1

公开(公告)号：JPWO2013132903A1

公开(公告)日：2015-07-30

申请号：JP2014503709

申请日：2013-01-22

Applicant: コニカミノルタ株式会社

Inventor： 健児 馬渡 ,  健児 馬渡

IPC: H01L41/187 ,  B41J2/14 ,  H01L41/09 ,  H01L41/316

CPC classification number: H01L41/1876 ,  B41J2/14201 ,  B41J2/14233 ,  B41J2202/03 ,  C04B35/491 ,  C04B35/62218 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/768 ,  C23C14/088 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/316

Abstract: 圧電薄膜は、正方晶の結晶構造を有するペロブスカイト型であり、正方晶の(100)配向度が、80%以上である。また、圧電薄膜は、PZTのPbの一部をLaに置換したPLZTで形成されている。

Abstract translation: 压电薄膜是具有四方晶体结构的钙钛矿，四方（100）取向度为80％或更多。 压电薄膜是由PLZT形成通过取代PZT的铅在La的一部分而获得。

公开(公告)号：JP2015128089A

公开(公告)日：2015-07-09

申请号：JP2013272681

申请日：2013-12-27

Applicant: 株式会社ユーテック

Inventor： 木島 健 ,  本多 祐二 ,  谷 幸範

IPC: H01L41/318 ,  H01L41/43 ,  H01L41/319 ,  H01L21/316 ,  H01L41/187

CPC classification number: H01L41/1876 ,  C04B35/491 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/319 ,  C04B2235/787

Abstract: 【課題】良好な圧電特性を有する圧電体膜を提供する。 【解決手段】強誘電体セラミックスは、Pt膜13、SrTiO3膜14上にc軸方向に配向したPZTのような圧電膜15を形成するものであって、圧電体膜15は、c軸方向16aに配向した結晶15aとa軸方向16bに配向した結晶15bを有する圧電体膜15において、c軸方向に配向した結晶の(004)成分の量をCとし、a軸方向に配向した結晶の(400)成分の量をAとした場合に、式1を満たす。C/(A+C)≧0.1・・・式1 【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供具有优异的压电特性的压电薄膜。解决方案：铁电陶瓷在Pt膜13，SrTiO3膜14上形成定向为ac轴方向的PZT等压电膜15.在具有 将取向为c轴方向的结晶的成分（004）的量表示为C，将成分的量分配为c轴方向16a的晶体15a和朝轴方向16b取向的晶体15b， 将取向为a轴方向的晶体的（400）表示为A，压电膜15满足式1。C /（A + C）≥0.1...式1。

公开(公告)号：JP5700916B2

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：JP2009123248

申请日：2009-05-21

Applicant: セラムテック アクチエンゲゼルシャフト イノヴェイティヴ セラミック エンジニアリング ,  CeramTec AG Innovative Ceramic Engineering

Inventor： ギュンター ヘルケ

IPC: H01L41/187 ,  C04B35/491

CPC classification number: H01L41/187 ,  C04B35/491

公开(公告)号：JP2014224044A

公开(公告)日：2014-12-04

申请号：JP2014148057

申请日：2014-07-18

Applicant: ラトガーズ, ザ ステイト ユニバーシティ オブ ニュー ジャージー ,  Rutgers The State Univ Of New Jersey ,  ラトガーズ, ザ ステイト ユニバーシティ オブ ニュー ジャージー

Inventor： RICHARD E RIMAN ,  VAHIT ATAKAN

IPC: C04B41/85 ,  C04B35/622 ,  C04B38/00

CPC classification number: C04B35/47 ,  C04B35/2658 ,  C04B35/2666 ,  C04B35/2683 ,  C04B35/42 ,  C04B35/447 ,  C04B35/457 ,  C04B35/4682 ,  C04B35/49 ,  C04B35/491 ,  C04B35/495 ,  C04B35/64 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3256 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3275 ,  C04B2235/3279 ,  C04B2235/3296 ,  C04B2235/608 ,  C04B2235/77 ,  Y10T428/249921 ,  Y10T428/249956 ,  Y10T428/249957 ,  Y10T428/24999

Abstract: 【課題】多成分のセラミックやセラミック複合体を製造するために比較的穏やかな温度及び圧力条件の下で焼結する方法の提供。【解決手段】(i)格子間空間を有し、少なくとも第1の反応物質を含んで構成された多孔性マトリックスを準備するステップと、(ii)前記多孔性マトリックスと少なくとも第2の反応物質を運ぶ溶浸媒体とを接触させるステップと、(iii)前記溶浸媒体を前記少なくとも第1の反応物質と前記少なくとも第2の反応物質との間の反応を促進する条件下で前記多孔性マトリックスの格子間空間の少なくとも一部分に浸み込ませ、少なくとも第1の生成物を作り出すステップと、(iv)チタン酸バリウムを含まない前記少なくとも第1の生成物が生じて、前記多孔性マトリックスの前記格子間空間の少なくとも一部分を満たすことを可能とし単一体を製造するステップと、を含むセラミック材料の熱水液相焼結方法。【選択図】図3

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种在相对温和的温度和压力条件下进行烧结以制备多组分陶瓷或陶瓷复合材料的方法。提供了一种陶瓷材料的水热液相烧结方法，其包括：（i） 提供具有间隙空间并包含至少第一反应物的多孔基质; （ii）使所述多孔基质与携带至少第二反应物的渗透介质接触; （iii）允许渗透介质在促进至少第一反应物和至少第二反应物之间的反应的条件下渗透多孔基质的间隙空间的至少一部分，以提供至少第一产物; 和（iv）允许至少第一产物形成和填充多孔基质的间隙空间的至少一部分，从而产生整体体。

公开(公告)号：JPWO2012133529A1

公开(公告)日：2014-07-28

申请号：JP2013507672

申请日：2012-03-28

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 隆 海老ヶ瀬 ,  隆 海老ヶ瀬 ,  朝彦 日比野 ,  朝彦 日比野

IPC: H01L41/187 ,  C04B35/491 ,  C04B35/64 ,  H01L41/43

CPC classification number: H01L41/39 ,  C04B35/486 ,  C04B35/491 ,  C04B35/493 ,  C04B35/64 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/72 ,  C04B2235/725 ,  C04B2235/728 ,  C04B2235/761 ,  C04B2235/765 ,  C04B2235/94 ,  C04B2235/9623 ,  C04B2235/9638 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/43 ,  Y10T29/42

Abstract: 圧電体基板の製造方法であって、M1−y/2+x(N1−yNby)O3+x(但し、0≦y≦0.045であり、MはPb1−pSrpを表し、0≦p≦0.03であり、NはTi1−qZrqを表し、0.45≦q≦0.60である)の組成を有する材料をシート形状に成形する工程と、シート形状に成形した材料をセッター上に載置した状態で焼成することで、厚みが30μm以下であり、面積/厚み比が1×107μm以上となる圧電体基板を得る工程を有しており、変数xが、図1に示す斜線領域R内及び斜線領域Rの境界線上の値である。

公开(公告)号：JP5523167B2

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：JP2010076900

申请日：2010-03-30

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 貴昭 小泉 ,  琢弥 勝野

IPC: C04B35/491 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H01L41/319 ,  H01L41/39

CPC classification number: C04B35/491 ,  C04B35/62222 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3279 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/3409 ,  C04B2235/445 ,  C04B2235/662 ,  C04B2235/768 ,  C04B2235/787 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/253 ,  H01L41/314

Abstract: A ceramic having a plurality of crystal grains that contain lead, lithium, and boron, are arranged in a planar direction, and have a mutually same crystal orientation with respect to the thickness direction.