積層体、ガスバリアフィルム、及びこれらの製造方法

    公开(公告)号:JP2018083430A

    公开(公告)日:2018-05-31

    申请号:JP2018023580

    申请日:2018-02-13

    发明人: 佐藤 尽 加納 満

    IPC分类号: B32B38/18 C23C16/40 B32B27/00

    摘要: 【課題】ガスバリア性が高く、且つ、耐熱性に優れた積層体、この積層体によって形成されたガスバリアフィルム、及びこれらの製造方法を提供する。 【解決手段】積層体(1)であって、基材(2)と、基材(2)の外面の少なくとも一部に形成され、有機高分子および無機化合物を含有するアンダーコート層(3)と、原料となる前駆体を含有し、アンダーコート層(3)の表面を覆うように形成され、前駆体の少なくとも一部が有機高分子に結合し、かつ前駆体の少なくとも一部が無機化合物に結合した原子層堆積膜(4)と、を備え、アンダーコート層(3)は、アンダーコート層(3)の線膨張係数が8.0×10 −5 /K以下となるように有機高分子および無機化合物を含有し、基材(2)とアンダーコート層(3)とを備える層状フィルムの線膨張係数は1.0×10 −5 /K以上8.0×10 −5 /K以下である。 【選択図】図1