被覆部材の製造方法
    10.
    发明专利
    被覆部材の製造方法 有权
    涂层成员的生产方法

    公开(公告)号:JP2016094670A

    公开(公告)日:2016-05-26

    申请号:JP2015243502

    申请日:2015-12-14

    摘要: 【課題】DLC膜の成膜速度をできるだけ高めて、基材表面の少なくとも一部が被覆部材のもとになる基材が受けるダメージを極力小さくできる被覆部材の製造方法を提供する。 【解決手段】鋼材である基材を処理室3に収容し、基材4を収容する処理室3内に、少なくとも炭素系化合物、酸素含有有機ケイ素系化合物としてのヘキサメチルジシロキサン、水素ガスおよびアルゴンガスを含む原料ガスを導入し、ヘキサメチルジシロキサンの流量は、炭素系化合物と水素ガスとアルゴンガスの合計の流量を、基準になる流量との比で2.20としたとき、合計の流量2.20に対して0.01以上とし、処理圧力100Pa以上、400Pa以下の条件下、基材4に電圧を印加することによりプラズマを発生させて、基材4の表面にDLC膜21を形成するDLC膜形成工程を含む、被覆部材の製造方法である。 【選択図】図1

    摘要翻译: 要解决的问题:为了提供一种涂覆部件的制造方法,其使至少部分表面形成涂布部件的基板尽可能轻微的损伤,通过提高DLC膜的沉积速度尽可能高 解决方案:将含有至少一种碳基化合物,作为含氧有机硅系化合物的六甲基二硅氧烷,氢气和氩气的原料气体引入到容纳基材4,钢材料的处理室3中。 六甲基二硅氧烷的流量相对于总流量2.20为0.01以上,其中碳系化合物,氢气和氩气的总流量为2.20至标准流量。 涂覆部件的制造方法包括:通过向基板4施加电压以在100Pa以上且400Pa以下的处理压力下产生等离子体,在基板4上形成DLC膜21的DLC膜沉积工序。 : 图1