赤外線加熱ユニット,赤外線加熱装置及び乾燥装置
    5.
    发明专利
    赤外線加熱ユニット,赤外線加熱装置及び乾燥装置 有权
    红外加热单元,红外加热设备和干燥装置

    公开(公告)号:JPWO2014192478A1

    公开(公告)日:2017-02-23

    申请号:JP2014536809

    申请日:2014-04-25

    发明人: 雄樹 藤田

    IPC分类号: H05B3/10 F26B23/04

    摘要: 赤外線加熱ユニット30は、加熱されると赤外線を含む電磁波を放射し、回転軸Rを中心に回転可能であり、回転軸Rと垂直な下方向から見た際の電磁波の見かけの放射面積が回転により変化する形状の発熱体32を備えている。また、発熱体32は、回転軸Rに垂直な断面で見たときに、電磁波の放射面が楕円形状である。さらに、赤外線加熱ユニット30は、電磁波のうち、発熱体32から回転軸Rと垂直且つ下方向以外の方向に放射される赤外線の少なくとも一部を吸収可能な赤外線吸プレート70,75を備えている。さらにまた、赤外線吸収プレート70,75は、電磁波のうち、発熱体32から回転軸Rと垂直且つ下方向方向と垂直な方向(=前後方向)に放射される赤外線の少なくとも一部を吸収可能である。

    摘要翻译: 当加热到辐射电磁波包括红外,可绕旋转轴R,从垂直向下转动旋转轴R观察时,所述电磁波显而易见的辐射区域的轴红外线加热单元30 以及加热元件32,其具有的形状,由改变。 此外,加热元件32的横截面在垂直于旋转轴R观察时,电磁波的辐射表面是椭圆形的。 此外,红外加热单元30,电磁波,以及可再吸收的红外吸收板70和红外线的75至少一部分的辐射比从加热元件32的向下方向之外的旋转轴R垂直方向和 。 此外,红外线吸收板70和75,电磁波中,可以吸收至少红外辐射的一部分,以旋转轴R垂直和向下方向垂直于从加热元件32的方向(=纵向) 一。

    乾燥装置及び乾燥方法
    7.
    发明专利
    乾燥装置及び乾燥方法 审中-公开
    干燥装置和干燥方法

    公开(公告)号:JP2016145649A

    公开(公告)日:2016-08-12

    申请号:JP2013110536

    申请日:2013-05-27

    摘要: 【課題】乾燥の均一性を向上させる。 【解決手段】乾燥装置1Aは、搬送される基板f1上の塗布膜と対面し、当該塗布膜からの溶媒の蒸気を凝縮して乾燥する凝縮板11と、基板f1を介して凝縮板11と対向する位置に配置され、基板f1を加熱する1又は複数の加熱装置12と、を備えている。乾燥装置1Aは、基板f1上の塗布膜の温度が段階的に上昇するように、加熱装置12により加熱する。1又は複数の加熱装置12は、基板f1との距離が基板f1の搬送方向yにおいて段階的に短くなるように、基板面に対して傾斜して配置されている。 【選択図】図1

    摘要翻译: 要解决的问题:提高干燥的均匀性。方案:干燥装置1A包括冷凝板11,冷凝板11面向要运输的基板f1上的施加膜,并将来自施加膜的溶剂的蒸汽冷凝以干燥蒸汽,以及一个或 多个加热装置12以与基板f1插入的方式配置在与冷凝板11相对的位置,并加热基板f1。 干燥装置1A利用加热装置12进行加热,使得基板f1上的涂布膜的温度逐步增加。 一个或多个加热装置12相对于基板表面倾斜地布置,使得与基板f1的距离在基板f1的输送方向y上逐步缩短。图1