Manufacturing method and a manufacturing method of cnt emitter of high reliability cnt paste

    公开(公告)号:JP2009518806A

    公开(公告)日:2009-05-07

    申请号:JP2008544242

    申请日:2006-12-01

    Abstract: 本発明は、ナノサイズの金属粒子を添加した電界放出ディスプレー(Field Emission Display:以下、FED)用の高信頼性CNTペーストの製造方法及び前記方法により製造されたCNTエミッタの製造方法に関する。 本発明によるCNTペーストの製造方法は、(I)カーボンナノチューブ(CNT)パウダーを溶媒に分散させるステップ; (II)前記CNTパウダーが混合された分散溶液に有機バインダーを添加するステップ; 及び(III)前記有機バインダーが添加された分散溶液の粘度を調節するためにミーリング工程を実行するステップと、を含み、前記(I)ステップまたは前記(III)ステップにナノサイズの金属粒子を添加することを特徴とする。 これによって、CNTペーストの金属性充填剤をナノサイズの金属粒子で添加することにより、CNTの劣化が発生しない低い温度で金属を溶融させることができ、CNTペーストと陰電極との接着性を向上させることができ、また陰電極とCNTまたはCNTとCNTとの間の抵抗を低めることができる。 さらに、前記方法により製作されたCNTペーストをCNTエミッタ製造に利用することにより、CNTエミッタの電子放出を均一に得ることができ、電子放出サイトが増加できるので、CNTエミッタの信頼性を一層向上させることができる。

    Manufacturing method of field emission type electron source
    9.
    发明专利
    Manufacturing method of field emission type electron source 审中-公开
    场发射型电子源的制造方法

    公开(公告)号:JP2009016233A

    公开(公告)日:2009-01-22

    申请号:JP2007178004

    申请日:2007-07-06

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method capable of obtaining a field-emission type electron source having with excellent electron emission characteristics without requiring an annealing treatment and having long life. SOLUTION: The manufacturing method is provided with an ion implantation process for implanting carbon ions 40 at least to a tip part of an emitter 18 after forming the emitter 18 mainly composed of silicon. The coordinates of points P 1 to P 6 on an orthogonal coordinate with one axis as representing energy (its unit is keV) of the carbon ion 40 and the other axis as representing an implantation amount (its unit is ×10 17 ions/cm 2 ) are shown as (energy, implantation amount), the carbon ion 40 is implanted under a condition in an area surrounded by connecting straight lines of 6 points of P 1 (5, 0.8), P 2 (5, 1.5), P 3 (10, 2.5), P 4 (15, 3.0), P 5 (15, 2.0), and P 6 (10, 1.6). COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种能够获得具有优异的电子发射特性而不需要退火处理并具有长寿命的场致发射型电子源的制造方法。 解决方案:制造方法具有离子注入工艺,用于在形成主要由硅构成的发射极18之后至少将发射极18的尖端部分注入碳离子40。 在一轴的正交坐标上的点P 1 到P 6的坐标表示碳离子40的能量(其单位是keV),另一轴表示为 植入量(其单位为×10 17 离子/ cm 2)表示为(能量,注入量),碳离子40在 P 1 (5,0.8),P 2 (5,1.5),P 3 的6个点 10,2.5),P 4 (15,3.0),P 5 (15,2.0)和P 6(10,1.6) 。 版权所有(C)2009,JPO&INPIT

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