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公开(公告)号：JP5559431B2
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：JP2013520965
申请日：2012-06-13
Inventor： リウ、フアロン
IPC: H01J9/02 , H01J1/304 , H01J27/26 , H01J37/073 , H01J37/08
CPC classification number: C23F4/02 , B82Y99/00 , H01J1/00 , H01J1/3044 , H01J9/025 , H01J27/26 , H01J37/04 , H01J37/06 , H01J37/073 , H01J37/08 , H01J2201/30415 , H01J2237/0807
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公开(公告)号：JP2013541150A
公开(公告)日：2013-11-07
申请号：JP2013528751
申请日：2011-09-16
Applicant: サントル ナシオナル ドゥ ラ ルシェルシェサイアンティフィク(セエヌエールエス)
Inventor： モンティオ マルク , ウードゥリエール フロラン
IPC: H01J37/073 , H01J1/304 , H01J9/02
CPC classification number: H01J29/485 , B82Y20/00 , H01J1/3044 , H01J3/022 , H01J9/025 , H01J37/073 , H01J37/28 , H01J2201/30411 , H01J2201/30415 , H01J2201/30426 , H01J2201/30434 , H01J2201/30469 , H01J2237/06316 , H01J2237/06341 , H01J2237/26
Abstract: 本発明は、支持された電子放射チップと、取り出しアノードと、放射チップと取り出しアノードとの間に電位差を生成可能な手段とを備える電界放射型電子銃に関する。 放射チップは、ナノファイバ上に化学蒸着することによって形成される端部コーン、および金属チップを有する。 コーンは、導電チップ支持部と整列して、該導電チップ支持部に結合される。 本発明は、透過型電子顕微鏡に用いられ得る。
【選択図】図３-
3.发明专利
公开(公告)号：JP2010532915A
公开(公告)日：2010-10-14
申请号：JP2010519141
申请日：2008-07-01
CPC classification number: H01J1/3044 , H01J3/022 , H01J9/025 , H01J31/127 , H01J63/02 , H01J2201/30415 , H01J2201/30453 , H01J2203/0228 , H01J2329/0418 , H01J2329/0444 , H01J2329/4626
Abstract: 本発明による炭素微細構造物を有する電界放出アレイの製造方法は、透明基板の表面にパターン溝を有するフォトマスクを付着するフォトマスク付着段階と、フォトマスクの表面にネガティブ・フォトレジストを付着するフォトレジスト付着段階と、透明基板のフォトマスクが付着された部分の反対側から光を照射してパターン溝を通じてネガティブ・フォトレジストに照射される光によってネガティブ・フォトレジストの一部を硬化させる露光段階と、ネガティブ・フォトレジストの露光されていない部分を除去して、ネガティブ・フォトレジストが硬化されてなる微細構造物を形成する現像段階と、微細構造物を加熱して炭化させる熱分解段階と、微細構造物が形成された透明基板の表面に電圧を供給するためのカソードを付着するカソード付着段階とを包含してなることを特徴とする。 本発明によると、電子放出素子として使用される炭素微細構造物を簡単でかつ低コストで製造することができる。
【選択図】図１８-
公开(公告)号：JP6266458B2
公开(公告)日：2018-01-24
申请号：JP2014146186
申请日：2014-07-16
Applicant: 株式会社日立ハイテクサイエンス
IPC: H01J37/08 , H01J37/073 , H01J37/317 , H01J37/26 , H01J37/252 , G03F1/74 , G01Q70/14 , H01J27/26
CPC classification number: H01J1/3044 , G01Q60/10 , G01Q60/16 , G01Q60/24 , G01Q70/08 , G01Q70/16 , H01J1/3048 , H01J37/073 , H01J37/08 , H01J37/21 , H01J37/28 , H01J37/3002 , H01J2201/30415 , H01J2201/30496 , H01J2237/002 , H01J2237/006
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公开(公告)号：JP6038794B2
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：JP2013528751
申请日：2011-09-16
Applicant: サントル ナシオナル ドゥ ラ ルシェルシェサイアンティフィク(セエヌエールエス)
Inventor： マルク モンティオ , フロラン ウードゥリエール
IPC: H01J1/304 , H01J9/02 , H01J37/073
CPC classification number: H01J29/485 , H01J1/3044 , H01J3/022 , H01J37/073 , H01J37/28 , H01J9/025 , B82Y20/00 , H01J2201/30411 , H01J2201/30415 , H01J2201/30426 , H01J2201/30434 , H01J2201/30469 , H01J2237/06316 , H01J2237/06341 , H01J2237/26
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Patent Agency Ranking6.发明专利イリジウムティップ、ガス電界電離イオン源、集束イオンビーム装置、電子源、電子顕微鏡、電子ビーム応用分析装置、イオン電子複合ビーム装置、走査プローブ顕微鏡、およびマスク修正装置 有权IRIDIUM TIP，气体源离子源，聚焦离子束装置，电子源，电子显微镜，电子束应用分析仪，离子电子束复合装置，扫描探针显微镜和掩模校正装置
公开(公告)号：JP2015057764A
公开(公告)日：2015-03-26
申请号：JP2014146186
申请日：2014-07-16
Applicant: 株式会社日立ハイテクサイエンス , Hitachi High-Tech Science Corp
Inventor： KOSAKAI TOMOKAZU , MATSUDA OSAMU , SUGIYAMA YASUHIKO , AIDA KAZUO , ARAMAKI BUNRO , YASAKA KOJIN , OBA HIROSHI
IPC: H01J27/26 , G01Q70/14 , G03F1/74 , H01J37/073 , H01J37/08 , H01J37/252 , H01J37/26 , H01J37/317
CPC classification number: H01J1/3044 , G01Q60/10 , G01Q60/16 , G01Q60/24 , G01Q70/08 , G01Q70/16 , H01J1/3048 , H01J37/073 , H01J37/08 , H01J37/21 , H01J37/28 , H01J37/3002 , H01J2201/30415 , H01J2201/30496 , H01J2237/002 , H01J2237/006
Abstract: 【課題】イリジウムティップの先端部に形成される先端が1個の原子の角錐構造を、位置的に再現性よく作製できるようにし、不純物が付着し難くするとともに、先端の1個の原子を長期間に亘って保持可能とする。【解決手段】イリジウムティップは、先鋭化された 方位の単結晶の先端部に、1つの{100}結晶面および2つの{111}結晶面により取り囲まれた{210}結晶面の1個のイリジウム原子のみにより形成された先端を有する角錐構造を備える。角錐構造の先端を形成する1個のイリジウム原子を第1層とし、第1層の直下の第2層は三角形の頂点に位置する3個のイリジウム原子を備え、第2層の直下の第3層は三角形の頂点および辺に位置する6個のイリジウム原子を備える。【選択図】図5
Abstract translation: 要解决的问题：为了提供具有在尖端处具有单个原子的铱尖端的金字塔结构，其可以以高位置重复性产生，并且允许尖端处的单个原子能够长时间保持 的时间，同时防止杂质粘附。解决方案：铱尖具有锥形结构，其具有<210>方向的单晶尖端部分。 尖端由{210}晶面的单个铱原子组成，其被一个{100}晶面和两个{111}晶面包围。 在第一层上，单个铱原子被定位成形成金字塔结构的尖端。 在第一层正下方的第二层上，三个铱原子被定位成形成三角形的顶点。 在第二层正下方的第三层上，六个铱原子位于三角形的顶点和侧面。
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公开(公告)号：JP4960398B2
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：JP2009068674
申请日：2009-03-19
Applicant: ツィンファ ユニバーシティ , 鴻海精密工業股▲ふん▼有限公司
IPC: H01J1/304
CPC classification number: H01J1/304 , H01J2201/30415 , H01J2201/30434 , H01J2201/30469
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公开(公告)号：JP2009231288A
公开(公告)日：2009-10-08
申请号：JP2009068674
申请日：2009-03-19
Applicant: Hon Hai Precision Industry Co Ltd , Qinghua Univ , ツィンファ ユニバーシティ , 鴻海精密工業股▲ふん▼有限公司
Inventor： GI YO , LIU LIANG , FAN FENG-YAN
IPC: H01J1/304
CPC classification number: H01J1/304 , H01J2201/30415 , H01J2201/30434 , H01J2201/30469
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a field emission type electron source, particularly a field emission type electron source in which carbon nanotubes are used. SOLUTION: The field emission type electron source includes a substrate and a carbon nanotube needle with a first end and a second end. The first end of the carbon nanotube needle is electrically connected with the substrate. In the second end of the carbon nanotube needle, one carbon nanotube is extended out farther than other carbon nanotubes. The second end of the carbon nanotube needle has a conical shape approximately and includes a plurality of carbon nanotubes. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
Abstract translation: 解决的问题：提供场发射型电子源，特别是使用碳纳米管的场致发射型电子源。 解决方案：场发射型电子源包括基片和具有第一端和第二端的碳纳米管针。 碳纳米管针的第一端与衬底电连接。 在碳纳米管针的第二端，一个碳纳米管比其他碳纳米管延伸得更远。 碳纳米管针的第二端近似为圆锥形，并且包括多个碳纳米管。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT
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公开(公告)号：JP5657229B2
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：JP2009228377
申请日：2009-09-30
Applicant: カール ツァイス マイクロスコーピー ゲーエムベーハーCarl Zeiss Microscopy GmbH , カール ツァイス マイクロスコーピー ゲーエムベーハーCarl Zeiss Microscopy GmbH , ナノツールズ ゲーエムベーハー , ナノツールズ ゲーエムベーハー
Inventor： ドレクセル フォルケル , ドレクセル フォルケル , マンツ ウルリッヒ , マンツ ウルリッヒ , イルメル ベルント , イルメル ベルント , ペンゾコフェル クリスチアン , ペンゾコフェル クリスチアン
IPC: H01J37/073 , H01J1/304 , H01J9/02
CPC classification number: H01J37/065 , H01J1/3044 , H01J37/06 , H01J2201/30415 , H01J2201/30446 , H01J2201/30476 , H01J2237/06316 , H01J2237/06375 , H01J2237/065 , Y10T29/49888
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公开(公告)号：JP2013535089A
公开(公告)日：2013-09-09
申请号：JP2013520965
申请日：2012-06-13
Inventor： リウ、フアロン
IPC: H01J9/02 , H01J1/304 , H01J27/26 , H01J37/073 , H01J37/08
CPC classification number: C23F4/02 , B82Y99/00 , H01J1/00 , H01J1/3044 , H01J9/025 , H01J27/26 , H01J37/04 , H01J37/06 , H01J37/073 , H01J37/08 , H01J2201/30415 , H01J2237/0807
Abstract: 本発明は、粒子源を製造するための方法を提供する。 本発明の粒子源を製造するための方法は、真空の環境内に針金を設置して活性ガス及び触媒ガスを導入し、針金の温度に対して調節を行うと共に、針金に対して正の高電圧Ｖを印加することによって、針金表面の活性ガスを解離させて針金のヘッドの側面においてエッチング領域を形成し、このエッチング領域内で電界誘起エッチングを発生させるステップと、電界誘起エッチングにより、針金のヘッドの頂端における表面の電界を、針金の材料の電界蒸発の電界より大きくなるまで増強させ、前記針金のヘッドの頂端における金属原子を蒸発させるステップと、電界誘起エッチングによって電界蒸発を触発した後、針金のヘッド形状が台座と台座上にある針先とから構成されることになるまで、台座を形成するのに側面で発生する電界誘起エッチングと、針先を形成するのに頂端で発生する電界蒸発との二種のメカニズムを互いに調節するステップと、予め定められた形状を有する針金のヘッドが得られた時、電界誘起エッチング及び電界蒸発を停止させるステップとを含む。
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