公开(公告)号：KR1020160098333A

公开(公告)日：2016-08-18

申请号：KR1020167018445

申请日：2013-12-10

Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

Inventor： 뱅거트,슈테판 ,  슈외쓸러,우베 ,  디에구에츠-챔포,요제마누엘 ,  하아스,디에터

IPC: H01L51/56 ,  H01L51/00 ,  C23C14/24 ,  C23C14/56 ,  C23C14/12 ,  C23C14/04

CPC classification number: C23C14/243 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/246 ,  C23C14/50 ,  C23C14/56 ,  C23C14/562 ,  C23C14/564 ,  C23C14/566 ,  H01L51/001 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

Abstract: 유기재료를위한증발소스가설명된다. 증발소스는, 증발도가니― 증발도가니는유기재료를증발시키도록구성됨―; 하나또는그 초과의배출구들을갖는분배파이프― 분배파이프는증발도가니와유체소통하고, 분배파이프는, 증발동안에, 축을중심으로회전가능함―; 및분배파이프를위한지지부를포함하며, 지지부는제 1 드라이브에연결가능하거나, 또는제 1 드라이브를포함하고, 제 1 드라이브는분배파이프및 지지부의병진이동에대해구성된다.

Abstract translation: 描述了有机材料的蒸发源。 蒸发源包括蒸发坩埚，其中蒸发坩埚构造成蒸发有机材料; 具有一个或多个出口的分配管，其中所述分配管与所述蒸发坩埚流体连通，并且其中所述分配管可以在蒸发期间围绕轴线旋转; 以及对所述分配管的支撑件，其中所述支撑件可连接到第一驱动器或包括所述第一驱动器，其中所述第一驱动器构造成用于所述支撑件和所述分配管的平移运动。