-
公开(公告)号:KR101582449B1
公开(公告)日:2016-01-05
申请号:KR1020130109971
申请日:2013-09-12
申请人: 엠케이전자 주식회사
IPC分类号: H01L21/60
CPC分类号: H01L24/45 , H01L24/05 , H01L24/43 , H01L24/48 , H01L24/49 , H01L2224/04042 , H01L2224/05554 , H01L2224/05624 , H01L2224/43848 , H01L2224/45015 , H01L2224/45139 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/48465 , H01L2224/48624 , H01L2224/48824 , H01L2224/49171 , H01L2224/85375 , H01L2224/859 , H01L2924/00011 , H01L2924/10161 , H01L2924/181 , H01L2924/00014 , H01L2924/00015 , H01L2924/01077 , H01L2924/01027 , H01L2924/01022 , H01L2924/01079 , H01L2924/01046 , H01L2924/01078 , H01L2924/01029 , H01L2924/01004 , H01L2924/0102 , H01L2924/01057 , H01L2924/01039 , H01L2924/01058 , H01L2924/01083 , H01L2924/01012 , H01L2924/01017 , H01L2924/20752 , H01L2924/01028 , H01L2924/2011 , H01L2924/01014 , H01L2924/01032 , H01L2924/01013 , H01L2924/0103 , H01L2924/00 , H01L2924/013 , H01L2924/20111 , H01L2924/01047 , H01L2924/01049
摘要: 본발명은은 합금본딩와이어및 이를이용한반도체장치에관한것으로서, 더욱구체적으로는은(Ag)을주성분으로하고이리듐(Ir)을 3 중량ppm 내지 10000 중량ppm 함유하는은 합금본딩와이어및 이를이용한반도체장치에관한것이다. 본발명의본딩와이어를이용하면본딩특성과가공성이우수하고신뢰성이높은본딩와이어를제공할수 있는효과가있다.
-
公开(公告)号:KR101503462B1
公开(公告)日:2015-03-18
申请号:KR1020120098414
申请日:2012-09-05
申请人: 엠케이전자 주식회사
IPC分类号: H01L21/60
CPC分类号: H01L24/45 , B23K35/0238 , B23K35/30 , B23K35/302 , B23K35/40 , B23K35/404 , B23K2201/40 , H01L24/43 , H01L24/85 , H01L2224/05624 , H01L2224/43125 , H01L2224/4321 , H01L2224/43848 , H01L2224/45015 , H01L2224/45139 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/45572 , H01L2224/45639 , H01L2224/45644 , H01L2224/45664 , H01L2224/45669 , H01L2224/48624 , H01L2224/48639 , H01L2224/48664 , H01L2224/48824 , H01L2224/48839 , H01L2224/48864 , H01L2224/85045 , H01L2224/85203 , H01L2224/85439 , H01L2224/85464 , H01L2924/00011 , H01L2924/00014 , H01L2924/10253 , H01L2224/48 , H01L2924/2011 , H01L2924/20111 , H01L2924/00015 , H01L2924/2076 , H01L2924/20752 , H01L2924/0104 , H01L2924/01005 , H01L2924/01015 , H01L2924/01083 , H01L2924/01077 , H01L2924/0105 , H01L2924/01042 , H01L2924/20106 , H01L2924/00 , H01L2924/01049
摘要: 본 발명은 반도체 장치용 본딩 와이어 및 그의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 제1금속을 주성분으로 하는 심재 위에 제2금속을 주성분으로 하는 제1표피층을 형성하는 단계; 제1표피층이 형성된 상기 심재를 신선하는 단계; 및 신선이 완료된 상기 심재 및 상기 제1표피층 위에 제3금속을 주성분으로 하는 제2표피층을 형성하는 단계를 포함하는 반도체 장치용 본딩 와이어의 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 본딩 와이어와 그의 제조 방법을 이용하면 심재의 노출을 방지하면서 칩의 손상을 줄일 수 있고, 내산성과 세컨드 쪽의 접합성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
-
公开(公告)号:KR1020160131456A
公开(公告)日:2016-11-16
申请号:KR1020150063880
申请日:2015-05-07
申请人: 엠케이전자 주식회사
IPC分类号: H01L23/00
CPC分类号: H01L2224/45139 , H01L2224/48091 , H01L2924/00011 , H01L2924/00014 , H01L2924/01049 , H01L2924/01005
摘要: 본발명의기술적사상에의한은(Ag) 합금본딩와이어는, 약 1 내지 20 중량%의제1 첨가원소; 약 3 내지 100 중량ppm의제2 첨가원소; 및잔부의은(Ag)을포함하며, 제1 첨가원소는금(Au), 팔라듐(Pd) 또는이들의합금이고, 제2 첨가원소는칼슘(Ca), 란탄(La), 베릴륨(Be), 저머늄(Ge), 니켈(Ni), 비스무트(Bi), 이트륨(Y), 망간(Mn), 주석(Sn), 티타늄(Ti), 철(Fe), 구리(Cu) 및마그네슘(Mg)의군에서선택된 1종이상이고, 연신율이약 15 내지 25%이고, 영률(Young's modulus)이약 60 내지 80GPa인것을특징으로한다.
摘要翻译: 提供一种银合金接合线及其制造方法。 银合金接合线包括:约1至约20重量%的第一附加元素; 约3至约100重量ppm的第二附加元素; 和银(Ag)的余量,其中第一附加元素包括金(Au),钯(Pd)或其合金,第二附加元素包括选自钙(Ca),镧(La), 铍(Be),锗(Ge),镍(Ni),铋(Bi),钇(Y),锰(Mn),锡(Sn),钛(Ti),铁(Fe) 和镁(Mg),银合金接合线的伸长率在约15%至约25%的范围内,银合金接合线的杨氏模量在约60GPa至约80GPa的范围内。
-
公开(公告)号:KR101812943B1
公开(公告)日:2017-12-28
申请号:KR1020160136578
申请日:2016-10-20
申请人: 엠케이전자 주식회사
CPC分类号: H01L21/48 , H01L23/00 , H01L2224/45139 , H01L2224/45572 , H01L2224/45655 , H01L2224/45657 , H01L2224/45678 , H01L2224/48463 , H01L2224/45644 , H01L2224/45664
摘要: 본발명의기술적사상에의한본딩와이어는, 은(Ag)의함량을 85 내지 99.99 중량%로하고, 잔부는금(Au), 구리(Cu), 니켈(Ni), 팔라듐(Pd) 및백금(Pt) 중적어도하나이상의원소를포함하는와이어심재, 금(Au) 및팔라듐(Pd) 중적어도하나이상의원소를포함하는피복층, 및와이어심재및 피복층사이에, 코발트(Co), 이리듐(Ir) 및니켈(Ni) 중적어도하나이상의원소를포함하는확산방지층을포함한다.
摘要翻译: 根据本发明的技术特征的接合线,具有按重量计99.99%至85(银)的含量,和(Au)的金杯部,铜(Cu),镍(Ni),钯(Pd)和铂( 铂即使容纳线芯的至少一种元素,普遍金(Au)和钯(Pd)涂覆层,其包括至少一个元件至少普遍,并且芯和覆盖层,钴(Co),铱(Ir)的金属丝,和之间) 镍(Ni)层还包括含有至少一种元素的扩散阻挡层。
-
公开(公告)号:KR101687598B1
公开(公告)日:2016-12-20
申请号:KR1020150063880
申请日:2015-05-07
申请人: 엠케이전자 주식회사
IPC分类号: H01L23/00
CPC分类号: H01L2224/45139 , H01L2224/48091 , H01L2924/00011 , H01L2924/00014 , H01L2924/01049 , H01L2924/01005
摘要: 본발명의기술적사상에의한은(Ag) 합금본딩와이어는, 약 1 내지 20 중량%의제1 첨가원소; 약 3 내지 100 중량ppm의제2 첨가원소; 및잔부의은(Ag)을포함하며, 제1 첨가원소는금(Au), 팔라듐(Pd) 또는이들의합금이고, 제2 첨가원소는칼슘(Ca), 란탄(La), 베릴륨(Be), 저머늄(Ge), 니켈(Ni), 비스무트(Bi), 이트륨(Y), 망간(Mn), 주석(Sn), 티타늄(Ti), 철(Fe), 구리(Cu) 및마그네슘(Mg)의군에서선택된 1종이상이고, 연신율이약 15 내지 25%이고, 영률(Young's modulus)이약 60 내지 80GPa인것을특징으로한다.
-
公开(公告)号:KR1020150030554A
公开(公告)日:2015-03-20
申请号:KR1020130109971
申请日:2013-09-12
申请人: 엠케이전자 주식회사
IPC分类号: H01L21/60
CPC分类号: H01L24/45 , H01L24/05 , H01L24/43 , H01L24/48 , H01L24/49 , H01L2224/04042 , H01L2224/05554 , H01L2224/05624 , H01L2224/43848 , H01L2224/45015 , H01L2224/45139 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/48465 , H01L2224/48624 , H01L2224/48824 , H01L2224/49171 , H01L2224/85375 , H01L2224/859 , H01L2924/00011 , H01L2924/10161 , H01L2924/181 , H01L21/4885 , H01L2924/00014 , H01L2924/00015 , H01L2924/01077 , H01L2924/01027 , H01L2924/01022 , H01L2924/01079 , H01L2924/01046 , H01L2924/01078 , H01L2924/01029 , H01L2924/01004 , H01L2924/0102 , H01L2924/01057 , H01L2924/01039 , H01L2924/01058 , H01L2924/01083 , H01L2924/01012 , H01L2924/01017 , H01L2924/20752 , H01L2924/01028 , H01L2924/2011 , H01L2924/01014 , H01L2924/01032 , H01L2924/01013 , H01L2924/0103 , H01L2924/00 , H01L2924/013 , H01L2924/20111 , H01L2924/01047 , H01L2924/01049
摘要: 본 발명은 은 합금 본딩 와이어 및 이를 이용한 반도체 장치에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 은(Ag)을 주성분으로 하고 이리듐(Ir)을 3 중량ppm 내지 10000 중량ppm 함유하는 은 합금 본딩 와이어 및 이를 이용한 반도체 장치에 관한 것이다. 본 발명의 본딩 와이어를 이용하면 본딩 특성과 가공성이 우수하고 신뢰성이 높은 본딩 와이어를 제공할 수 있는 효과가 있다.
摘要翻译: 本发明涉及一种Ag合金接合线及其制造方法。 更具体地说,本发明涉及一种Ag合金接合线,其包含主要元素的Ag和3重量ppm至10000重量ppm的Ir,以及包含该Ag的合金接合线。 根据本发明的接合线,可以提供具有优异的接合性和可加工性和高可靠性的接合线。
-
公开(公告)号:KR1020140031731A
公开(公告)日:2014-03-13
申请号:KR1020120098414
申请日:2012-09-05
申请人: 엠케이전자 주식회사
IPC分类号: H01L21/60
CPC分类号: H01L24/45 , B23K35/0238 , B23K35/30 , B23K35/302 , B23K35/40 , B23K35/404 , B23K2201/40 , H01L24/43 , H01L24/85 , H01L2224/05624 , H01L2224/43125 , H01L2224/4321 , H01L2224/43848 , H01L2224/45015 , H01L2224/45139 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/45572 , H01L2224/45639 , H01L2224/45644 , H01L2224/45664 , H01L2224/45669 , H01L2224/48624 , H01L2224/48639 , H01L2224/48664 , H01L2224/48824 , H01L2224/48839 , H01L2224/48864 , H01L2224/85045 , H01L2224/85203 , H01L2224/85439 , H01L2224/85464 , H01L2924/00011 , H01L2924/00014 , H01L2924/10253 , H01L2224/48 , H01L2924/2011 , H01L2924/20111 , H01L2924/00015 , H01L2924/2076 , H01L2924/20752 , H01L2924/0104 , H01L2924/01005 , H01L2924/01015 , H01L2924/01083 , H01L2924/01077 , H01L2924/0105 , H01L2924/01042 , H01L2924/20106 , H01L2924/00 , H01L2924/01049
摘要: The present invention relates to a bonding wire for semiconductor devices and a method of manufacturing the same. More particularly, the present invention provides a method of manufacturing a bonding wire which includes a step of forming a first surface layer which is made of a second metal as a main element on a core material which is made of a first metal layer as a main element; a step of drawing the core material formed with the first surface layer; and a step of forming a second surface layer which is made of a third metal layer as a main element on the first surface and the drawn core material. By using the bonding wire for semiconductor devices and the method of manufacturing the same, the exposure of the core material is prevented, damage to a chip can be reduced, and acid resistance and second bondability can be improved. [Reference numerals] (AA) Start; (BB) End; (S1) Forming a first surface layer on a core material; (S2) Drawing the core material formed with the first surface layer; (S3) Forming a second surface layer on the core material and the first surface
摘要翻译: 本发明涉及一种用于半导体器件的接合线及其制造方法。 更具体地说,本发明提供了一种接合线的制造方法,该方法包括以由第一金属层为主体的芯材形成作为主要元件的第二金属制的第一表面层的工序 元件; 拉伸由第一表面层形成的芯材的步骤; 以及在第一表面上形成由第三金属层作为主要元件制成的第二表面层和拉伸芯材的步骤。 通过使用半导体器件用接合线及其制造方法,能够防止芯材的曝光,能够降低对芯片的损伤,能够提高耐酸性和第二接合性。 (附图标记)(AA)开始; (BB)结束; (S1)在芯材上形成第一表面层; (S2)绘制由第一表面层形成的芯材; (S3)在芯材和第一表面上形成第二表面层
-
公开(公告)号:KR1020160030777A
公开(公告)日:2016-03-21
申请号:KR1020140120384
申请日:2014-09-11
申请人: 엠케이전자 주식회사
IPC分类号: H01L23/49
CPC分类号: H01L2224/45139 , H01L2924/00011 , H01L24/45 , H01L21/324 , H01L23/4952 , H01L24/43 , H01L2924/01049 , H01L2924/01005
摘要: 본발명의기술적사상에따른은 합금본딩와이어는, 은(Ag)을주성분으로하고, 팔라듐(Pd) 및금(Au)을포함하는은 합금본딩와이어로서, 중심부에종횡비가 3 이상인결정립의비율이 10 내지 40%인것을특징으로하며, 본발명의기술적사상에따른은 합금본딩와이어의제조방법은은(Ag)을주성분으로하고, 팔라듐(Pd) 및금(Au)을포함하는합금피스를제조하는단계, 합금피스를신선및 열처리하는단계를포함하고, 합금피스를신선및 열처리하는단계는, 합금피스를신선하여얻은세선의단면감소율이 90% 이상이되기전에열처리를수행하는단계를포함하고, 열처리는와이어의연신율이 5 내지 20%로수행되는것을특징으로한다.
摘要翻译: 根据本发明的技术思想的银合金接合线是以银(Ag)为主要成分,钯(Pd)和金(Au)的银合金接合线。 根据银合金接合线,其中心的长宽比等于或高于3的颗粒的比例为10-40%。 根据本发明的技术思想的制造银合金接合线的方法包括:制造包含银(Ag)作为主要成分的合金片,钯(Pd)和金(Au) ; 以及包含银(Ag)作为主要成分并包含钯(Pd)和金(Au)的合金片的步骤。 以及对合金片进行新鲜和热处理的步骤。 进行合金片的新鲜和热处理的步骤包括在通过进行新的处理合金片所获得的细线的截面减小率为90%以上进行热处理的步骤,进行热处理 线延伸率为5-20%。
-
公开(公告)号:KR1020150027626A
公开(公告)日:2015-03-12
申请号:KR1020130106291
申请日:2013-09-04
申请人: 엠케이전자 주식회사
IPC分类号: C22C5/06 , H01L21/301
CPC分类号: C22C5/06 , H01L24/43 , H01L24/45 , H01L2224/43 , H01L2224/43848 , H01L2224/45139 , H01L2224/45147 , H01L2224/48091 , H01L2924/00011 , H01L2924/181 , H01L2924/01046 , H01L2924/01079 , H01L2924/00014 , H01L2924/013 , H01L2924/00 , H01L2924/2011 , H01L2924/20111 , H01L2924/01047 , H01L2924/01078 , H01L2924/01022 , H01L2924/01077 , H01L2924/00013 , H01L2924/00015 , H01L2924/01049
摘要: 본발명은은(Ag)을주성분으로하고, 팔라듐(Pd) 및금(Au)을포함하는은 합금본딩와이어에관한것으로서, 더욱구체적으로는팔라듐(Pd)의함량이 0.1 내지 4.0 중량%이고, 팔라듐(Pd)에대한금(Au)의중량기준함량비가 0.25 내지 1.0인은 합금본딩와이어에관한것이다. 본발명의은 합금본딩와이어를이용하면와이어선단에형성되는볼의볼모양균일성과본딩볼형상이개선되고신뢰성, 루프직진성, 및접합강도가우수한효과가있다.
摘要翻译: 本发明涉及含有银(Ag)作为主要成分的钯合金接合线,钯(Pd)和金(Au),更具体地说,涉及钯(Pd)含量为0.1的合金接合线 至0.4重量%,金(Au)与钯(Pd)的重量比为0.25〜1.0。 通过使用本发明的银合金接合线,可以提高形成在导线的顶端上的球的球形均匀性和接合球形状,并提供优异的可靠性,回路线性和结合强度。
-
公开(公告)号:KR101535412B1
公开(公告)日:2015-07-24
申请号:KR1020130106291
申请日:2013-09-04
申请人: 엠케이전자 주식회사
IPC分类号: C22C5/06 , H01L21/301
CPC分类号: C22C5/06 , H01L24/43 , H01L24/45 , H01L2224/43 , H01L2224/43848 , H01L2224/45139 , H01L2224/45147 , H01L2224/48091 , H01L2924/00011 , H01L2924/181 , H01L2924/01046 , H01L2924/01079 , H01L2924/00014 , H01L2924/013 , H01L2924/00 , H01L2924/2011 , H01L2924/20111 , H01L2924/01047 , H01L2924/01078 , H01L2924/01022 , H01L2924/01077 , H01L2924/00013 , H01L2924/00015 , H01L2924/01049
摘要: 본발명은은(Ag)을주성분으로하고, 팔라듐(Pd) 및금(Au)을포함하는은 합금본딩와이어에관한것으로서, 더욱구체적으로는팔라듐(Pd)의함량이 0.1 내지 4.0 중량%이고, 팔라듐(Pd)에대한금(Au)의중량기준함량비가 0.25 내지 1.0인은 합금본딩와이어에관한것이다. 본발명의은 합금본딩와이어를이용하면와이어선단에형성되는볼의볼모양균일성과본딩볼형상이개선되고신뢰성, 루프직진성, 및접합강도가우수한효과가있다.
-
-
-
-
-
-
-
-
-