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公开(公告)号：KR1020170059991A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：KR1020177006936
申请日：2015-09-15
Applicant: 제이에스알 가부시끼가이샤
CPC classification number: G03F7/0044 , G03F7/0042 , G03F7/0045 , G03F7/038 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/2004 , G03F7/2037 , G03F7/322 , G03F7/325
Abstract: 본발명은, 막을형성하는공정, 막을노광하는공정및 노광된막을현상하는공정을구비하고, 막을, 가수분해성기를갖는전이금속화합물, 가수분해성기를갖는전이금속화합물의가수분해물, 가수분해성기를갖는전이금속화합물의가수분해축합물또는이들의조합인금속함유화합물과식 (1)로표시되는유기화합물을혼합하여얻어지는착체를함유하는감방사선성조성물을사용하여형성하는패턴형성방법이다. 하기식 (1) 중, R은 n가의유기기이다. n은 1 내지 4의정수이다. n이 1인경우, X는 -COOH이다. n이 2 내지 4인경우, X는 -OH, -COOH, -NCO, -NHR, -COOR또는 -CO-C(R)-CO-R이다. R는수소원자또는 1가의유기기이다. R는각각독립적으로, 1가의유기기이다. R은각각독립적으로, 수소원자또는 1가의유기기이다.
Abstract translation: 本发明中，具有过渡步骤中，显影曝光工艺和膜膜的曝光的工序，和在膜和具有可水解基团，水解的基团的过渡金属化合物，具有水解性基团水解的基团的过渡金属化合物，以形成膜 金属化合物的水解缩合物或它们的组合，以及将式（1）所示的有机化合物混合而成的络合物。 在下式（1）中，R是具有n个碳原子的有机基团。 n是1至4的数字。 当n是1时，X是-COOH。 当n为2至4时，X为-OH，-COOH，-NCO，-NHR，-COOR或-CO-C（R）-CO-R。 R是氢原子或一价有机基团。 每个R独立地代表一价有机基团。 每个R独立地表示氢原子或一价有机基团。
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公开(公告)号：KR1020170103762A
公开(公告)日：2017-09-13
申请号：KR1020177015766
申请日：2016-01-05
Applicant: 제이에스알 가부시끼가이샤
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/004 , G03F7/0043 , G03F7/16 , G03F7/2004 , G03F7/2006 , G03F7/322 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/26
Abstract: 본발명은, 유기산과, 금속산화물을주성분으로하는입자와, 방사선의조사에의해산을발생하는산 발생제를함유하고, 상기산 발생제가하기 (i) 및 (ii) 중적어도한쪽을만족하는감방사선성수지조성물이다. (i) 상기산 발생제에서발생하는산의산 해리상수 Ka의역수의대수값 pKa가상기유기산의 pKa보다작고, 또한상기산의반데르발스부피가 2.1×10㎥이상이다. (ii) 상기산 발생제가산을발생하는기를복수갖고, 또한상기산의산 해리상수 Ka의역수의대수값 pKa가상기유기산의 pKa보다작다.
Abstract translation: 本发明中，含有用于产生其主要成分的辐射的粒子和溶解的有机酸和，jereul酸生成剂是一种金属氧化物，其中，所述酸发生剂，以I（ⅰ）和（ii）感满足一个甚至普遍 辐射固化树脂组合物。 （I）的酸解离常数Ka免费从比有机酸的pKa虚拟小的酸产生兽医恒定值的pKa产生的酸的翻译，这也比的酸2.1×10㎥范德华体积更大。 （II）的具有多个酸发生剂组成的组中产生酸，该酸解离小于有机酸虚拟基团的pKa的不含酸的翻译兽医恒定值的pKa的常数Ka。
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公开(公告)号：KR1020170093811A
公开(公告)日：2017-08-16
申请号：KR1020177014692
申请日：2015-11-26
Applicant: 제이에스알 가부시끼가이샤
CPC classification number: G03F7/0045 , C08F212/14 , C08F220/18 , G03F7/004 , G03F7/0046 , G03F7/0048 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/2037 , G03F7/322 , G03F7/325 , G03F7/38 , G03F7/40 , G03F7/2002
Abstract: 본발명은방사선의노광시에산을발생하는감방사선성산 발생체를함유하고, 상기산의작용에의해현상액에대한용해성이변화하는포토레지스트조성물이며, 금속원소를포함하고, 동적광 산란법분석에의한유체역학반경이 20nm 이하인제1 입자, 및제1 용제를함유하는것을특징으로한다. 당해포토레지스트조성물은, 산해리성기를갖는제1 화합물을함유할수 있다. 상기감방사선성산 발생체는, 방사선의노광시에산을발생하는기를갖는상기제1 화합물로할 수있다.
Abstract translation: 本发明涉及含有放射线照射时产生酸的放射线敏感性酸发生剂的光致抗蚀剂组合物，其中在显影剂中的溶解度通过酸的作用而改变，所述组合物包含金属元素， 流体力学半径为20nm或更小的颗粒和溶剂。 光致抗蚀剂组合物可以含有具有酸可裂解基团的第一化合物。 辐射敏感产酸剂可以是第一种具有能够在暴露于辐射时产生酸的基团的化合物。
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公开(公告)号：KR1020170059992A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：KR1020177006937
申请日：2015-09-15
Applicant: 제이에스알 가부시끼가이샤
CPC classification number: G03F7/0042 , G03F7/0045 , G03F7/038 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/2004 , G03F7/2037 , G03F7/322 , H01L21/0274
Abstract: 본발명은, 감방사선성조성물에의해막을형성하는공정, 상기막을노광하는공정, 및상기노광된막을현상하는공정을구비하고, 상기감방사선성조성물이, 가수분해성기를갖는금속화합물 (I), 가수분해성기를갖는금속화합물 (I)의가수분해물, 가수분해성기를갖는금속화합물 (I)의가수분해축합물또는이들의조합인금속함유화합물을함유하고, 상기금속함유화합물에있어서의전이금속원자의전체금속원자에대한함유량이 50원자% 이상인패턴형성방법이다.
Abstract translation: 本发明中，由组合物形成膜，露出该薄膜的辐射步骤，和一个感和显影曝光膜的步骤中，所述辐射敏感组合物中，具有可水解基团（I）的金属化合物， 含有金属化合物（I）秋水海产品，水解和缩合或具有具有水解性基团的水解性基团的金属化合物（I）的含有金属的化合物的组合，以及含有金属的化合物中的过渡金属原子的 并且，总金属原子的含量为50原子％以上。
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