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公开(公告)号：KR1020130112889A
公开(公告)日：2013-10-14
申请号：KR1020137010295
申请日：2011-09-27
申请人： 토소가부시키가이샤
IPC分类号： C04B35/453 , C23C14/34 , H01B1/08 , H01B5/14
CPC分类号： H01B1/08 , C01G9/02 , C01G23/003 , C01P2002/52 , C01P2006/40 , C04B35/453 , C04B35/6261 , C04B35/6262 , C04B35/62685 , C04B2235/3217 , C04B2235/3232 , C04B2235/3234 , C04B2235/3284 , C04B2235/5409 , C04B2235/5436 , C04B2235/604 , C04B2235/656 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/77 , C04B2235/786 , C04B2235/80 , C23C14/08 , C23C14/086 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , C23C14/35
摘要： 주로 아연, 알루미늄, 티타늄 및 산소로 구성되는 복합 산화물 소결체(2)로서, 원소의 원자비가, 하기 식 [1] 내지 [3]을 충족시키며, 주성분으로서 산화아연을 함유하고 평균 입자 직경이 20㎛ 이하인 육방정계 우르츠형 구조를 지니는 입자, 그리고 알루미늄 및 티타늄을 함유하고 평균 입자 직경이 5㎛ 이하인 ZnTiO
3 형 유사 구조 및/또는 Zn
2 Ti
3 O
8 형 유사 구조를 지니는 입자로 이루어지고, 아연과 알루미늄이 고용된 알루미늄산 아연의 스피넬 산화물 구조를 지니는 입자를 함유하지 않는, 복합 산화물 소결체(2) 및 그 제조방법이다:
(Al+Ti)/(Zn+Al+Ti) = 0.004 내지 0.055 [1]
Al/(Zn+Al+Ti) = 0.002 내지 0.025 [2]
Ti/(Zn+Al+Ti) = 0.002 내지 0.048 [3]
상기 식 중, Al, Ti, Zn은 각각 알루미늄, 티타늄 및 아연의 함유량(원자%)을 나타낸다.-
公开(公告)号：KR101859787B1
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：KR1020137010295
申请日：2011-09-27
申请人： 토소가부시키가이샤
IPC分类号： C04B35/453 , C23C14/34 , H01B1/08 , H01B5/14
CPC分类号： H01B1/08 , C01G9/02 , C01G23/003 , C01P2002/52 , C01P2006/40 , C04B35/453 , C04B35/6261 , C04B35/6262 , C04B35/62685 , C04B2235/3217 , C04B2235/3232 , C04B2235/3234 , C04B2235/3284 , C04B2235/5409 , C04B2235/5436 , C04B2235/604 , C04B2235/656 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/77 , C04B2235/786 , C04B2235/80 , C23C14/08 , C23C14/086 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , C23C14/35
摘要： 주로아연, 알루미늄, 티타늄및 산소로구성되는복합산화물소결체(2)로서, 원소의원자비가, 하기식 [1] 내지 [3]을충족시키며, 주성분으로서산화아연을함유하고평균입자직경이 20㎛이하인육방정계우르츠형구조를지니는입자, 그리고알루미늄및 티타늄을함유하고평균입자직경이 5㎛이하인 ZnTiO형유사구조및/또는 ZnTiO형유사구조를지니는입자로이루어지고, 아연과알루미늄이고용된알루미늄산아연의스피넬산화물구조를지니는입자를함유하지않는, 복합산화물소결체(2) 및그 제조방법이다: (Al+Ti)/(Zn+Al+Ti) = 0.004 내지 0.055 [1] Al/(Zn+Al+Ti) = 0.002 내지 0.025 [2] Ti/(Zn+Al+Ti) = 0.002 내지 0.048 [3] 상기식 중, Al, Ti, Zn은각각알루미늄, 티타늄및 아연의함유량(원자%)을나타낸다.
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公开(公告)号：KR1020110039449A
公开(公告)日：2011-04-18
申请号：KR1020117002435
申请日：2009-07-14
申请人： 토소가부시키가이샤
IPC分类号： C04B35/453 , C23C14/08 , C23C14/34 , H01L21/203
CPC分类号： C04B35/453 , C04B35/62685 , C04B2235/3217 , C04B2235/3222 , C04B2235/3232 , C04B2235/3239 , C04B2235/3241 , C04B2235/3244 , C04B2235/3258 , C04B2235/3284 , C04B2235/3286 , C04B2235/3287 , C04B2235/3293 , C04B2235/3418 , C04B2235/5409 , C04B2235/658 , C04B2235/763 , C04B2235/767 , C04B2235/77 , C04B2235/786 , C04B2235/788 , C04B2235/80 , C23C14/086 , C23C14/3414
摘要： 육방정계 층상 구조를 가지며 산화아연 및 인듐을 함유하는 금속산화물 입자(a)와, 스피넬 구조를 가지며 금속 원소 M(단, M은 알루미늄 및/또는 갈륨)을 함유하는 금속산화물 입자(b)를 포함하는 복합 산화물 소결체로서, 상기 금속산화물 입자(a)의 긴 직경의 평균치는 10㎛ 이하이며, 상기 금속산화물 입자(a)의 개수기준으로 20% 이상은 애스펙트비(긴 직경/짧은 직경)가 2 이상인, 복합 산화물 소결체.
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公开(公告)号：KR1020150084834A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：KR1020157012203
申请日：2013-11-18
申请人： 토소가부시키가이샤
IPC分类号： C04B35/453 , C23C14/34 , H01L31/032 , H01L31/0392 , H01L31/0749
CPC分类号： H01L31/072 , C04B35/453 , C04B2235/3201 , C04B2235/3203 , C04B2235/3206 , C04B2235/3208 , C04B2235/3213 , C04B2235/3215 , C04B2235/3224 , C04B2235/3225 , C04B2235/3227 , C04B2235/3229 , C04B2235/3232 , C04B2235/3244 , C04B2235/3251 , C04B2235/3258 , C04B2235/3298 , C04B2235/5409 , C04B2235/5436 , C04B2235/602 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C23C14/08 , C23C14/34 , C23C14/3414 , H01J37/3426 , H01L31/0322 , H01L31/03928 , H01L31/0749 , Y02E10/541 , Y02P70/521
摘要： 화합물박막태양전지의 n형반도체층으로부터 p형반도체층표면에걸쳐서, 특정원소를첨가할수 있는스퍼터링타깃용산화물소결체를제공한다. Zn과, 이온화전위 Ip가 4.5eV≤Ip≤8.0eV이고, 또한원자반경 d가 1.20Å≤d≤2.50Å이하인원소 X를적어도 1종류(단, Mg만을첨가할경우를제외함) 함유하며, 또한, 0.0001≤X/(Zn+X)≤0.20의조성비(원자비)를지니고, 소결밀도가 95% 이상인산화물소결체.
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5.发明公开산화물 소결체 및 그 제조방법, 스퍼터링 타겟, 산화물 투명 도전막 및 그 제조방법, 그리고 태양 전지 审中-实审烧结氧化物材料，其制造方法，溅射靶，氧化物透明电导电膜，其制造方法和太阳能电池
公开(公告)号：KR1020130113458A
公开(公告)日：2013-10-15
申请号：KR1020137010296
申请日：2011-09-27
申请人： 토소가부시키가이샤
CPC分类号： C23C14/08 , C01G19/006 , C01P2002/34 , C01P2002/50 , C01P2004/62 , C01P2006/40 , C01P2006/60 , C04B35/01 , C04B35/457 , C04B35/62635 , C04B35/62675 , C04B35/62685 , C04B35/645 , C04B2235/3213 , C04B2235/3286 , C04B2235/3293 , C04B2235/5409 , C04B2235/5445 , C04B2235/604 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/76 , C04B2235/768 , C04B2235/77 , C04B2235/786 , C04B2235/80 , C04B2235/963 , C23C14/086 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , C23C14/35 , H01B1/08 , H01L31/022425 , H01L31/022466 , H01L31/022475 , H01L31/0749 , H01L31/1884 , Y02E10/541 , Y02P70/521 , C04B35/00 , C04B35/453 , C04B35/6261 , C23C14/34
摘要： 본 발명은, 빅스바이트형 산화물상 및 페로브스카이트형 산화물상의 결정상, 또는 빅스바이트형 산화물상의 결정상으로 구성되고, 결정상은, 구성 원소로서 인듐, 주석, 스트론튬 및 산소를 지니고 있으며, 인듐, 주석 및 스트론튬의 함유량이 원자비로 하기 식 [1] 및 [2]를 충족시키는 산화물 소결체(2) 및 스퍼터링 타겟을 제공한다. 또한, 스퍼터링 타겟을 이용해서 형성되는 산화물 투명 도전막 및 태양 전지를 제공한다.
Sn/(In+Sn+Sr) = 0.01 내지 0.11 [1]
Sr/(In+Sn+Sr) = 0.0005 내지 0.004 [2]
상기 식 [1] 및 [2] 중, In, Sn, Sr은 각각 인듐, 주석 및 스트론튬의 함유량(원자%)을 나타낸다.-
公开(公告)号：KR102027018B1
公开(公告)日：2019-09-30
申请号：KR1020147011254
申请日：2012-11-29
申请人： 토소가부시키가이샤
IPC分类号： C04B35/106 , C04B35/505 , C04B35/50 , C23C14/34
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公开(公告)号：KR1020140103097A
公开(公告)日：2014-08-25
申请号：KR1020147011254
申请日：2012-11-29
申请人： 토소가부시키가이샤
IPC分类号： C04B35/106 , C04B35/505 , C04B35/50 , C23C14/34
CPC分类号： H01B1/08 , C04B35/01 , C04B35/6262 , C04B2235/3225 , C04B2235/3244 , C04B2235/3286 , C04B2235/5445 , C04B2235/549 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/77 , C04B2235/786 , C23C14/083 , C23C14/086 , C23C14/34 , C23C14/3414 , H01J37/3429
摘要： 본 발명은, 인듐, 지르코늄 및 이트륨을 각각 In, Zr 및 Y라 했을 때, 원자비로 Zr/(In+Zr+Y)가 0.05 내지 4.5원자%이고, Y/(In+Zr+Y)가 0.005 내지 0.5원자%인 복합 산화물 소결체(10)를 제공한다. 또한, 해당 복합 산화물 소결체(10)로 이루어진 스퍼터링 타겟, 및 해당 스퍼터링 타겟을 스퍼터링함으로써 얻어지는 산화물 투명 도전막을 제공한다.
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公开(公告)号：KR1020140000688A
公开(公告)日：2014-01-03
申请号：KR1020137011769
申请日：2011-11-25
申请人： 토소가부시키가이샤
IPC分类号： C04B35/453 , C23C14/08 , H01L21/316 , H01B5/14
CPC分类号： H01B1/08 , C04B35/453 , C04B35/645 , C04B37/026 , C04B2235/3244 , C04B2235/3246 , C04B2235/3284 , C04B2235/404 , C04B2235/5409 , C04B2235/5445 , C04B2235/604 , C04B2235/608 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6586 , C04B2235/725 , C04B2235/77 , C04B2235/786 , C04B2237/12 , C04B2237/34 , C04B2237/407 , C23C14/086 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , H01L21/02554 , H01L21/02581 , H01L21/02631
摘要： 지르코늄의 함유량이 10 내지 1000ppm인 산화아연 소결체 및 해당 산화아연 소결체로 이루어진 스퍼터링 타겟을 제공한다. 또한, 지르코늄의 함유량이 10 내지 2000ppm이고, 저항률이 10Ω·㎝ 이상인 산화아연 박막을 제공한다.
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9.发明授权
公开(公告)号：KR101841314B1
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：KR1020137010296
申请日：2011-09-27
申请人： 토소가부시키가이샤
CPC分类号： C23C14/08 , C01G19/006 , C01P2002/34 , C01P2002/50 , C01P2004/62 , C01P2006/40 , C01P2006/60 , C04B35/01 , C04B35/457 , C04B35/62635 , C04B35/62675 , C04B35/62685 , C04B35/645 , C04B2235/3213 , C04B2235/3286 , C04B2235/3293 , C04B2235/5409 , C04B2235/5445 , C04B2235/604 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/76 , C04B2235/768 , C04B2235/77 , C04B2235/786 , C04B2235/80 , C04B2235/963 , C23C14/086 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , C23C14/35 , H01B1/08 , H01L31/022425 , H01L31/022466 , H01L31/022475 , H01L31/0749 , H01L31/1884 , Y02E10/541 , Y02P70/521
摘要： 본발명은, 빅스바이트형산화물상및 페로브스카이트형산화물상의결정상, 또는빅스바이트형산화물상의결정상으로구성되고, 결정상은, 구성원소로서인듐, 주석, 스트론튬및 산소를지니고있으며, 인듐, 주석및 스트론튬의함유량이원자비로하기식 [1] 및 [2]를충족시키는산화물소결체(2) 및스퍼터링타겟을제공한다. 또한, 스퍼터링타겟을이용해서형성되는산화물투명도전막및 태양전지를제공한다. Sn/(In+Sn+Sr) = 0.01 내지 0.11[1] Sr/(In+Sn+Sr) = 0.0005 내지 0.004[2] 상기식 [1] 및 [2] 중, In, Sn, Sr은각각인듐, 주석및 스트론튬의함유량(원자%)을나타낸다.
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公开(公告)号：KR101778824B1
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：KR1020127029032
申请日：2011-04-07
申请人： 토소가부시키가이샤
IPC分类号： H01B5/14 , H01B1/02 , H01B13/00 , C23C14/08 , H01L31/0236 , H01L31/0392
CPC分类号： C23C14/5873 , C23C14/08 , C23C14/086 , C23C14/34 , Y10T428/24355
摘要： 본발명에따른산화아연계투명도전막은, Ti, Al 및 Zn을원자비로하기식 (1), (2) 및 (3)을충족시키는비율로함유하는동시에, 표면에크기가다른복수의표면텍스처를지니고, 투명도전막의표면의중심선평균표면조도(Ra)가 30㎚내지 200㎚이며, 표면텍스처의폭의평균치가 100㎚내지 10㎛이다: 0.001 ≤ Ti/(Zn+Al+Ti) ≤ 0.079 ··· (1) 0.001 ≤ Al/(Zn+Al+Ti) ≤ 0.079 ··· (2) 0.010 ≤ (Ti+Al)/(Zn+Al+Ti) ≤ 0.080 ··· (3)
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