질화규소 분말, 질화규소 소결체 및 회로 기판, 및 질화규소 분말의 제조 방법
    5.
    发明公开
    질화규소 분말, 질화규소 소결체 및 회로 기판, 및 질화규소 분말의 제조 방법 审中-实审
    硅氮化硅氮化硅烧结体和电路基板和氮化硅粉末的生产方法

    公开(公告)号:KR1020170021282A

    公开(公告)日:2017-02-27

    申请号:KR1020177000733

    申请日:2015-06-16

    摘要: 본발명은, 높은열전도율을가지면서도, 높은기계적강도도더불어갖는질화규소소결체및 회로기판, 그원료가되는질화규소분말및 그제조방법을제공하는것을과제로한다. 본발명에서는비표면적이 4.0∼9.0 m/g이고, β상의비율이 40%보다작고, 산소함유량이 0.20∼0.95 질량%이고, 레이저회절산란법에의한체적기준의입도분포측정에의해얻어지는빈도분포곡선이 2개의피크를갖고, 상기피크의피크톱이 0.4∼0.7 ㎛의범위와 1.5∼3.0 ㎛의범위에있고, 상기피크톱의빈도의비(입자직경 0.4∼0.7 ㎛범위의피크톱의빈도/입자직경 1.5∼3.0 ㎛범위의피크톱의빈도)가 0.5∼1.5이고, 상기입도분포측정에의해얻어지는메디안직경 D50(㎛)과, 상기비표면적으로부터산출되는비표면적상당직경 D(㎛)의비 D50/D(㎛/㎛)가 3.5 이상인질화규소분말, 이질화규소분말로부터얻어지는질화규소소결체및 회로기판, 및그 질화규소분말의제조방법을제공한다.

    摘要翻译: 本发明解决了提供具有高机械强度和高导热性的氮化硅烧结体和电路基板的问题。 用作这些的起始材料的氮化硅粉末; 以及氮化硅粉末的制造方法。 本发明提供的氮化硅粉末的比表面积为4.0-9.0m 2 / g,相位比小于40%,氧含量为0.20-0.95质量%,其中: 使用激光衍射散射进行的基于体积的粒度分布测定获得的分布曲线具有两个峰; 峰顶在0.4-0.7μm的范围内,分别在1.5-3.0μm的范围内; 峰的峰值的频率的比率(峰的峰值的频率在0.4-0.7μm的粒度范围内/峰的峰值频率在1.5-3.0μm的范围内) 为0.5-1.5; 和从粒度分布测定得到的中值粒径(D50)(μm)的比(D50 / D BET)(μm/μm),与比表面积当量直径(D BET)(μm) 表面积至少为3.5。 还提供有:由氮化硅粉末获得的氮化硅烧结体和电路基板; 以及氮化硅粉末的制造方法。