정전 척 및 그 제조 방법
    2.
    发明公开
    정전 척 및 그 제조 방법 有权
    静电切割机及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020110030364A

    公开(公告)日:2011-03-23

    申请号:KR1020100090084

    申请日:2010-09-14

    摘要: 본발명은 MgO 세라믹스기체에전극을매설한정전척에있어서, 마이크로크랙이나휨의발생을억제하고유전체층으로의전극재료의확산을방지하는것을목적으로한다. 정전척(10)은, 웨이퍼(W)를배치할수 있는웨이퍼배치면(12a)이형성된세라믹스기체(12)에, 정전전극(14)이웨이퍼배치면(12a)과평행이되도록매설된것이다. 세라믹스기체(12)는, MgO 함량이 99 중량% 이상인치밀한세라믹스로이루어진다. 정전전극(14)은, 원반형의전극이고, 예컨대 Ni, Co 및 Fe로이루어지군으로부터선택되는 1종이상의금속으로형성되어있다. 이정전전극(14)은, 중심에도전성의태블릿(16)이접속되어있다. 이태블릿(16)은, 세라믹스기체(12)의이면(12b)으로부터태블릿(16)에도달하도록형성된카운터보어홀(18)의바닥면에노출되고, 이카운터보어홀(18)에삽입된 Ni제의급전단자(20)와접합되어있다.

    摘要翻译: 目的:提供一种静电卡盘及其制造方法,通过抑制漏电流的产生,通过保持晶片配置面的均匀性来防止微裂纹或翘曲的产生。 构成:形成用于在陶瓷气体(12)中配置晶片(W)的晶片排列侧(12a)。 静电电极(14)与晶片配置侧平行放置。 导电片(16)连接到静电电极的中心。 片剂暴露在钻孔(18)的地板一侧。 将Ni电源端子(20)插入到钻孔中。